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4M105,4M116,5F044,5F062統合(H10)、解析要否変更(H14)
5F044 | ボンディング | 電子デバイス |
H01L21/447 -21/449;21/60-21/607@Z |
H01L21/60,301;21/60@A;21/60@B | AA | AA00 ワイヤによるペレット電極との接続構造 |
AA01 | AA02 | AA03 | AA04 | AA05 | AA07 | AA08 | AA09 | AA10 | |
・リードフレームとの接続 | ・配線基板との接続 | ・・基板配線にメッキしているもの | ・・基板配線にボンディングチップがあるもの | ・・基板配線の配置、形状に関するもの | ・パッケージの配線部との接続 | ・・配線部が多層のもの | ・ステムのリードとの接続 | ・中継部材との接続 | ||||
AA11 | AA12 | AA14 | AA15 | AA18 | AA19 | AA20 | ||||||
・マウントアイランドと同電位の部材との接続 | ・他の素子電極との接続 | ・ペレット電極のワイヤ接続部 | ・・保護膜を形成しているもの | ・同一のパッド電極に複数本のワイヤ接続 | ・同一のリードに複数本のワイヤ接続 | ・ワイヤ配置 | ||||||
H01L21/60,301;21/60@G;21/60@H;21/60@J;21/60@K | BB | BB00 ワイヤボンディング装置 |
BB01 | BB02 | BB03 | BB04 | BB05 | BB06 | BB09 | BB10 | ||
・ボンディングツール | ・・ボンディングツールを複数もつもの | ・ボンディングアーム駆動部 | ・・カムによるもの | ・・磁気によるもの | ・ボンディング圧力、荷重調整部 | ・ワイヤボール形成 | ・・水素トーチによるもの | |||||
BB11 | BB12 | BB13 | BB14 | BB15 | BB16 | BB17 | BB19 | BB20 | ||||
・・電気的放電によるもの | ・・・放電電極の構造 | ・・・放電雰囲気 | ・ワイヤ供給部 | ・ワイヤクランパ | ・ワイヤ張力調整 | ・・空気を吹きつけるもの | ・XYテーブル | ・被ボンディング部材の載置部 | ||||
BB21 | BB22 | BB23 | BB25 | |||||||||
・リードフレーム押え | ・被ボンディング部材の移送,機械的位置決め | ・空気のゆらぎ防止 | ・リードフレーム等の加熱部 | |||||||||
H01L21/60,301;21/60@D | CC | CC00 ワイヤボンディング方法 |
CC01 | CC02 | CC03 | CC04 | CC05 | CC06 | CC07 | |||
・前処理 | ・後処理 | ・ボンディング時の雰囲気 | ・温度,加熱,冷却 | ・ボンディングツールの動き | ・ハンダ,ロウ,接着剤でボンディング | ・ボンディング部の補強 | ||||||
H01L21/60,301;21/60@L | DD | DD00 光学的ボンディング位置検知 |
DD01 | DD02 | DD03 | DD04 | DD05 | DD06 | DD07 | DD08 | DD10 | |
・光学的位置合せ,位置決め | ・位置検知 | ・・ペレットの位置検知 | ・・・ペレットの外形によるもの | ・・・ペレットのパッド電極によるもの | ・・・検知用パターンによるもの | ・・リードの位置検知 | ・・粗調整後に精密検知 | ・位置検知部とボンディング部が独立 | ||||
DD11 | DD12 | DD13 | DD16 | DD17 | DD18 | DD19 | DD20 | |||||
・自動ボンディング | ・・半自動ボンディング | ・・完全自動ボンディング | ・位置検知用パターン | ・・ペレットに設けたもの | ・・リード,配線基板に設けたもの | ・・パターン,ペレット輪郭明確化 | ・光学系に特徴があるもの | |||||
H01L21/60,301;21/60@N | EE | EE00 ボンディングパッド電極 |
EE01 | EE02 | EE03 | EE04 | EE06 | EE07 | EE08 | |||
・パッドの形状 | ・パッドの配置 | ・・千鳥状 | ・パッドの材料 | ・パッドが多層構造になっているもの | ・検査用パッド | ・パッドの腐蝕防止,耐湿改善したもの | ||||||
EE11 | EE12 | EE13 | EE14 | EE15 | EE16 | EE17 | EE18 | EE20 | ||||
