English
閉じる

Fタームリスト

リスト再作成旧５Ｆ０３１（Ｈ２３）、１９８８年以降に発行された文献を解析対象としている
5F131 ウエハ等の容器，移送，固着，位置決め等 デバイスプロセス　　
H01L21/68 -21/68@Z
H01L21/68@A-Z AA AA00
処理の対象物 		AA01 AA02 AA03 AA04 AA10
・種類 ・・ウエハ ・・ガラス基板，フラットパネルディスプレイ ・・チップ，ペレット，ダイ ・・その他［ＦＷ］
AA11 AA12 AA13 AA14 AA15
・形状（円形基板以外） ・・矩形基板 ・・可撓性基板，フィルム状基板 ・・棒状基板 ・・異形（割れウエハ等）
AA21 AA22 AA23 AA30
・材料（単結晶Ｓｉ，ガラス以外） ・・単結晶Ｓｉ以外の半導体 ・・樹脂 ・・その他［ＦＷ］
AA31 AA32 AA33 AA34 AA40
・用途 ・・液晶，プラズマディスプレイ ・・有機ＥＬ，電気泳動，ＦＥＤ ・・太陽電池 ・・その他［ＦＷ］
BA BA00
処理工程 		BA01 BA02 BA03 BA04 BA05
・成膜工程 ・・熱酸化 ・・ＰＶＤ（物理気相成長，物理蒸着） ・・ＣＶＤ（化学気相成長，化学蒸着） ・・湿式メッキ
BA11 BA12 BA13 BA14 BA15 BA17 BA18 BA19
・フォトリソグラフィ工程 ・・レジスト塗布 ・・露光 ・・現像 ・・レジスト剥離，アッシング ・エッチング工程 ・・ウェットエッチング ・・ドライエッチング
BA21 BA22 BA23 BA24
・ドーピング工程 ・・熱拡散 ・・イオン注入 ・・アニール
BA31 BA32 BA33 BA35 BA37 BA39
・加工工程 ・・研削 ・・ＣＭＰ（化学機械研磨） ・電極形成工程 ・洗浄，乾燥工程 ・検査，試験，測定工程
BA41 BA42 BA43
・ウエハ製造工程 ・・切断，スライシング ・・研磨
BA51 BA52 BA53 BA54 BA60
・組立工程（後工程），チップ工程 ・・ダイシング ・・テープの貼付，剥離 ・・ボンディング ・その他［ＦＷ］
BB BB00
処理装置の全体構成 		BB01 BB02 BB03 BB04 BB05
・複数の処理部を集積した装置又はモジュール ・・上下方向に集積 ・・水平方向に集積 ・・・放射状配置（マルチチャンバ等） ・・・複数の搬送チャンバを接続したもの
BB11 BB12 BB13 BB14 BB18
・複数の装置又はモジュールを搬送路で結合 ・・ループ状 ・・インライン状 ・・分岐 ・各装置（群）のレイアウトに特徴
BB21 BB22 BB23
・処理の流れに関する特徴 ・・バッチ処理部と枚葉処理部を連続的又は並列的に組み合わせ ・・複数の処理部で同じ処理を同時並行で行えるもの
CA CA00
目的，課題 		CA01 CA02 CA03 CA04 CA05 CA06 CA07 CA08 CA09
・高品質，信頼性 ・・熱による悪影響への対応 ・・・均熱又は恒温 ・・プラズマによる悪影響への対応 ・・帯電防止又は除電 ・・処理の均一化 ・・ウエハ等の変形，反りへの対応 ・・・ステージ等に固着時の平面度の向上 ・・ウエハ等の破損防止
CA12 CA13 CA14 CA15 CA16 CA17 CA18 CA19
・・汚染防止 ・・・容器，搬送機構等の洗浄を行うもの ・・・工程ごとに搬送保持部を変えるもの ・・・部材からの汚染物質の溶出，発生の防止 ・・トレーサビリティ，流通履歴の確認 ・・高可用性，故障間隔の長期化，長寿命化 ・・ウエハ等の位置ずれへの対応 ・・防振
CA21 CA22 CA23 CA24 CA25
