テーマグループ選択に戻る | 一階層上へ |
リスト再作成旧2H125(H27)、2000年以降に発行された文献を解析対象としている
2H225 | フォトリソグラフィー用材料 | 事務機器 |
G03C3/00 ,301;G03F7/004-7/04;7/06,501;7/075-7/115;7/16-7/18 |
G03F7/004-7/04;7/06,501;7/075-7/115;7/16-7/18 | AA | AA00 多官能ジアゾ又はアジド系感光性化合物(AF01~09を優先) |
AA01 | AA04 | AA06 | |||||||
・多官能ジアゾニウム化合物(ジアゾ樹脂等) | ・多官能p-キノンジアジド化合物 | ・多官能アジド化合物(ビスアジド等) | ||||||||||
AB | AB00 無機系感光性化合物 |
AB01 | AB03 | AB05 | AB07 | AB10 | ||||||
・重クロム酸塩 | ・無機レジスト | ・カルコゲナイド | ・光触媒(酸化チタン等) | ・銀塩(AB05を優先) | ||||||||
AC | AC00 ラジカル重合性炭素-炭素不飽和基含有化合物 |
AC01 | AC02 | AC03 | AC05 | AC06 | AC08 | AC09 | AC10 | |||
・アリル基 | ・・高分子 | ・・・(メタ)アクリル酸アリルの(共)重合体 | ・(メタ)アクリルアミド(イミド)基 | ・・高分子 | ・ビニルエーテル基,ビニルエステル基 | ・・多価のもの | ・・・高分子 | |||||
AC11 | AC12 | AC13 | AC15 | AC17 | AC19 | |||||||
・ビニルフェニル基 | ・・高分子 | ・・ジビニルベンゼン | ・ジエン系 | ・アセチレン性不飽和基 | ・マレイン酸構造,マレイミド基 | |||||||
AC21 | AC22 | AC23 | AC24 | AC25 | ||||||||
・モノ(メタ)アクリロイルオキシ基 | ・・(メタ)アクリル酸又はその塩,無水物 | ・・トリアルコキシシリルアルキル(メタ)アクリレート | ・・ポリ(オキシアルキレン) | ・・高分子(AC24を優先) | ||||||||
AC31 | AC32 | AC33 | AC34 | AC35 | AC36 | AC37 | AC38 | |||||
・多価(メタ)アクリロイルオキシ基 | ・・鎖状アルキレンジオール(AC53,54を優先) | ・・トリメチロールプロパン(AC53,54を優先) | ・・ビスフェノール(AC53,54を優先) | ・・ペンタエリスリトール(AC53,54を優先) | ・・ジペンタエリスリトール(AC53,54を優先) | ・・ウレタン型の(メタ)アクリル酸エステル(AC38,53,54,57を優先) | ・・イソシアヌレート(AC53,54を優先) | |||||
AC42 | AC43 | AC44 | AC45 | AC46 | AC47 | AC48 | AC49 | AC50 | ||||
・・付加重合物 | ・・・(メタ)アクリル化合物単位 | ・・・・(メタ)アクリル酸又はその塩,ハライド,無水物,(シクロ)アルキルエステル単位 | ・・・・側鎖に(メタ)アクリロイルオキシ基を有する単位 | ・・・・・エポキシ基により(メタ)アクリロイルオキシ基を導入した単位 | ・・・・・イソシアネート基により(メタ)アクリロイルオキシ基を導入した単位 | ・・・マレイン酸又はその塩,ハライド,無水物,エステル,アミド単位,マレイミド単位 | ・・・スチレン化合物単位 | ・・・ビニルアルコール単位,酢酸ビニル単位 | ||||
AC52 | AC53 | AC54 | AC55 | AC57 | AC58 | AC59 | AC60 | |||||
・・AC53~70以外の縮重合物,重付加物 | ・・(メタ)アクリル変成エポキシ構造(付加重合物は除く) | ・・・さらに酸変成したもの | ・・フェノール樹脂,ノボラック樹脂(AC53,54を優先) | ・・ポリウレタン | ・・ポリエステル,カプロラクトン変成構造(AC57を優先) | ・・ケイ素を主鎖に含有する高分子 | ・・・ポリ(ラダー)シロキサン(AC67,69を優先) | |||||
AC62 | AC63 | AC64 | AC65 | AC66 | AC67 | AC68 | AC69 | AC70 | ||||
・・ポリエーテル(AC53,54,57,63,64を優先) | ・・ポリ(オキシアルキレン),オキシアルキレン変成構造 | ・・・ポリ(オキシアルキレン)ジ(メタ)アクリレート | ・・ポリアミド | ・・・ポリイミド前駆体 | ・・・・シロキサン鎖を主鎖に含むもの | ・・・ポリベンゾオキサゾール前駆体 | ・・・・シロキサン鎖を主鎖に含むもの | ・・ポリイミド,ポリベンゾオキサゾール | ||||
AC71 | AC72 | AC73 | AC74 | AC75 | AC76 | AC77 | AC78 | AC79 | AC80 | |||
・酸性基 | ・・カルボキシ基(AC22,44,48,54,66,67を優先) | ・・フェノール性水酸基(AC55,68,69を優先) | ・アルコール性水酸基(AC35,36,46,50,53,54を優先) | ・アミノ基,イミノ基 | ・第4級アンモニウム基,第4級イミニウム基 | ・重合開始剤機能を有する官能基 | ・ケイ素原子を含むもの(AC23,59,60,67,69を優先) | ・フッ素原子を含むもの | ・リン原子を含むもの | |||
