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5F049 | 受光素子3(フォトダイオード・Tr) | 光デバイス |
H01L31/10 -31/10@Z |
H01L31/10-31/10@Z | MA | MA00 素子の種類 |
MA01 | MA02 | MA03 | MA04 | MA05 | MA07 | MA08 | MA09 | ||
・フォトダイオ-ド(PD) | ・・PN接合型 | ・・・PNヘテロ接合型 | ・・PIN接合型 | ・・ショットキ-障壁型 | ・・アバランシェ-フォトダイオ-ド(APD) | ・・・吸収/増倍分離型APD | ・・・超格子APD | |||||
MA11 | MA12 | MA13 | MA14 | MA15 | MA20 | |||||||
・フォトトランジスタ(PT) | ・・バイポ-ラ型 | ・・・ヘテロ接合型 | ・・電界効果型(FET) | ・・・MIS(MOS)型FET | ・その他の型の素子 | |||||||
MB | MB00 素子本体材料(基板、電極等はSE~SZ) |
MB01 | MB02 | MB03 | MB04 | MB05 | MB07 | MB08 | ||||
・材料 (*) | ・・IV族 (*) | ・・・単結晶、多結晶 (*) | ・・・微結晶 (*) | ・・・アモルファス (*) | ・・III-V族 (*) | ・・有機材料 (*) | ||||||
MB11 | MB12 | MB14 | ||||||||||
・ド-パント材料 (*) | ・・導電型決定用 (*) | ・バインダ材料 (*) | ||||||||||
NA | NA00 目的、効果 |
NA01 | NA02 | NA03 | NA04 | NA05 | NA06 | NA07 | NA08 | NA09 | NA10 | |
・感度向上(量子効率向上) | ・・表面反射の減少、防止 | ・レスポンス向上(周波数特性向上) | ・S/N比向上 | ・暗電流の減少 | ・エッジブレイクダウン防止 | ・耐環境特性の向上 | ・製造工程に関するもの(歩留まり向上) | ・設置、固定に関するもの | ・分光特性の改善 | |||
NA11 | NA12 | NA13 | NA14 | NA15 | NA16 | NA17 | NA18 | NA19 | NA20 | |||
・バンドギャップの制御 | ・不純物濃度の制御 | ・格子定数の制御 | ・電気抵抗の低減 | ・容量の低減 | ・容量の増加 | ・誤動作防止、外乱対策 | ・生産性向上、低コスト化 | ・小型化、軽量化 | ・その他の目的、効果 | |||
NB | NB00 用途 |
NB01 | NB03 | NB05 | NB06 | NB07 | NB08 | NB10 | ||||
・光通信用 | ・イメ-ジセンサ用 | ・固体撮像素子用 | ・撮像管用タ-ゲット | ・計測用 | ・光ピックアップ用 | ・その他の用途 | ||||||
PA | PA00 製造方法(工程) |
PA01 | PA02 | PA03 | PA04 | PA05 | PA06 | PA07 | PA08 | PA09 | PA10 | |
・結晶成長 | ・・液相エピタキシャル法(LPE) | ・・気相エピタキシャル法(VPE) | ・・・MOCVD法 | ・薄膜技術 | ・・真空蒸着法 | ・・スパッタ法 | ・ド-ピング | ・・熱拡散 | ・・イオン注入 | |||
PA11 | PA12 | PA14 | PA15 | PA17 | PA18 | PA20 | ||||||
・熱処理 | ・・光アニ-ル | ・エッチング | ・電極形成法 | ・素子分割(ダイシング、スクライブ) | ・製造条件に特徴(温度、圧力、時間など) | ・その他製造方法に関する事項 | ||||||
QA | QA00 素子構造一般(接合はMA、細部はSE等) |
QA01 | QA02 | QA03 | QA04 | QA05 | QA06 | QA07 | QA08 | QA09 | QA10 | |
・フォトダイオ-ドの構造 | ・・メサ型 | ・・プレ-ナ型 | ・・基板型(バルク型) | ・・リ-チスル-型 | ・・裏面入射型 | ・・タンデム型(積層型) | ・・導波路型 | ・フォトトランジスタの構造 | ・・ベ-ス無端子型 | |||