・高性能，高機能 ・・ウエハ等の大型化への対応 ・・ウエハ等の薄肉化，薄化への対応 ・・形状，大きさが異なるウエハ等へ対応 ・・少量多品種
CA31 CA32 CA33 CA34 CA35 CA36 CA37 CA38 CA39
・効率化，最適化 ・・生産性向上，リードタイム短縮 ・・工程の削減，集約 ・・負荷の平滑化，混雑回避 ・・搬送時の最適経路又は迂回路 ・・その他工程管理，生産管理 ・・装置構成の簡易化 ・・装置の小型化 ・・省スペース，フットプリント削減
CA41 CA42 CA43 CA44 CA45 CA46 CA47 CA48 CA49
・利便性 ・・自動化，機械化 ・・レイアウト変更に対応 ・・プロセス，システムの変更に対応 ・・メンテナンス性の向上 ・・・部材の着脱又は交換を容易にしたもの ・・組立作業の容易化 ・・・モジュール化 ・・操作性の向上
CA51 CA52 CA53 CA54 CA55 CA56 CA59
・安全，監視 ・・作業者の安全 ・・誤動作の防止，安全管理 ・・エラー発生時の制御，回復方法に特徴 ・・干渉回避 ・・不良品の選別又は除去 ・災害対策
CA61 CA62 CA63 CA67 CA68 CA69 CA70
・環境 ・・省エネ，省資源 ・・再利用，リサイクル ・チップの用途に基づく課題（ＡＡ４０にも付与） ・静電吸着の課題（ＥＢ２２－２８にも付与） ・センサの課題（ＫＡ６１－６８にも付与） ・その他の目的，課題［ＦＷ］
H01L21/68@A-C DA DA00
搬送の形態 		DA01 DA02 DA03 DA05 DA07 DA08 DA09
・被搬送物 ・・ガラス基板，フラットパネルディスプレイ ・・チップ，ペレット，ダイ ・・収納容器 ・・非製品用基板（ウエハ状治具等） ・・・ダミーウエハ ・・・マスク，レチクル
DA12 DA13 DA14 DA16 DA20
・・補強された基板（肉厚外周ウエハ等） ・・・リングフレームと粘着テープで保持 ・・・テープ又は薄板を貼付 ・・基板の補強部材（リングフレーム等） ・・その他（合紙等）［ＦＷ］
DA21 DA22 DA23 DA24 DA25
・搬送場所 ・・工程内搬送（処理部⇔処理部又は保管部） ・・工程間搬送（保管部⇔保管部） ・・フロア間搬送 ・・工場間搬送
DA32 DA33 DA34 DA35 DA36 DA37
・・容器⇔搬送手段での受渡し ・・搬送手段⇔処理時の固着保持部での受渡し ・・搬送手段⇔搬送手段での受渡し ・・・搬送手段間で直接受渡し ・・・中継部（載置台等）が介在 ・・搬送手段⇔保管部での受渡し
DA41 DA42 DA43
・被搬送物の枚数又は個数 ・・１枚（個）毎，枚葉式 ・・複数枚（個）一括，バッチ式
DA51 DA52 DA53 DA54 DA55
・被搬送物の姿勢 ・・垂直状態 ・・・容器への搬出入方向が垂直 ・・反転状態又は下向き状態 ・・傾斜状態
DA61 DA62 DA63 DA64 DA65 DA66 DA67 DA68
・搬送動作 ・・姿勢の変更（水平⇔垂直，表裏等） ・・・容器ごと回転，反転 ・・被搬送物同士の間隔（ピッチ）の変更 ・・・搬送手段に保持した状態で変更 ・・容器を上下させて一枚ずつ順に出し入れ ・・ウエハ等同士の重ね合せ，剥離 ・・処理部への入れ換え方法に特徴
H01L21/68@A DB DB00
搬送装置又は手段（１） 		DB01 DB02 DB03 DB04 DB05 DB06
・保持部 ・・フォーク ・・・複数のフォークを備えたもの ・・・・各フォークを独立して動かせるもの ・・・ウエハ等を保持する部分の形状に特徴 ・・・・爪，突起等で部分的に保持
DB12 DB13 DB14 DB15 DB16
・・把持又は挟持によるもの ・・・保持対象物との接触部の構造に特徴 ・・・爪，指の開閉機構に特徴 ・・・端面を把持 ・・・表裏を把持
