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HB:ハンドブック | ||||
CC:コンコーダンス |
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電界効果トランジスタ[FET](絶縁ゲートバイポーラトランジスタH10D12/00)[2025.01] | HB | CC | 5F140 | |
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・製造または処理[2025.01] | HB | CC | 5F123 | |
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・・H10D30/60~H10D30/65に包含されるトランジスタの製造または処理,例.絶縁ゲート電界効果トランジスタ[IGFET]の製造 | HB | CC | 5F140 | |
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単一のプロセスのみに特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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MOSプロセス,例.ソース,ドレイン領域形成,セルファラインおよび電極形成,のうちのいずれか一つのみに特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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試験または測定に特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F140 | |
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・・H10D30/67またはH10D30/47,101に包含されるトランジスタの製造または処理,例.薄膜トランジスタ[TFT]の製造 | HB | CC | 5F110 | |
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・・・ソース,ドレインの製造または処理に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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ソース,ドレインの形成方法に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・ソース,ドレイン電極の形成方法に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・ソース,ドレイン領域の形成方法に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・セルフアライン | HB | CC | 5F110 | |
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・・・裏面からの露光によるもの | HB | CC | 5F110 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・ゲートの製造または処理に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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ゲート絶縁膜の形成方法に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・陽極酸化法を用いるもの | HB | CC | 5F110 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・チャネル半導体層の堆積方法に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・試験,測定またはシミュレーションに特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・その他のプロセスに特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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平坦化 | HB | CC | 5F110 | |
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連続形成 | HB | CC | 5F110 | |
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パターニング | HB | CC | 5F110 | |
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貼り合わせ | HB | CC | 5F110 | |
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ダングリングボンドの終端化を行うもの,例.水素化 | HB | CC | 5F110 | |
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アニール | HB | CC | 5F110 | |
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・再結晶化;単結晶化 | HB | CC | 5F110 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・H10D30/66に包含されるトランジスタの製造または処理,例.縦型DMOS[VDMOS]電界効果トランジスタの製造 | HB | CC | 5F111 | |
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不純物領域の形成工程に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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・セルフアライン拡散 | HB | CC | 5F111 | |
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・・ベースウエル中央部の位置の制御 | HB | CC | 5F111 | |
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・・ゲート電極端部の位置の制御,例.側壁酸化 | HB | CC | 5F111 | |
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不純物層の成長工程に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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絶縁層または導電層の形成工程に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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エッチングに特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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ライフタイム制御に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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パッシベーションに特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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ウエハの貼り合わせに特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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検査,測定またはシミュレーションに特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F111 | |
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・・H10D30/80~H10D30/87またはH10D30/47,201に包含されるトランジスタの製造または処理,例.整流接合ゲート電極を有する電界効果トランジスタまたは高電子移動度トランジスタ[HEMT]の製造 | HB | CC | 5F102 | |
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・・H10D30/68~H10D30/69に包含されるトランジスタの製造または処理,例.フローティングゲートまたは電荷トラッピングゲート絶縁体を有する絶縁ゲート電界効果トランジスタの製造 | HB | CC | 5F101 | |
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・0次元,1次元または2次元キャリアガスチャネルを有する電界効果トランジスタ[2025.01] | HB | CC | 5F123 | |
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・・1次元キャリアガスチャネルをもつもの,例.量子細線電界効果トランジスタまたは1次元量子閉じ込めチャネルを有するトランジスタ[2025.01] | HB | CC | 5F123 | |
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・・2次元キャリアガスチャネルをもつもの,例.ナノリボン電界効果トランジスタまたは高電子移動度トランジスタ[HEMT][2025.01] | HB | CC | 5F123 | |
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・・・ナノカーボン,例.ナノリボン,を用いたトランジスタ | HB | CC | 5F110 | |
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・・・高電子移動度トランジスタ[HEMT] | HB | CC | 5F102 | |
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・絶縁ゲート電界効果トランジスタ[IGFET](H10D30/40が優先)[2025.01] | HB | CC | 5F140 | |
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化合物半導体を用いるもの | HB | CC | 5F140 | |
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MOSICに用いられるもの | HB | CC | 5F140 | |
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回路構成のみに特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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ゲート電極構造のみに特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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チャネル構造のみに特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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とくに動作に特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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保護装置 | HB | CC | 5F140 | |