・機械的破損防止したもの | ・パッドの剥れ防止したもの | ・ワイヤとパッドの密着力を増強したパッド | ・電極配線の切断防止したもの | ・パープルプレーグを防止したもの | ・静電破壊防止したもの | ・浮遊容量の小さいパッド | ・パッドによるキャパシタ形成 | ・高集積度化したもの | ||||
EE21 | ||||||||||||
・パッド電極の形成方法 | ||||||||||||
H01L21/60,301;21/60@F | FF | FF00 ボンディング用金属ワイヤ |
FF01 | FF02 | FF03 | FF04 | FF05 | FF06 | FF08 | FF09 | FF10 | |
・ワイヤを絶縁被覆したもの | ・ワイヤを金属で被覆したもの | ・ワイヤ材料 | ・・貴金属を主体とするもの | ・・Alを主体とするもの | ・・Cuを主体とするもの | ・形状に特徴があるもの | ・異なる太さのワイヤで接続しているもの | ・ワイヤの製造方法 | ||||
H01L21/60,301;21/60@B;21/60@M | GG | GG00 リードフレーム |
GG01 | GG02 | GG03 | GG04 | GG05 | GG07 | GG08 | GG10 | ||
・メッキ,蒸着処理したもの | ・クラッド処理したもの | ・インナーリードの形状,配置 | ・・リードフレームが多層構造のもの | ・・リードを補強しているもの | ・タブ,タブリードに特徴 | ・・タブレスリードフレーム | ・リードフレームの製造方法,装置 | |||||
H01L21/60,301;21/60@C | HH | HH00 ワイヤショート防止 |
HH01 | HH02 | HH04 | HH05 | HH06 | |||||
・リード部の形状,配置に特徴 | ・絶縁物,絶縁領域を配置するもの | ・ボンディング時に補助部材を用いるもの | ・気体を吹きつけるもの | ・ボンディング後にワイヤループを修正 | ||||||||
H01L21/60,301;21/60@A-21/60@Z | JJ | JJ00 ワイヤボンディング関連事項 |
JJ01 | JJ03 | JJ05 | JJ08 | ||||||
・赤外線,レーザー光線を用いるもの | ・容器,樹脂封止に関するもの | ・冷却に関するもの | ・マウントアイランドとリードとの接続 | |||||||||
H01L21/60,301;21/60@S | KK | KK00 フェイスダウンボンディング用配線基板 |
KK01 | KK02 | KK03 | KK04 | KK05 | KK06 | KK07 | KK08 | KK09 | KK10 |
・基板 | ・・樹脂基板 | ・・・フレキシブル基板 | ・・セラミック基板 | ・・半導体・金属基板 | ・・透明基板 | ・・多層配線基板 | ・・補助基板・チップキャリヤ | ・配線パタ-ンに特徴があるもの | ・・両面配線 | |||
KK11 | KK12 | KK13 | KK14 | KK15 | KK16 | KK17 | KK18 | KK19 | ||||
・電極部に特徴があるもの | ・・パッドパタ-ン | ・・金属多層 | ・・・ハンダコ-ティング | ・・ハンダダム | ・・バンプ | ・・・形状・配置 | ・・・材料 | ・・・製法 | ||||
KK21 | KK23 | KK25 | KK27 | |||||||||
・位置合せマ-ク | ・チップ位置決め構造体 | ・ボンディング孔を設けたもの | ・基板にレジン注入孔を設けたもの | |||||||||
LL | LL00 フェイスダウンボンディング |
LL01 | LL02 | LL04 | LL05 | LL07 | LL09 | |||||
・直接ハンダ付け状態 | ・・基板の貫通孔を介してハンダ付け | ・ハンダ付け方法 | ・・加熱方法 | ・導電ペ-スト・接着剤によるもの | ・異方性導電材料によるもの | |||||||
LL11 | LL13 | LL15 | LL17 | LL19 | ||||||||
・絶縁材料でチップと配線を密着させるもの | ・介在物を介して接続 | ・接触によるもの | ・基板とチップ間のスペ-サ- | ・ハンダパッキング | ||||||||
H01L21/60,301;21/60@R;21/60@W;21/60@Q | MM | MM00 フィルムキャリヤ |
MM01 | MM02 | MM03 | MM04 | MM06 | MM07 | MM08 | |||
・種類 | ・・金属層のみのもの | ・・絶縁フィルムに一層の金属箔を設けたもの | ・・金属箔が多層のもの | ・絶縁フィルムテ-プ | ・・フィルムにスリット・溝を形成したもの | ・・フィルムの補強 | ||||||
MM11 | MM13 | MM14 | MM15 | MM16 | ||||||||
・接着剤 | ・デバイスホ-ル | ・・複数列のもの | ・・複数種類のもの | ・・デバイスホ-ルのないもの | ||||||||