DB22 DB23 DB24 DB25 DB27 DB29
・・真空吸着による保持 ・・静電吸着による保持 ・・粘着による保持 ・・吸着面又は粘着面の構造に特徴 ・・ベルヌーイチャック ・・フック
DB32 DB34 DB36 DB37
・・保持部の材質に特徴 ・・保持部の製造方法又は加工方法に特徴 ・・切換可能な複数の保持部 ・・・処理の前後で保持部を切換
DB42 DB43 DB44 DB45
・・搬送装置に付加的機能を一体化したもの ・・・センサ（ＫＡ，ＫＢを参照） ・・・加熱又は冷却機能 ・・・型当てによる被搬送物の位置決め機構
DB51 DB52 DB53 DB54 DB57 DB58
・ア－ム部 ・・水平多関節 ・・垂直多関節 ・・進退スライド ・・複数のアームを有するもの ・・・各アームを独立して動かせるもの
DB61 DB62 DB63 DB64 DB65
・保持部またはアーム部全体の動作 ・・上下方向に昇降するもの ・・・コラムに沿って昇降 ・・・伸縮機構により昇降（テレスコピック等） ・・・リンク機構によって昇降
DB72 DB73 DB76 DB77 DB78
・・水平方向に移動するもの ・・・昇降機構ごと水平移動 ・・水平面内で旋回するもの ・・・昇降機構ごと旋回 ・・・旋回機構を昇降
DB81 DB82 DB83 DB86 DB87 DB88
・駆動機構 ・・リンク機構 ・・・パンタグラフ機構（フロッグレッグ等） ・・直動機構 ・・・リニアモータ駆動 ・・・ボールネジ
DB92 DB93 DB95 DB97 DB99
・・プーリ＆ベルト ・・歯車 ・・多重軸駆動 ・・その他［ＦＷ］ ・配線，配管又はコンジットに特徴
DC DC00
搬送装置又は手段（２） 		DC01 DC02 DC03 DC04 DC05 DC06 DC09
・台車 ・・無人搬送車 ・・・地上走行軌道有り（ＲＧＶ等） ・・・地上走行軌道無し（ＡＧＶ等） ・・・天井走行モノレール型（ＯＨＳ等） ・・・天井走行懸垂式（ＯＨＴ等） ・・手押し台車又はハンドカート
DC11 DC12 DC13 DC14 DC15 DC16 DC17 DC18 DC19
・浮遊搬送 ・・噴流を利用して浮遊 ・・・噴出口の配置，構造に特徴 ・・・・噴流によって平行移動させるもの ・・・・吸引孔を併せ持つもの ・・・・方向転換又は姿勢変更を行うもの ・・超音波を利用して浮遊 ・・電磁気を利用して浮遊 ・・被搬送物の保持，送り手段に特徴
DC21 DC22 DC23 DC26 DC28 DC30
・コンベヤ ・・ローラコンベヤ ・・ベルトコンベヤ ・垂直搬送装置（エレベータ，リフト等） ・手工具（手で持つピンセット，吊り具等） ・その他［ＦＷ］
H01l21/68A-C DD DD00
搬送制御 		DD01 DD02 DD03 DD10
・制御対象となる搬送装置 ・・無人搬送車 ・・ロボット ・・その他［ＦＷ］
DD11 DD12 DD13 DD14 DD16 DD17 DD18 DD19
・制御部間の接続関係 ・・集中制御に特徴 ・・・複数の搬送装置を協調制御するもの ・・・・搬送装置間に主従関係があるもの ・・分散制御に特徴 ・・・複数の搬送装置を個別に制御 ・・・モジュール毎に制御 ・・・コントローラ間で通信するもの
DD21 DD22 DD23 DD24 DD25 DD26 DD27 DD28 DD29 DD30
・特定の場面での搬送制御 ・・異常時 ・・・渋滞 ・・・デッドロック ・・メンテナンス時 ・・初期立ち上げ時，完工時又は試運転時 ・・スケジュール変更又は割り込み時 ・・レイアウト変更時 ・・処理装置への供給又は払い出し時 ・・その他［ＦＷ］
