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| 5F031 | ウエハ等の容器，移送，固着，位置決め等 | ロボティクス |
| H01L21/68 -21/68@Z | ||
| H01L21/68-21/68@Z | CA | CA00 処理の対象物 |
CA01 | CA02 | CA04 | CA05 | CA07 | CA09 | ||||
| ・円形基板 | ・・ウエハ | ・矩形基板 | ・・ガラス基板、液晶基板 | ・マスク、レティクル | ・可撓性基板、フィルム | |||||||
| CA11 | CA13 | CA15 | CA17 | CA20 | ||||||||
| ・ダミ－、モニタ用のウエハ等 | ・チップ、ペレット、ダイ | ・リ－ドフレ－ム | ・モ－ルド・封止後の完成品 | ・その他の対象物 | ||||||||
| DA | DA00 容器の種類 |
DA01 | DA03 | DA05 | DA08 | DA09 | ||||||
| ・キャリア、カセット（図面） | ・・浸漬処理に用いるもの（ＨＡ７２にも付与） | ・水平並び置きトレイ（図面） | ・複数のウエハ等を収納するボックス状の容器 | ・・キャリアごと収納するケ－ス（図面） | ||||||||
| DA11 | DA12 | DA13 | DA15 | DA17 | DA19 | DA20 | ||||||
| ・１枚（個）用のもの | ・・ボックス状、ケ－ス状 | ・・フレ－ム、保持枠等（開放型） | ・保護テ－プ | ・棚、ストッカ、キャビネ、ロッカ－ | ・包装体（輸送用の箱体、密封用の袋等） | ・その他の容器 | ||||||
| EA | EA00 容器の構造 |
EA01 | EA02 | EA03 | EA04 | EA06 | EA07 | EA09 | EA10 | |||
| ・材質 | ・・樹脂（材料が特定されているもの） | ・・・フィラ－、充填材、添加剤に特徴 | ・・・コ－ティング層を設けたもの | ・キャリアの溝の構造に特徴 | ・・傾斜支持 | ・収納物の飛び出し防止用の構造（ＥＡ０７以外） | ・押え、スペ－サ、クッション（がたつき防止） | |||||
| EA11 | EA12 | EA14 | EA16 | EA18 | EA19 | EA20 | ||||||
| ・蓋の構造 | ・・蓋と本体との係合部に特徴 | ・気密構造（換気機能を有するものを含む） | ・情報表示部、情報記憶部（メモリ内蔵） | ・その他の構造上の特徴 | ・・容器の内部 | ・・容器の外部 | ||||||
| FA | FA00 移送の形態 |
FA01 | FA02 | FA03 | FA04 | FA05 | FA07 | FA09 | ||||
| ・ウエハ（ダミ－も含む）の移送 | ・ウエハ以外の基板（ダミ－も含む）の移送 | ・容器の移送 | ・マスク、レティクルの移送 | ・その他の移送 | ・１枚（個）毎、枚葉式 | ・複数枚（個）一括、バッチ式 | ||||||
| FA11 | FA12 | FA13 | FA14 | FA15 | FA17 | FA18 | FA19 | FA20 | ||||
| ・容器⇔移送手段での受渡し | ・移送手段⇔処理時の固着・保持部での受渡し | ・移送手段⇔移送手段での受渡し | ・・移送手段間で直接受渡しをするもの | ・・中継部（載置台等）が介在するもの | ・移送時の姿勢に特徴 | ・・垂直、傾斜状態 | ・・・容器への搬出・搬入方向が垂直であるもの | ・・反転状態 | ||||
| FA21 | FA22 | FA24 | FA25 | FA30 | ||||||||
| ・水平⇔垂直状態の回転、表裏の回転 | ・・容器ごと回転、反転させるもの | ・間隔（ピッチ）の変更（図面） | ・・搬送手段に保持した状態で変更するもの | ・ウエハ等同士の重ね合せ、剥離 | ||||||||