QA11 | QA12 | QA13 | QA14 | QA15 | QA16 | QA17 | QA18 | QA19 | QA20 | |||
・素子本体の構成要素 | ・・ガ-ドリング | ・・・ガ-ドリングの構造 | ・・チャネルストッパ | ・・埋込み層 | ・・超格子 | ・・窓(ウインドウ)層 | ・・バッファ層 | ・・・グレ-デッド=バンドギャップ層 | ・その他本項に関する事項 | |||
RA | RA00 モジュ-ル化 |
RA01 | RA02 | RA03 | RA04 | RA06 | RA07 | RA08 | RA10 | |||
・同種複数素子 | ・・アレイ | ・・・PN分離 | ・・・絶縁分離 | ・複合素子 | ・・発光素子との結合 | ・・スイッチング素子との結合 | ・その他モジュール化に関する事項 | |||||
SE | SE00 電極 |
SE01 | SE02 | SE03 | SE04 | SE05 | SE06 | SE07 | SE09 | |||
・材料 (*) | ・・透明電極 (*) | ・・・Sn02 | ・・・IT0 | ・・金属電極 (*) | ・・有機材料 (*) | ・・ペ-スト部材 | ・形状に特徴 | |||||
SE11 | SE12 | SE14 | SE15 | SE16 | SE17 | SE20 | ||||||
・構造に特徴 | ・・多層構造 | ・機能 | ・・マウント用 | ・・反射膜兼用 | ・・遮光膜兼用 | ・その他電極に関する事項 | ||||||
SS | SS00 基板 |
SS01 | SS02 | SS03 | SS04 | SS06 | SS07 | SS08 | SS09 | SS10 | ||
・材料 (*) | ・・半導体基板 (*) | ・・・IV族 (*) | ・・・III-V族 (*) | ・構造 | ・・多層構造 | ・・表面処理 | ・面方位 (*) | ・その他基板に関する事項 | ||||
SZ | SZ00 その他の素子構造要素 |
SZ01 | SZ02 | SZ03 | SZ04 | SZ06 | SZ07 | SZ08 | SZ10 | |||
・反射防止膜 | ・・材料 (*) | ・・・無機材料 (*) | ・・構造 | ・フィルタ膜 | ・・材料 (*) | ・・構造 | ・遮光膜(電極は除く) | |||||
SZ11 | SZ12 | SZ13 | SZ16 | SZ20 | ||||||||
・表面保護膜 | ・・材料 (*) | ・・・SiO2 | ・反射膜 | ・その他本項に関する事項 | ||||||||
TA | TA00 ケ-ス、実装 |
TA01 | TA02 | TA03 | TA05 | TA06 | TA08 | TA09 | TA10 | |||
・素子のマウント | ・・リ-ドフレ-ム | ・・基台 | ・ボンディング | ・・ワイヤボンディング | ・ケ-ス、パッケ-ジ | ・・モ-ルディング | ・・キャン封止 | |||||
TA11 | TA12 | TA13 | TA14 | TA20 | ||||||||
・光学部材との結合 | ・・レンズ | ・・光学フィルタ | ・・光ファイバ- | ・その他、ケ-ス、実装に関する事項 | ||||||||
UA | UA00 周辺回路 |
UA01 | UA02 | UA04 | UA05 | UA06 | UA07 | |||||
・複数の受光素子を対象とするもの | ・バイアス光を照射するもの | ・回路の機能 | ・・利得制御 | ・・温度補償 | ・・高速応答 | |||||||
UA11 | UA12 | UA13 | UA14 | UA16 | UA17 | UA18 | UA20 | |||||
・バイアス回路 | ・・電流電圧変換部 | ・・増幅部 | ・・スイッチング部 | ・帰還のための検出回路 | ・・受光素子の出力電流電圧検出 | ・・温度検出 | ・その他、周辺回路に関する事項 | |||||
WA | WA00 受光波長帯域 |
WA01 | WA03 | WA05 | WA07 | WA08 | WA09 | |||||
・赤外光 | ・可視光 | ・紫外光 | ・X線、γ線、粒子線 | ・受光波長可変 | ・広帯域受光(多色受光を含む) |