DD31 DD32 DD33 DD34 DD35
・制御部の入力 ・・事前に設計済み ・・・プログラム，シーケンス ・・・生産計画，スケジュール，タイムチャート ・・・マップ，地図情報
DD42 DD43 DD44 DD45 DD46 DD47 DD49
・・リアルタイム ・・・センサ情報（ＫＢ５８にも付与） ・・・異常情報又はアラーム情報 ・・・作業者の操作 ・・・空き又は混雑状況 ・・・他のコントローラからのトリガー ・・過去の履歴又は値
DD52 DD53 DD54 DD56 DD57 DD59
・・被搬送物に関する情報 ・・・レシピ又は品質 ・・・形状，数量又はロットサイズ ・・搬送装置に関する情報 ・・・目標搬送経路又は目標位置 ・・容器に関する情報
DD62 DD63 DD65 DD67 DD69 DD70
・・処理装置に関する情報 ・・・装置のレイアウトに関する情報 ・・保管に関する情報 ・・雰囲気に関する情報 ・・受注又は仕掛 ・・その他［ＦＷ］
DD71 DD72 DD73 DD74 DD75 DD76 DD78 DD79
・制御部の出力 ・・距離又は位置 ・・・被搬送物の搬送先又は搬送元 ・・・搬送経路，移動軌跡又は代替ルート ・・・搬送中の被搬送物間の距離又は間隔 ・・・被搬送物の位置ずれ補正 ・・速度又は加速度 ・・・搬送速度
DD82 DD83 DD84 DD85 DD86 DD88 DD89
・・時間，順序又はタイミング ・・・搬送順序又は処理順序 ・・・待機時間 ・・・処理部への搬出入のタイミング ・・・シャッター等の開閉のタイミング ・・数量 ・・・被搬送物の数量
DD92 DD93 DD94 DD95 DD99
・・その他［ＦＷ］ ・・・被搬送物の向き又は姿勢 ・・・異常停止又はアラーム等の出力 ・・・搬送手段の割り当て，選択又は呼び込み ・・目標指令値の演算方法に特徴
H01L21/68@A-Z EA EA00
ステージによる固着保持（１） 		EA01 EA02 EA03 EA04 EA05 EA06 EA07 EA10
・ステージの用途 ・・精密位置決め，アライメント用 ・・プラズマ処理用 ・・熱処理用 ・・加工用 ・・ウェット処理用 ・・テープ等の貼り剥がし用 ・・その他［ＦＷ］
EA11 EA12 EA13 EA14 EA15 EA16 EA17 EA18 EA19
・ステージの構造 ・・門型，ガントリ型 ・・ステージの架台に関する具体的構成 ・・駆動部に関する具体的構成 ・・ガイドに関する具体的構成 ・・微動テーブルの振動の抑制又は除去 ・・処理室への搬出入部を兼ねるもの ・・処理装置本体との取り付けに特徴 ・・複数のステージの連結
EA21 EA22 EA23 EA24 EA25 EA27
・ステージの動作 ・・水平方向（ＸＹ）への並進移動 ・・垂直方向（Ｚ）への並進移動 ・・鉛直軸周りの回転（θ） ・・水平面に対する傾動 ・・微動ステージと粗動ステージを重ねたもの
H01L21/68@N-R EB EB00
ステージによる固着保持（２） 		EB01 EB02 EB03 EB04 EB05
・真空吸着 ・・吸着孔又は吸着溝の配置又は構造に特徴 ・・ポーラス材を用いたもの ・・吸引源又は吸引源までの流路に特徴 ・・複数の吸引部が互いに独立して脱着可能
EB11 EB12 EB13 EB14 EB15 EB16 EB17 EB18 EB19
・静電吸着 ・・ジョンセンラーベック力による吸着 ・・グラディエント力による吸着 ・・電極部に関する具体的構成 ・・・電極の形状，配置に特徴 ・・・プラズマ電極を備えるもの ・・電源，給電部に関する具体的構成 ・・誘電層に関する具体的構成 ・・体積抵抗率についての具体的数値範囲
