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5F038 | 半導体集積回路 | 電子デバイス |
H10D1/00 -1/68;89/00-89/00,101@Z;89/60 |
H01L27/04-27/04@V | AC | AC00 キャパシタ |
AC01 | AC02 | AC03 | AC04 | AC05 | AC06 | AC07 | AC08 | AC09 | AC10 |
・構造 | ・・電極領域又は電極部分 | ・・・半導体領域,拡散領域,不純物など | ・・・平面形状,分割電極など | ・・・多結晶電極,金属電極 | ・・PN分離,素子分離,寄生容量 | ・・素子積層 * | ・・・PN+MIS | ・・・トランジスタ上(スタック型等) | ・・溝,凹凸(溝堀型等) | |||
AC11 | AC12 | AC13 | AC14 | AC15 | AC16 | AC17 | AC18 | AC19 | AC20 | |||
・キャパシタ誘電体 | ・・PN接合逆バイアス | ・・ショットキ | ・・誘電体 * | ・・・誘電体材料 * | ・・・多層誘電体膜 * | ・・・膜厚 | ・・・誘電体製法 * | ・半導体基板でないもの,容器,混成IC | ・その他のキャパシタ* | |||
AR | AR00 固定抵抗 |
AR01 | AR02 | AR03 | AR04 | AR05 | AR06 | AR07 | AR08 | AR09 | AR10 | |
・拡散型 | ・・抵抗体不純物濃度分布 | ・・素子分離→寄生容量AR27 | ・・・分離バイアス | ・・ピンチ抵抗,JFET効果 | ・薄膜型 | ・・抵抗体材料 * | ・・・シリサイド | ・・・多結晶半導体 | ・・・・多結晶不純物濃度分布 | |||
AR11 | AR12 | AR13 | AR14 | AR15 | AR16 | AR17 | AR18 | AR19 | AR20 | |||
・拡散型薄膜型共通 | ・・抵抗体形状 | ・・・角部,長手方向 | ・・・縦型,垂直方向 | ・・・・界面接触抵抗 | ・・・コンタクト部 | ・・・溝,凹凸 | ・・複合→CR複合AZ03 | ・・・配線の一部 | ・・・素子の一部 | |||
AR21 | AR22 | AR23 | AR24 | AR25 | AR26 | AR27 | AR28 | AR29 | AR30 | |||
・・複数配置,直並列接続 | ・・・単位抵抗 | ・・・特性や抵抗値を異ならせたもの | ・・ダミー →CD10 | ・・素子積層 | ・・MOS電極,表面電極 | ・・寄生容量,寄生防止,ガードリング→BH09 | ・・温度補償 | ・・ピエゾ効果 | ・その他抵抗 * | |||
AV | AV00 可変インピーダンス |
AV01 | AV02 | AV03 | AV04 | AV05 | AV06 | AV07 | AV08 | AV09 | AV10 | |
・可変素子(自身のインピーダンスを使用) | ・・トリミング | ・・・エネルギービーム | ・・ダイオード | ・・バイポーラトランジスタ | ・・MOSFET | ・・・抵抗ゲート | ・・・EPROM,EEPROM | ・用途 * | ・・微調整 | |||
AV11 | AV12 | AV13 | AV14 | AV15 | AV16 | AV17 | AV18 | AV20 | ||||
・可変回路(他素子のインピーダンスを使用) | ・・マスクワーク | ・・スイッチ素子による切換 | ・・・変更不能 | ・・・・ヒューズ,接合破壊 | ・・・・書込回路(書込用端子も含む) | ・・・変更可能 | ・・・・制御回路 | ・その他 * | ||||
AZ | AZ00 その他の素子 |
AZ01 | AZ02 | AZ03 | AZ04 | AZ05 | AZ06 | AZ07 | AZ08 | AZ09 | AZ10 | |
・分布定数,ストリップライン→DF02 | ・特定機能素子→回路はDF * | ・・CR複合素子(フィルタ用など) | ・インダクタンス | ・・等価インダクタンス | ・・寄生インダクタンス | ・センサ * | ・・温度検知→CA08,BH16 | ・梁構造 | ・その他 * | |||
BB | BB00 基準電圧 |
BB01 | BB02 | BB03 | BB04 | BB05 | BB06 | BB07 | BB08 | BB09 | BB10 | |
・電圧生成 | ・・スレッシュホールド電圧,MOS閾電圧 | ・・ツエナ電圧 | ・・定電圧回路 | ・・分圧 | ・・キャパシタによる安定化 | ・電圧調整(トリミング等による) | ・電圧制御(フィードバック等による) | ・用途 * | ・その他 * | |||
BE | BE00 端子機能 |
BE01 | BE02 | BE03 | BE04 | BE05 | BE06 | BE07 | BE08 | BE09 | BE10 | |
・端子数減少 | ・・多重化 | ・・・コード化 | ・・端子機能切換→ICの機能切換はDF | ・・・テスト用との切換 | ・・IC機能切換用端子 | ・端子接続(含むボンディング) | ・末端抵抗(プルアップ抵抗等) | ・電源端子 | ・その他→配置はCA10 * | |||
BG | BG00 電圧発生,昇圧 |
BG01 | BG02 | BG03 | BG04 | BG05 | BG06 | BG07 | BG08 | BG09 | BG10 | |
・回路 | ・・発振 | ・・昇圧 | ・・整流 | ・・チャージポンプ | ・・電圧制御 | ・用途 * | ・・EPROM書込電圧 | ・・基板バイアス電圧→CD04 | ・その他 * | |||