| GA | GA00 移送装置・手段 |
GA01 | GA02 | GA03 | GA04 | GA05 | GA06 | GA07 | GA08 | GA09 | GA10 | |
| ・保持部 | ・・フォ－ク | ・・・複数のフォ－クを備えたもの | ・・・・各フォ－クを独立して動かせるもの | ・・・ウエハ等を保持する部分の形状に特徴 | ・・・・爪、突起等で部分的に保持（接触面の限定） | ・・・フォ－ク上でのウエハ等の固定機構に特徴 | ・・・・真空吸着 | ・・・・静電吸着 | ・・・・把持・挟持（ＧＡ１２～１６にも付与） | |||
| GA12 | GA13 | GA14 | GA15 | GA16 | GA18 | GA19 | GA20 | |||||
| ・・把持・挟持によるもの | ・・・保持対象物との接触部の構造に特徴 | ・・・爪、指の開閉機構に特徴 | ・・・端面を把持 | ・・・表裏を把持 | ・・フック | ・・・容器等の吊具 | ・・・・手で持つもの | |||||
| GA22 | GA23 | GA24 | GA25 | GA26 | GA28 | GA30 | ||||||
| ・・真空吸着によるもの（ＧＡ０８を除く） | ・・・チップ用のもの（コレット） | ・・・ウエハ、その他の基板用のもの | ・・・ウエハ、基板、チップ用以外のもの | ・・・吸着面の構造に特徴 | ・・ベルヌ－イチャック | ・・その他の保持機構 | ||||||
| GA32 | GA33 | GA35 | GA36 | GA37 | GA38 | GA40 | ||||||
| ・・保持部の材質に特徴 | ・・保持部の製造方法、加工方法に特徴 | ・・移送装置に付加的機能を一体化したもの | ・・・センサ→観点ＪＡ | ・・・加熱、冷却機能 | ・・・型当てによる搬送物の位置決め機構→観点ＫＡ | ・・切換えて使用可能な複数の保持部を持つもの | ||||||
| GA41 | GA42 | GA43 | GA44 | GA45 | GA46 | GA47 | GA48 | GA49 | GA50 | |||
| ・ア－ム部 | ・・駆動機構 | ・・・リンク機構（図面） | ・・・パンタグラフ機構（図面） | ・・・多関節ロボットア－ム、マニピュレ－タ | ・・動作 | ・・・ア－ムが回転 | ・・・ア－ムの支持部全体が水平方向に移動 | ・・・ア－ムの支持部全体が垂直方向に移動 | ・・複数のア－ムを有するもの | |||
| GA51 | GA52 | GA53 | GA54 | GA55 | GA56 | GA57 | GA58 | GA59 | GA60 | |||
| ・ベルト、チェ－ン（図面） | ・ウオ－キングビ－ム、送り爪 | ・ロ－ラ（図面） | ・回転テ－ブル | ・プレシャ－、押し棒（図面） | ・傾斜面の利用（図面） | ・台車（浮上型はＧＡ６１～６５に付与） | ・・無人搬送車 | ・・台車、無人搬送車の走行制御 | ・その他の機械移送 | |||
| GA61 | GA62 | GA63 | GA64 | GA65 | GA67 | GA68 | GA69 | |||||
| ・浮遊移送 | ・・噴流を利用するもの | ・・・噴出口の配置、構造に特徴 | ・・磁気を利用するもの | ・・・リニアモ－タ | ・手で持つピンセット | ・・把持 | ・・吸着 | |||||
| HA | HA00 処理時の固着・保持 |
HA01 | HA02 | HA03 | HA05 | HA06 | HA07 | HA08 | HA09 | HA10 | ||
| ・ステ－ジ、チャック、サセプタ | ・・ステ－ジ等の材質に特徴 | ・・ステ－ジ等の製造方法、加工方法に特徴 | ・・ウエハ等との接触面に特徴 | ・・・凸状 | ・・・凹状 | ・・・凹凸、突起（接触面の限定） | ・・・ウエハ等の裏面を露呈させて保持 | ・・・接触面のみを異なる材質にしたもの | ||||