EB22 EB23 EB24 EB25 EB26 EB27 EB28
・・静電吸着の課題（ＣＡ６８にも付与） ・・・吸着力の向上 ・・・残留吸着力の除去 ・・・耐環境性の向上 ・・・高温特性の向上 ・・・セルフバイアスを考慮 ・・・均一な吸着力
EB31 EB32 EB33 EB34 EB35 EB36 EB37 EB38
・クランプ，把持 ・・ウエハ等の周縁の一部を把持 ・・ウエハ等の全周を把持 ・・ウエハ等への押圧力の与え方 ・・・爪等の押え部材の開閉により端面を押圧 ・・・載置部と押え部材とで挟んで表裏を押圧 ・・・押圧力の発生方法又は機構に特徴 ・・・・弾性体（バネ等）を利用するもの
EB41 EB42 EB43 EB44 EB46
・非接触支持 ・・噴流を利用するもの（ベルヌーイチャック） ・・・噴出口の配置，構造に特徴 ・・超音波を利用するもの ・粘着
EB51 EB52 EB53 EB54 EB55 EB56 EB57 EB58
・ウエハ等との接触面に関する具体的構成 ・・凸状 ・・凹状 ・・凹凸，突起（接触面の限定） ・・ウエハ等の裏面を露呈させて保持 ・・接触面のみを異なる材質にしたもの ・・ウエハ等の外周部にのみ接触 ・・弾性のある接触面
EB61 EB62 EB63 EB64 EB66 EB67 EB68
・固着保持面が水平上向き以外のもの ・・垂直 ・・下向き ・・傾斜 ・複数のウエハ等を一括保持するもの ・・水平面上に並べたもの ・・垂直方向に並べたもの
EB71 EB72 EB73 EB75 EB78 EB79
・固着力の解除，保持面からの離脱 ・・リフトピン ・・ガス噴射 ・搬送容器として使用可能な可搬型のもの ・ステージの材質を特定 ・ステージの製造方法，加工方法に特徴
EB81 EB82 EB84 EB85 EB87 EB89
・加熱機構 ・冷却機構 ・ウエハ等との間隙に伝熱ガスを供給 ・・ガス拡散用の溝を有するもの ・断熱又は熱反射手段を有するもの ・処理，保持，離脱，伝熱用以外の流体の供給
H01L21/68@N EC EC00
その他による固着保持 		EC01 EC02 EC03 EC05 EC08
・熱処理用ボ－ト ・・縦型ボート ・・横型ボート ・・ボートの保持，搬送 ・・製造方法，組立方法に特徴
EC12 EC13 EC14 EC15 EC17 EC18
・・構造に関する具体的構成 ・・・溝（ウエハとの接触部）の形状に特徴 ・・・・ウエハを傾斜支持 ・・・ボートにウエハを間接的に載置 ・・材質，面粗さ，コーティング等に特徴 ・・・接触部の材質，面粗さ，コーティング等に特徴
EC21 EC22 EC23 EC24
・液槽への浸漬処理 ・・ウエハ等を容器に保持した状態で浸漬（ＧＡ２７も付与） ・・ウエハ等を保持部に直接保持した状態で浸漬 ・・水切り方法，水切りのための構造に特徴
EC31 EC32 EC33 EC34 EC35 EC36 EC37
・テープ，薄板等の貼り剥がし ・・テープ，フィルム ・・・ダイシングテープ ・・・表面保護テープ ・・・ダイボンディングテープ，ダイアタッチフィルム ・・・レジストフィルム ・・・剥離テープ
EC42 EC43 EC44
・・薄板 ・・・補強用支持板 ・・・リングフレーム
EC52 EC53 EC54 EC55
・・テープ，薄板等の構成部材 ・・・基材の材質が特定されたもの ・・・接着剤層の材質が特定されたもの ・・・多層構造
EC62 EC63 EC64 EC65 EC66 EC67 EC68 EC69
・・貼付 ・・・押圧手段 ・・・加熱手段 ・・・減圧雰囲気内 ・・・貼付角度，貼付方向に特徴 ・・・転着を直接行うもの ・・・テープの切断 ・・・テープの送り部
EC72 EC73 EC74 EC75 EC76 EC77