BH | BH00 保護,誤動作 |
BH01 | BH02 | BH03 | BH04 | BH05 | BH06 | BH07 | BH08 | BH09 | BH10 | |
・利用する効果 * | ・・抵抗 | ・・キャパシタ,インダクタンス | ・・ダイオード順方向特性 | ・・接合ブレークダウン | ・・バイポーラトランジスタ | ・・MOSトランジスタ | ・・ピンチオフ,JFET | ・・ガードリング→AR27 | ・・シールド | |||
BH11 | BH12 | BH13 | BH14 | BH15 | BH16 | BH17 | BH18 | BH19 | BH20 | |||
・対象 * | ・・入出力 | ・・・静電気 | ・・・誤接続 | ・・・高電圧(電源ライン) | ・・熱→AZ08 | ・・光 | ・・寄生効果(ラッチアップ等)→CA09 | ・・誤動作(ソフトエラー,ノイズ等) | ・その他 * | |||
CA | CA00 レイアウト |
CA01 | CA02 | CA03 | CA04 | CA05 | CA06 | CA07 | CA08 | CA09 | CA10 | |
・チップ平面上でのレイアウト | ・・素子配置 | ・・回路ブロック配置 | ・・・ゲートアレイ,マスタースライス | ・・領域設定 | ・・対称配置 | ・・分散配置 | ・・熱的結合に関するもの | ・・寄生防止 | ・・電極パット配置→テスト用はDT04 | |||
CA11 | CA12 | CA13 | CA14 | CA15 | CA16 | CA17 | CA18 | CA20 | ||||
・結晶軸,面方位→AR29 | ・チップ裏面,両面配置 | ・スクライブ領域の利用(ダイシングライン) | ・ダイシングラインの変更 | ・ウエハスケールIC | ・三次元素子,積層構造 | ・CADによる配置,自動レイアウト方法 | ・ダミーパターン | ・その他 * | ||||
CD | CD00 配電,布線 |
CD01 | CD02 | CD03 | CD04 | CD05 | CD06 | CD07 | CD08 | CD09 | CD10 | |
・用途 * | ・・電源ライン布線 | ・・基準電圧布線 | ・・基板アース,分離領域バイアス配線 | ・・信号線(交差,クロス) | ・・・クロック配線 | ・・・バスライン | ・・・信号バッファ→バッファアンプ回路はDF | ・遅延 | ・ダミー配線→BH10 | |||
CD11 | CD12 | CD13 | CD14 | CD15 | CD16 | CD17 | CD18 | CD19 | CD20 | |||
・分流 | ・配線抵抗(超電導) | ・配線容量(寄生容量)→BH10 | ・・容量付加安定化 | ・接続変更(電源切換)→BE04 | ・・ON・OFF制御 | ・電圧制御(電圧降下安定化) | ・配線材料 * | ・・シリサイド | ・その他 * | |||
DF | DF00 集積回路機能及び回路ブロック構成 |
DF01 | DF02 | DF03 | DF04 | DF05 | DF06 | DF07 | DF08 | DF09 | DF10 | |
・特定機能回路(単一機能) * | ・・MMIC(モノリシックマイクロ波IC)→AZ01 | ・・AD又はDAコンバータ | ・・CPU,マイクロプロセッサ | ・・メモリ | ・補助機能 * | ・・機能調整制御 | ・・省電力 | ・・耐放射線 | ・・プロテクト,コピー防止 | |||
DF11 | DF12 | DF14 | DF16 | DF17 | DF20 | |||||||
・複数機能・回路ブロックの塔載・接続 | ・・アナログ・デジタル混載 | ・・回路ブロック配列(チップ上配置に無関係) | ・・機能回路切換用構成→テストモードDT | ・・・切換制御 | ・その他 * | |||||||
DT | DT00 塔載された検査機能 |
DT01 | DT02 | DT03 | DT04 | DT05 | DT06 | DT07 | DT08 | DT09 | DT10 | |
・テストツール * | ・・モード切換(テストモード)→DF | ・・データ入出力 | ・・・テスト専用端子→BE05 | ・・・入出力制御 | ・・・スキャンパス | ・・テストパタン発生 | ・・自己診断回路 | ・・電源切換(テストのための)→CD15 | ・テスト方法(*) | |||
DT11 | DT12 | DT13 | DT14 | DT15 | DT16 | DT17 | DT18 | DT19 | DT20 | |||
・検査対象* | ・・モニタ素子,モニタ回路 | ・・識別信号 | ・・・冗長回路使用検出 | ・・チップ機能検査 | ・処理 | ・・結果の記憶 | ・・回路切換(テスト結果による)→DF16 | ・・表示 | ・その他 * | |||
EZ | EZ00 その他の技術 |
EZ01 | EZ02 | EZ03 | EZ04 | EZ05 | EZ06 | EZ07 | EZ08 | EZ09 | EZ10 | |
・材料 * | ・・化合物半導体III V族など | ・・有機材料 | ・本体構成 | ・・SOS | ・・SOI | ・・マルチチップ | ・設計 | ・・CAD,DA | ・・シミュレーション評価 | |||
EZ11 | EZ12 | EZ13 | EZ14 | EZ15 | EZ16 | EZ17 | EZ18 | EZ19 | EZ20 | |||
・製法 * | ・・拡散 | ・・イオン注入 | ・・エピタキシャル,堆積 | ・・エッチング | ・・酸化 | ・・熱処理 | ・・セルフアライン * | ・・スクライブ | ・その他(目的など)(*) |