| HA12 | HA13 | HA14 | HA16 | HA17 | HA18 | HA19 | ||||||
| ・・固着・保持機構 | ・・・真空吸着 | ・・・・吸着孔・溝の配置、構造に特徴 | ・・・静電吸着 | ・・・・電極部に特徴 | ・・・・・電極の形状、配置に特徴 | ・・・・電源、給電部に特徴 | ||||||
| HA23 | HA24 | HA25 | HA26 | HA27 | HA28 | HA29 | HA30 | |||||
| ・・・クランプ、把持 | ・・・・ウエハ等の周縁の一部を把持 | ・・・・ウエハ等の全周を把持 | ・・・・ウエハ等への押圧力の与え方 | ・・・・・爪等の押え部材の開閉により端面を押圧 | ・・・・・載置部と押え部材とで挟んで表裏を押圧 | ・・・・・押圧力の発生方法・機構に特徴 | ・・・・・・弾性体（バネ等）を利用するもの | |||||
| HA32 | HA33 | HA34 | HA35 | HA37 | HA38 | HA39 | HA40 | |||||
| ・・固着力の解除、保持面からの離脱 | ・・・リフトピン（チップの突上げはＭＡ４０に付与） | ・・・ガス噴射 | ・・・静電吸着の残留電荷の除去 | ・・加熱機構 | ・・冷却機構 | ・・ウエハ等との間隙に伝熱ガスを供給するもの | ・・・ガス拡散用の溝を有するもの | |||||
| HA42 | HA44 | HA45 | HA46 | HA48 | HA50 | |||||||
| ・・複数のウエハ等を一括保持するもの | ・・固着・保持面が水平上向き以外のもの | ・・・垂直 | ・・・下向き | ・・ウェット処理用のもの（浸漬はＨＡ７１） | ・・処理装置本体との取り付けに特徴 | |||||||
| HA52 | HA53 | HA55 | HA56 | HA57 | HA58 | HA59 | HA60 | |||||
| ・・動作 | ・・・微動テ－ブル（精密位置決め） | ・・・・微動テ－ブルの振動の抑制、除去 | ・・・微動テ－ブル以外のステ－ジの動作 | ・・・・水平方向への移動 | ・・・・垂直方向への移動 | ・・・・回転 | ・・・・ステ－ジが処理室への搬出入部を兼ねるもの | |||||
| HA61 | HA62 | HA63 | HA64 | HA65 | HA66 | HA67 | ||||||
| ・熱処理用ボ－ト | ・・材質に特徴 | ・・製造方法に特徴 | ・・構造に特徴 | ・・・溝（ウエハとの接触部）の構造に特徴 | ・・・・ウエハを傾斜支持 | ・・ボ－トの保持、移送 | ||||||
| HA71 | HA72 | HA73 | HA74 | HA78 | HA80 | |||||||
| ・液槽への浸漬処理に関するもの | ・・ウエハ等を容器、治具に保持した状態で浸漬 | ・・ウエハ等を保持部に直接保持した状態で浸漬 | ・・水切り方法、水切りのための構造に特徴 | ・テ－プ、フィルム | ・その他の固着・保持 | |||||||
| JA | JA00 検出 |
JA01 | JA02 | JA03 | JA04 | JA05 | JA06 | JA07 | JA08 | JA09 | JA10 | |
| ・手段（センサ） | ・・光センサ | ・・・ラインセンサ | ・・・エリアセンサ、カメラ | ・・・透過光検出 | ・・・反射光検出 | ・・・光路の形成に特徴 | ・・接触型センサ、感圧センサ | ・・超音波センサ、静電容量センサ | ・・圧力センサ | |||
| JA12 | JA13 | JA14 | JA15 | JA17 | JA19 | |||||||