・・剥離 ・・・粘着力低下処理 ・・・チップの突上げ ・・・テープのエキスパンド ・・・剥離テープで引張して剥離 ・・・剥離角度，剥離方向に特徴
H01L21/68A-Z FA FA00
位置決め，アライメント 		FA01 FA02 FA03 FA10
・位置決めの対象物（基板以外） ・・容器 ・・チップ，ペレット，ダイ ・・その他［ＦＷ］
FA11 FA12 FA13 FA14 FA15 FA17 FA19
・位置決め手段 ・・ウエハ等のみを動かすもの ・・・型当て ・・・テーパ，段差，位置決めピン ・・・ローラによる回転 ・・微動ステージ等の載置部ごと動かすもの ・・ウエハ等が収納された容器を動かすもの
FA22 FA23 FA24 FA25 FA26
・・位置決め時の姿勢に特徴（傾斜位置等） ・・２段階以上で位置決めを行うもの ・・複数枚を同時に位置決めするもの ・・治具を用いるもの ・・搬送手段を制御してウエハ等を動かすもの
FA31 FA32 FA33 FA34 FA35 FA37 FA39
・目的 ・・中心を合わせるもの ・・向き，方位を合わせるもの ・・・オリフラを合わせるもの ・・・ノッチを合わせるもの ・・ウエハ等に対するその他の位置決め ・・傾き，平面度を合わせるもの
H01L21/68@T-Z GA GA00
容器 		GA01 GA02 GA03 GA05 GA09
・容器の種類 ・・開放型容器 ・・・キャリア，カセット（オープンカセット等） ・・・トレイ，パレット ・・包装体（輸送用の箱体，密封用の袋等）
GA12 GA13 GA14 GA15 GA16 GA18 GA19
・・密閉型容器 ・・・キャリア，カセット ・・・・ＦＯＵＰ ・・・・ＦＯＳＢ ・・・・ＭＡＣ（マルチアプリケーションキャリア） ・・・キャリアごと収納するケ－ス ・・・・ＳＭＩＦポッド
GA21 GA22 GA23 GA24 GA26 GA27 GA30
・容器の用途 ・・ガラス基板，フラットパネルディスプレイ用 ・・チップ，ペレット，ダイ用 ・・マスク，レチクル，ペリクル用 ・・処理時にも用いるもの ・・・浸漬処理に用いるもの（ＥＣ２２にも付与） ・・その他［ＦＷ］
GA31 GA32 GA33
・最大収容枚数 ・・１枚用（積み重ねて使用する容器も含む） ・・少数枚（２～１０枚）用
GA41 GA42 GA43 GA44 GA45
・容器への収納姿勢 ・・複数枚を同一水平面上に並べたもの ・・垂直姿勢 ・・傾斜姿勢 ・・湾曲状態
GA51 GA52 GA53 GA54 GA55
・容器の構造 ・・材質 ・・・樹脂（材料が特定されているもの） ・・・・フィラー，充填材，添加剤を特定 ・・・・コーティング層を設けたもの
GA62 GA63 GA64 GA65 GA66 GA67 GA68 GA69
・・容器本体の内部の構造 ・・・端部を支持溝で支持 ・・・・傾斜支持 ・・・下面をワイヤ支持 ・・・凹部内に平置き ・・・浮上，非接触支持するもの ・・・固着保持機構を備えるもの ・・・リテーナ，衝撃吸収構造を備えるもの
GA72 GA73 GA74 GA75 GA76 GA77
・・容器本体の外部の構造 ・・・搬送装置用の保持部（ロボットフランジ等） ・・・作業者用の保持部（マニュアルハンドル等） ・・・搬送時の案内部（サイドレール等） ・・・位置決め部（ボトムプレート等） ・・・容器同士の積み重ね部
GA82 GA83 GA84 GA85 GA87 GA88
・・蓋の構造 ・・・蓋と本体との係合部に特徴（ラッチ機構等） ・・・蓋と本体との嵌合部に特徴（ガスケット等） ・・・蓋の内側に設けられたリテーナに特徴 ・・・上面に蓋を設けるもの ・・・側面，正面に蓋を設けるもの
GA92 GA94 GA99