MM21 | MM22 | MM23 | MM24 | MM25 | MM26 | MM27 | MM28 | |||||
・リ-ド | ・・材料 | ・・メッキ・ハンダコ-ティング | ・・リ-ド変形防止 | ・・インナ-リ-ド | ・・アウタ-リ-ド | ・・素子保持導体 | ・・応力緩和パタ-ン | |||||
MM31 | MM32 | MM33 | MM34 | MM35 | MM38 | MM39 | MM40 | |||||
・バンプ | ・・エッチングによるもの | ・・転写によるもの | ・・プレスによるもの | ・・メッキによるもの | ・テストパッド | ・アウタ-リ-ドホ-ル | ・スプロケットホ-ル | |||||
MM41 | MM42 | MM43 | MM44 | MM45 | MM46 | MM47 | MM48 | MM49 | MM50 | |||
・識別・特性表示 | ・位置合せ用孔・マ-ク | ・静電気防止 | ・短絡防止 | ・ハンダダム | ・フィルム上に電気素子を形成したもの | ・α線遮蔽 | ・フィルムキャリヤの形成方法 | ・フィルムキャリアの形成装置 | ・フィルムキャリヤを湾曲・折曲したもの | |||
H01L21/60,301;21/60@R;21/60@Q | NN | NN00 フィルムキャリヤボンディング |
NN01 | NN02 | NN03 | NN04 | NN05 | NN06 | NN07 | NN08 | NN09 | NN10 |
・インナ-リ-ドボンディング | ・・ボンディングされた装置 | ・・ボンディング方法 | ・・・ハンダによるもの | ・・・異方性導電材料によるもの | ・・・導電性接着剤によるもの | ・・・圧着によるもの | ・・・合金接合によるもの | ・・・ギャングボンディング | ・・・各電極毎にボンディング | |||
NN11 | NN12 | NN13 | NN14 | NN15 | NN17 | NN18 | NN19 | NN20 | ||||
・アウタ-リ-ドボンディング | ・・ボンディング対象 | ・・・配線基板へ | ・・・リ-ドフレ-ムへ | ・・・パッケ-ジの導電層またはピンへ | ・・ボンディング方法 | ・・・ハンダによるもの | ・・・異方性導電材料によるもの | ・・・導電性接着剤によるもの | ||||
NN21 | NN22 | NN24 | ||||||||||
・・・光硬化性絶線性樹脂によるもの | ・・・圧着によるもの | ・・フィルム・リ-ドの切断・リ-ドの成形修正 | ||||||||||
H01L21/60,301;21/60@T | PP | PP00 ワイヤレスボンディング装置 |
PP01 | PP02 | PP03 | PP04 | PP05 | PP06 | PP07 | PP08 | PP09 | |
・インナ-リ-ドボンディング装置 | ・・ボンディングツ-ル | ・・位置合せ・位置決め | ・・載置台 | ・・チップの配位板・トレ- | ・・フィルムキャリヤガイド | ・・静電気除去 | ・・不良チップ検出・排除 | ・・加熱・冷却部 | ||||
PP11 | PP12 | PP13 | PP15 | PP16 | PP17 | PP18 | PP19 | |||||
・アウタ-リ-ドボンデング装置 | ・・ボンデングツ-ル | ・・位置合せ・位置決め | ・フェイスダウンボンディング装置 | ・・ボンディングツ-ル | ・・位置合せ・位置決め | ・・チップの配位板トレー | ・・加熱部 | |||||
H01L21/60,301;21/60@Q | QQ00 ワイヤレスボンディング用半導体チップ |
QQ01 | QQ02 | QQ03 | QQ04 | QQ05 | QQ06 | QQ07 | QQ08 | QQ09 | ||
・バンプ電極 | ・・形状・配置 | ・・材料 | ・・製法 | ・・バンプの下地金属層 | ・パッド電極 | ・チップ両面に電極のあるもの | ・ショ-ト防止 | ・識別・位置合せ用孔・マ-ク | ||||
H01L21/60,301;21/60@Q-21/60@Z | RR | RR00 ワイヤレスボンディング関連事項 |
RR01 | RR02 | RR03 | RR04 | RR06 | RR08 | RR10 | |||
・複数チップのボンディング | ・・チップ同志ボンディング | ・・チップを積層してボンディング | ・・同一リードに複数のチップをボンディング | ・チップの裏面をリ-ドに接続するもの | ・ワイヤ・ワイヤレスボンディング共用 | ・放熱 | ||||||
RR12 | RR14 | RR16 | RR17 | RR18 | RR19 | |||||||
・レ-ザ-・赤外線使用 | ・フィルムキャリヤのスペ-サ- | ・容器・封止 | ・・封止材料 | ・・封止構造 | ・・封止方法 |