| ・・検出時に検出対象物とセンサが相対的に移動 | ・・・センサが移動 | ・・・検出対象物が移動 | ・・・ウエハ等の検出対象物が回転 | ・・１つの検出対象物に対し複数のセンサを設置 | ・・複数の検出対象物を複数のセンサで一括検出 | |||||||
| JA21 | JA22 | JA23 | JA25 | JA27 | JA28 | JA29 | JA30 | |||||
| ・検出の目的 | ・・存在の有無、存在位置（アドレス） | ・・・対象がボ－ト／キャリアの溝や収納ウエハ等 | ・・容器内での位置ずれ（傾き、はみ出し等） | ・・固着・保持位置のずれ | ・・・方向、方位のずれ | ・・・中心のずれ | ・・・高さのずれ、傾き | |||||
| JA31 | JA32 | JA33 | JA34 | JA35 | JA36 | JA37 | JA38 | JA39 | JA40 | |||
| ・検出する情報 | ・・寸法の情報（距離、厚さ、角度等） | ・・形状の情報 | ・・・オリフラ（図面） | ・・・ノッチ（図面） | ・・・エッジ、端面（ＪＡ３４，３５以外） | ・・・特徴的なパタ－ン | ・・・・位置合わせマ－ク | ・・・・スクライブライン | ・・・全体像、外観、大きさ | |||
| JA42 | JA43 | JA45 | JA46 | JA47 | JA49 | JA50 | ||||||
| ・・表裏 | ・・枚数、個数 | ・・物理量 | ・・・温度 | ・・・圧力 | ・・識別情報（バ－コ－ド、メモリ情報等） | ・・・ウエハ、基板に付けられたもの | ||||||
| JA51 | ||||||||||||
| ・検出した信号の処理に特徴 | ||||||||||||
| KA | KA00 位置決め |
KA01 | KA02 | KA03 | KA04 | KA05 | KA06 | KA07 | KA08 | KA10 | ||
| ・ウエハ等のみを動かすもの | ・・型当て（図面） | ・・テ－パ、段差、位置決めピン | ・・ロ－ラによる回転（図面） | ・ステ－ジ等の載置部ごと動かすもの | ・・水平（Ｘ－Ｙ）方向 | ・・垂直（Ｚ）方向、傾き | ・・回転（θ） | ・移送手段を制御してウエハ等を動かすもの | ||||
| KA11 | KA12 | KA13 | KA14 | KA15 | KA17 | KA18 | KA20 | |||||
| ・中心を合わせるもの | ・向き、方位を合わせるもの | ・・オリフラを合わせるもの | ・・ノッチを合わせるもの | ・ウエハ、基板に対するその他の位置決め | ・位置決め時の姿勢に特徴（傾斜位置等） | ・２段階以上で位置決めを行うもの | ・ウエハ、基板以外のものの位置決め | |||||
| LA | LA00 動作機構等 |
LA01 | LA02 | LA03 | LA04 | LA06 | LA07 | LA08 | LA09 | LA10 | ||
| ・軸受、すべり部に特徴 | ・・非接触支持、浮上支持 | ・・・噴流によるもの | ・・・磁力を利用するもの | ・動力源に特徴 | ・・モ－タ | ・・・リニアモ－タ（ＧＡ６５を除く） | ・・・ステッピングモ－タ | ・・圧電効果 | ||||
| LA11 | LA12 | LA13 | LA14 | LA15 | LA16 | LA18 | ||||||
| ・動力伝達機構 | ・・ボ－ルネジ、送りネジ | ・・ベルト、チェ－ン | ・・歯車 | ・・シリンダ、ピストン | ・・リンク、パンタグラフ機構（ＧＡ４３，４４を除く） | ・信号、電源等のケ－ブル部に特徴 | ||||||
| MA | MA00 処理装置 |
MA01 | MA02 | MA03 | MA04 | MA06 | MA07 | MA09 | ||||