・・気密構造（換気機能を有するものを含む） ・・収納物の飛び出し防止用の構造 ・・がたつき防止用押え，スペーサ，クッション
H01L21/68@T-V GB GB00
保管 		GB01 GB02 GB03 GB04
・保管対象物 ・・容器 ・・処理対象物をそのまま保管するもの ・・処理対象物以外のものも保管
GB11 GB12 GB13 GB14
・保管場所 ・・処理装置内部、処理装置と一体的に設けた棚 ・・工程内搬送路に設けた一時滞留部、バッファ ・・工程間搬送路に接続した自動倉庫，ストッカ
GB21 GB22 GB23 GB24 GB25 GB27 GB28 GB29
・保管手段の構成 ・・保管棚（バッファステージも含む）に特徴 ・・・保管棚が回転 ・・・保管棚が昇降 ・・・保管棚と保管対象物との固定，位置決め手段 ・・スタッカクレーンを有するもの ・・保管棚への搬送に特徴 ・・保管部に付加的機能を設けたもの
H01L21/68@A-Z HA HA00
その他の搬送に関連する技術 		HA01 HA02 HA04 HA05 HA06 HA07 HA08 HA09
・装置へのウエハ等のローディング部 ・・ローディング部の搬送系に特徴 ・・装置への容器（キャリア部）の装填に特徴 ・・・容器の配置（位置，方向等）に特徴 ・・・容器と装置との固定に特徴 ・・・作業者が手で受渡し ・・・装填時に出没する仮置き台を備えるもの ・・・搬送装置から移載する手段を備えるもの
HA12 HA13 HA14 HA15
・・ロードロック室，真空予備室，予備真空室 ・・・ロード用とアンロード用を共に備えるもの ・・・内部にバッファを備えたもの ・・・内部にマニプレータを備えたもの
HA21 HA22 HA23 HA24 HA25 HA28 HA29
・チャンバ ・・チャンバ自体の構造に特徴 ・・チャンバ間の連結部に特徴 ・・内部の処理手段、搬送手段の配置に特徴 ・・チャンバに付加的機能を設けたもの ・ゲート，シャッター ・・ボックス状容器の蓋を開閉する機構に特徴
HA31 HA32 HA33 HA35 HA36 HA37
・装置間のインターフェース部 ・・メカニカルインターフェース ・・受け渡し時に送受信するデータ，制御信号 ・・処理装置⇔搬送装置 ・・搬送装置⇔搬送装置 ・・保管装置⇔搬送装置
HA41 HA42 HA43 HA44
・ユーザインターフェイス ・・監視モニタ ・・警報機 ・・コマンド入力操作部
JA JA00
雰囲気管理 		JA01 JA02 JA03 JA04 JA05 JA06 JA07 JA08 JA09 JA10
・雰囲気を管理する場所 ・・台車の内部 ・・マニプレータの内部 ・・容器の内部（ＧＡ９２にも付与） ・・保管部 ・・搬送トンネル，クリーントンネル部 ・・ゲート，シャッター部 ・・搬送室，トランスファチャンバ ・・ロードロック室、真空予備室、予備真空室 ・・その他［ＦＷ］
JA11 JA12 JA13 JA14 JA15 JA16 JA20
・管理する対象 ・・圧力 ・・風量，風圧，風向 ・・温度 ・・湿度 ・・粉じん ・・その他［ＦＷ］
JA21 JA22 JA23 JA24 JA25 JA26 JA27 JA28 JA29
・管理手段 ・・防じん，粉じんの除去 ・・・吸引 ・・・吹き飛ばし，換気又はパージガス ・・・一方の空間を陽圧にするもの ・・・防じんカバ－，発じん源の隔離 ・・エア－の形成，導入又は流路 ・・・粉じんの巻き上がり防止（ダウンフロー等） ・・・エアーカーテン
JA32 JA33 JA34 JA35 JA36 JA40
・・ファンやフィルターに関する具体的構成 ・・シール構造に関する具体的構成 ・・圧力制御，ゲートバルブ開閉のタイミング ・・ガスの置換 ・・静電気除去 ・・その他［ＦＷ］