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LDD | HB | CC | 5F140 | |
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メモリーに用いられるもの,例.1Tr.DRAMセル | HB | CC | 5F140 | |
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パッシベーション構造のみに特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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結晶方位の選択のみに特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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分離領域のみに特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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ソース,ドレイン領域のみに特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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ISFET | HB | CC | 5F140 | |
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溝ほりゲートを持つもの | HB | CC | 5F140 | |
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高耐圧化,大電流化,例.並列化 | HB | CC | 5F140 | |
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その他のMOS構造 | HB | CC | 5F140 | |
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その他,例.構造およびプロセスの双方に特徴のあるもの | HB | CC | 5F140 | |
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・・フィン電界効果トランジスタ[FinFET][2025.01] | HB | CC | 5F140 | |
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・・縦型絶縁ゲート電界効果トランジスタ(H10D30/66が優先)[2025.01] | HB | CC | 5F140 | |
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・・二重拡散金属酸化物[DMOS]電界効果トランジスタ[2025.01] | HB | CC | 5F140 | |
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・・・横型DMOS[LDMOS]電界効果トランジスタ[2025.01] | HB | CC | 5F140 | |
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・・・縦型DMOS[VDMOS]電界効果トランジスタ[2025.01] | HB | CC | 5F111 | |
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・・・・半導体領域に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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トランジスタセルに特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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・ソース領域 | HB | CC | 5F111 | |
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・ベース領域;ボディ領域 | HB | CC | 5F111 | |
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・・高濃度部;低抵抗部 | HB | CC | 5F111 | |
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・・チャネル部 | HB | CC | 5F111 | |
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・セルを構成する不純物領域等の平面形状または配置パターンに特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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ドレイン領域に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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ドリフト領域に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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・超接合を有するもの | HB | CC | 5F111 | |
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・JFET領域を有するもの | HB | CC | 5F111 | |
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・ドリフト領域表面に同一導電型で濃度が異なる領域を有するもの | HB | CC | 5F111 | |
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・ドリフト領域表面に他導電型の領域を有するもの | HB | CC | 5F111 | |
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基板の構成材料等に特徴のあるもの,例.化合物半導体を用いたもの,面方位に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F111 | |
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・・・・電極に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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MOSゲート,例.電極,絶縁膜,シールド構造,に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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・ゲート電極の形状に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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・ゲート絶縁膜の形状に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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・ゲートに付帯する導電体,例.ダミーゲート,を有するもの | HB | CC | 5F111 | |
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ソース電極に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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・複数層からなるもの | HB | CC | 5F111 | |
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・形状に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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・・コンタクト部が平面でないもの | HB | CC | 5F111 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F111 | |
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・・・・チップの周辺部あるいはチップ全体に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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終端領域の耐圧構造に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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・セル領域を囲む不純物領域及び電極を有するもの,例.ガードリング及びフィールドプレートを有するもの | HB | CC | 5F111 | |
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・セル領域を囲む不純物領域を有するもの(Bが優先) | HB | CC | 5F111 | |
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・セル領域を囲む電極を有するもの(Bが優先) | HB | CC | 5F111 | |
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配線,パッドまたは実装関係に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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分離領域に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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複数のトランジスタセルの平面形状または配置パターンに特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F111 | |
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・・・・ゲートがプレーナ型でないもの | HB | CC | 5F111 | |
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ゲートを溝の内部に形成したもの,例.V溝型MOS[VMOS],トレンチゲート型MOS[UMOS] | HB | CC | 5F111 | |
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・チャネル領域,ソース,ドレイン領域を溝の内部に形成したもの | HB | CC | 5F111 | |
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ゲートを埋め込み形成したもの | HB | CC | 5F111 | |
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SOIまたはSIMOX技術を利用したもの | HB | CC | 5F111 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F111 | |