| ・複数の処理部を集積した装置（モジュ－ル） | ・・上下方向に集積 | ・・水平方向に集積 | ・・・放射状配置 | ・複数の装置、モジュ－ルを搬送路で結合 | ・・装置⇔搬送路のインタフェ－ス部に特徴 | ・各装置（群）のレイアウトに特徴（装置（群）相互の位置関係、配置を特定しているもの） | ||||||
| MA11 | MA13 | MA15 | MA16 | MA17 | ||||||||
| ・装置へのウエハ等のロ－ディング部に特徴 | ・・ロ－ディング部の搬送系に特徴 | ・・装置への容器（キャリア部）の装填に特徴 | ・・・容器の配置（位置、方向等）に特徴 | ・・・容器と装置との固定に特徴 | ||||||||
| MA21 | MA22 | MA23 | MA24 | MA25 | MA26 | MA27 | MA28 | MA29 | MA30 | |||
| ・工程 | ・・研磨 | ・・洗浄（容器、移送機構の洗浄はＰＡ２４） | ・・ウエットエッチング、現像 | ・・メッキ | ・・レジスト塗布、その他のスピンコ－ト | ・・露光 | ・・ＣＶＤ、拡散 | ・・ＰＶＤ（スパッタリング、真空蒸着等） | ・・熱処理、アニ－ル | |||
| MA31 | MA32 | MA33 | MA34 | MA35 | MA37 | MA38 | MA39 | MA40 | ||||
| ・・イオン注入 | ・・ドライエッチング | ・・試験、測定、検査 | ・・ダイシング、スクライビング | ・・ボンディング、マウント | ・・テ－プの貼付 | ・・テ－プの剥離 | ・・・粘着力低下処理 | ・・・チップの突上げ | ||||
| NA | NA00 雰囲気管理 |
NA01 | NA02 | NA03 | NA04 | NA05 | NA07 | NA08 | NA09 | NA10 | ||
| ・雰囲気 | ・・クリ－ンエア－ | ・・・エア－の形成、導入に特徴 | ・・不活性ガス | ・・真空 | ・雰囲気での出入り、搬送 | ・・搬送トンネル、クリ－ントンネル部に特徴 | ・・ゲ－ト、シャッタ－部に特徴 | ・・・ボックス状容器の蓋を開閉する機構に特徴 | ||||
| NA11 | NA13 | NA14 | NA15 | NA16 | NA17 | NA18 | NA20 | |||||
| ・雰囲気（粉じんを含む）のモニタ | ・防じん、粉じんの除去 | ・・吸引 | ・・吹き飛ばし、換気 | ・・・気流（方向等）の制御 | ・・一方の空間を陽圧にするもの | ・・防じんカバ－、発じん源の隔離 | ・その他の雰囲気管理 | |||||
| PA | PA00 特殊目的 |
PA01 | PA02 | PA03 | PA04 | PA05 | PA06 | PA07 | PA08 | PA09 | PA10 | |
| ・工程管理、生産管理 | ・・搬送の制御 | ・・・処理部への搬出入のタイミングを制御 | ・・・処理装置の制御も含むもの | ・・プロセス、システムの変更に対応 | ・・メンテナンス性の向上 | ・・・部材の着脱、交換を容易にしたもの | ・・誤動作の防止、安全管理 | ・・操作性の向上（タッチパネルの利用等） | ・・エラ－発生時の制御、回復方法に特徴 | |||
| PA11 | PA13 | PA14 | PA16 | PA18 | PA20 | |||||||
| ・熱による悪影響への対応 | ・ウエハ等の変形、反りへの対応 | ・・ステ－ジ等に固着時の平面度の向上 | ・ウエハ等の異形、大小に対応 | ・ウエハ等の大型化への対応 | ・ウエハ等の破損防止 | |||||||
| PA21 | PA23 | PA24 | PA25 | PA26 | PA30 | |||||||
| ・帯電防止、除電（ＨＡ３５を除く） | ・汚染防止（観点ＮＡ以外のもの） | ・・容器、移送機構等の洗浄を行うもの | ・・工程ごとに移送保持部を変えるもの→観点ＧＡ | ・・部材からの汚染物質の溶出・発生の防止 | ・その他の目的 |