KA KA00
検出（１） 		KA01 KA02 KA03 KA04 KA05 KA06 KA10
・検出の対象物（基板以外） ・・搬送手段 ・・固着保持手段 ・・チャンバ ・・容器 ・・雰囲気 ・・その他［ＦＷ］
KA11 KA12 KA13 KA14 KA15 KA16 KA17
・手段（センサ） ・・光センサ ・・・ラインセンサ ・・・エリアセンサ，カメラ ・・・透過光検出 ・・・反射光検出 ・・・光路の形成に特徴
KA22 KA23 KA24 KA25 KA27 KA28
・・圧力センサ ・・温度センサ ・・湿度センサ ・・流量センサ ・・加速度センサ ・・速度センサ
KA32 KA33 KA34 KA35 KA37 KA38 KA40
・・歪みゲージ，ロードセル ・・超音波センサ ・・静電容量センサ ・・磁気センサ ・・タイマー ・・手動操作スイッチ ・・その他［ＦＷ］
KA41 KA42 KA43 KA44 KA45 KA47 KA48 KA49
・検出の形態 ・・検出時に検出対象物とセンサが相対的に移動 ・・・センサが移動 ・・・ウエハ等の検出対象物が移動 ・・・・ウエハ等の検出対象物が回転 ・・１つの検出対象物に対し複数のセンサを設置 ・・複数の検出対象物を複数のセンサで一括検出 ・・複数の検出対象物を１つのセンサで一括検出
KA51 KA52 KA53 KA54 KA55 KA56 KA57 KA60
・センサの設置場所 ・・フォーク，ハンド ・・台車 ・・ステージ，固着保持手段 ・・チャンバ，ゲートバルブ ・・容器 ・・基板 ・・その他［ＦＷ］
KA61 KA62 KA63 KA64 KA65 KA66 KA67 KA68 KA70
・センサの課題 ・・誤検知防止 ・・感度向上，精度向上 ・・破損防止 ・・耐環境性 ・・・耐熱性 ・・・真空中での使用 ・・・耐水性，防水 ・・その他［ＦＷ］
KA71 KA72 KA73
・検出信号 ・・検出信号の処理に関する具体的構成 ・・検出信号の伝達に関する具体的構成
H01L21/68A-V KB KB00
検出（２） 		KB01 KB02 KB03 KB04 KB05 KB06 KB07 KB08 KB09
・検出する情報 ・・形状の情報 ・・・オリフラ ・・・ノッチ ・・・エッジ，端面 ・・・特徴的なパターン ・・・・位置合わせマーク ・・・・スクライブライン ・・・全体像，外観，大きさ
KB12 KB13 KB14 KB15 KB16 KB17
・・寸法の情報（距離，厚さ，角度等） ・・材料，材質 ・・表裏 ・・枚数，個数 ・・質量 ・・振動，音
KB22 KB23 KB24 KB30
・・識別情報（バーコード，メモリ情報等） ・・・ウエハ等の基板自体に付けられたもの ・・・カセット等容器に付けられたもの ・・その他［ＦＷ］
KB31 KB32 KB33 KB35 KB36 KB38
・検出の目的 ・・存在の有無，存在位置（アドレス） ・・・キャリア等の溝や収納ウエハのマッピング ・・基板の種類（基板の大小，膜厚，形状等） ・・容器の種類 ・・基板，容器の個体識別（ＫＢ２２－２４も付与）
KB42 KB43 KB44 KB45 KB46 KB48 KB49
・・基板の反り，変形，たわみ ・・吸着状態 ・・基板，装置又は雰囲気の汚染度 ・・異常，劣化 ・・・基板処理状態の不良 ・・接触，干渉 ・・障害物
KB52 KB53 KB54 KB55 KB56 KB58 KB60
・・容器内での位置ずれ（傾き，はみ出し等） ・・固着保持位置のずれ ・・・方向，方位のずれ ・・・中心のずれ ・・・高さのずれ，傾き ・・搬送制御に用いるもの（ＤＤ４３にも付与） ・・その他［ＦＷ］
TOP