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・・・・動作に特徴のあるもの | HB | CC | 5F111 | |
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ベース領域にバイアスを印加するもの | HB | CC | 5F111 | |
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少数キャリア注入領域をもつもの | HB | CC | 5F111 | |
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MOS型SIT | HB | CC | 5F111 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F111 | |
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・・薄膜トランジスタ[TFT][2025.01] | HB | CC | 5F110 | |
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・・・ソース,ドレインに特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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LDD,例.構造,製法,に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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ソース,ドレイン領域,電極の構造に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・形状に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・複数層 | HB | CC | 5F110 | |
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・材料,不純物濃度等に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・ゲートに特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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オフセットゲート,例.構造,製法,に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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ゲート電極に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・形状に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・複数層 | HB | CC | 5F110 | |
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・材料,不純物濃度等に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・ゲート電極を複数有するもの | HB | CC | 5F110 | |
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ゲート絶縁膜に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・材料に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・複数層 | HB | CC | 5F110 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・チャネル半導体層に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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材料に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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形状に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・薄膜化 | HB | CC | 5F110 | |
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複数層 | HB | CC | 5F110 | |
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不純物,不純物濃度等に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・キャリアにならない不純物を含むもの | HB | CC | 5F110 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・パッシベーションに特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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絶縁膜,例.構造,製法,材料,に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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遮光膜,例.構造,製法,材料,に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・結晶方位の選択に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・分離領域に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・特に動作に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・保護装置;保護回路 | HB | CC | 5F110 | |
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静電破壊防止,例.イオン注入時,ラビリング時の静電破壊防止 | HB | CC | 5F110 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・・ISFET | HB | CC | 5F110 | |
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・・・その他の構造 | HB | CC | 5F110 | |
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縦型構造 | HB | CC | 5F110 | |
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キンク防止 | HB | CC | 5F110 | |
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表面層を含む基板に特徴のあるもの | HB | CC | 5F110 | |
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・基板がSOSからなるもの | HB | CC | 5F110 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F110 | |
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・・フローティングゲートを有する絶縁ゲート電界効果トランジスタ[2025.01] | HB | CC | 5F101 | |
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・・電荷トラッピングゲート絶縁体を有する絶縁ゲート電界効果トランジスタ,例.MNOSトランジスタ[2025.01] | HB | CC | 5F101 | |
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・整流接合ゲート電極を有する電界効果トランジスタ(H10D30/40が優先)[2025.01] | HB | CC | 5F102 | |
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素子の種類 | HB | CC | 5F102 | |
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・横型SIT | HB | CC | 5F102 | |
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・縦型FET | HB | CC | 5F102 | |
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Dual Gate構造を有するもの | HB | CC | 5F102 | |
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保護機能を有するもの | HB | CC | 5F102 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F102 | |
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・・PN接合ゲート電極を有する電界効果トランジスタ[2025.01] | HB | CC | 5F102 | |
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・・ショットキーゲート電極を有する電界効果トランジスタ,例.金属-半導体電界効果トランジスタ[MESFET][2025.01] | HB | CC | 5F102 | |
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MES型FET | HB | CC | 5F102 | |
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・電極に特徴を有するもの | HB | CC | 5F102 | |
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・・オーミック電極,例.ソース電極,ドレイン電極 | HB | CC | 5F102 | |
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・・斜め蒸着の利用 | HB | CC | 5F102 | |
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・・電極平面構造 | HB | CC | 5F102 | |
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・・ゲート電極材料 | HB | CC | 5F102 | |
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・・裏面電極取出し | HB | CC | 5F102 | |
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・表面高抵抗層を有するもの | HB | CC | 5F102 | |
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・整合回路,帰還回路等を一体化したもの | HB | CC | 5F102 | |
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・実装 | HB | CC | 5F102 | |
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・集積化 | HB | CC | 5F102 | |
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その他のもの | HB | CC | 5F102 | |