AD | AD00 ラジカルを発生する化合物 |
AD01 | AD02 | AD03 | AD04 | AD05 | AD06 | AD07 | AD09 | AD10 | ||
・NorrishI型分解 | ・・アセトフェノン化合物(AD06を優先) | ・・・ベンゾイン化合物,ベンゾインアルキルエーテル化合物 | ・・・ベンジル化合物 | ・・・ベンジルケタール化合物 | ・・オキシムエステル化合物 | ・・アシルホスフィン化合物 | ・トリハロメチル系 | ・・トリアジン化合物 | ||||
AD11 | AD12 | AD13 | AD14 | AD15 | AD16 | AD18 | AD19 | AD20 | ||||
・カルボニルによる水素引抜型(アクリドン等) | ・・ベンゾフェノン化合物 | ・・・ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン | ・・・ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン | ・・キサントン化合物,チオキサントン化合物 | ・・ベンゾキノン化合物,アントラキノン化合物 | ・オニウム塩系 | ・・スルホニウム化合物 | ・・ヨードニウム化合物 | ||||
AD21 | AD24 | AD26 | AD28 | AD30 | ||||||||
・S-S結合の分解(ジスルフィド等) | ・ビイミダゾール系 | ・過酸系,過酸化物系 | ・ボレート系 | ・アクリジン系 | ||||||||
AD31 | AD32 | AD33 | AD34 | AD35 | AD38 | |||||||
・金属の酸化還元系 | ・・メタロセン化合物 | ・・・フェロセン化合物 | ・・・チタノセン化合物 | ・・ハロゲン化銀 | ・アゾ系 | |||||||
AE | AE00 AA~AC以外の架橋性基を複数有する化合物 |
AE01 | AE02 | AE03 | AE04 | AE05 | AE06 | AE07 | AE08 | AE09 | AE10 | |
・架橋性基を複数有する低分子 | ・・メチロール基,アルコキシメチル基 | ・・・メラミン化合物 | ・・・尿素化合物 | ・・・フェノール性水酸基を有する化合物 | ・・エポキシ基,グリシジル基 | ・・オキセタニル基 | ・・イソシアネート基,ブロックされたイソシアネート基 | ・・SiH基 | ・・ビニルエーテル基,ビニルエステル基 | |||
AE11 | AE12 | AE13 | AE14 | AE15 | AE17 | AE18 | AE19 | AE20 | ||||
・架橋性基を複数有する高分子 | ・・エポキシ基,グリシジル基 | ・・・ポリ(メタ)アクリル酸エステル | ・・・ノボラック型エポキシ樹脂 | ・・・ビスフェノール型エポキシ樹脂 | ・・オキセタニル基 | ・・・ポリ(メタ)アクリル酸エステル | ・・・ノボラック型 | ・・・ビスフェノール型 | ||||
AE22 | AE23 | AE24 | AE26 | AE29 | AE30 | |||||||
・・メチロール基,アルコキシメチル基 | ・・ビニルエーテル基,ビニルエステル基 | ・・イソシアネート基,ブロックされたイソシアネート基 | ・・ハロゲン化メチル基,ハロゲン化フェニル基 | ・・SiH基を有するもの | ・・・ポリ(ラダー)シロキサン | |||||||
AE32 | AE33 | AE34 | AE35 | AE36 | AE40 | |||||||
・・二量化型 | ・・・シンナモイル(ケイ皮酸)系 | ・・・ベンザルアセトフェノン(カルコン)系 | ・・・スチルベン系 | ・・・スチリルピリジニウム(スチルバゾリウム)系 | ・構造が特定できないもの | |||||||
AF | AF00 酸を形成(分離)する化合物 |
AF01 | AF02 | AF03 | AF04 | AF05 | AF07 | AF08 | AF09 | |||
・o-キノンジアジド基を有する化合物 | ・・ナフトキノンジアジド(NQD)基を有する低分子 | ・・・NQD基以外の芳香環が2個 | ・・・NQD基以外の芳香環が3個 | ・・・NQD基以外の芳香環が4個以上 | ・・NQD基を有する高分子 | ・・・ノボラック樹脂 | ・・・・ピロガロールアセトン樹脂 | |||||
AF11 | AF12 | AF13 | AF14 | AF15 | AF16 | AF18 | AF19 | |||||
・分子内オニウム塩(AA01を優先) | ・オニウム塩のカチオン部(AA01,AF90を優先) | ・・ヨードニウム化合物 | ・・・高分子ヨードニウム化合物 | ・・・ジフェニルヨードニウム | ・・・置換ジフェニルヨードニウム(AF14を優先) | ・・アンモニウム化合物,イミニウム化合物 | ・・・テトラアルキルアンモニウム | |||||
AF21 | AF22 | AF23 | AF24 | AF25 | AF26 | AF27 | AF28 | AF29 | ||||
・・スルホニウム化合物 | ・・・芳香環を有するもの | ・・・・トリアリールスルホニウム(以下AF38,39を優先) | ・・・・・トリフェニルスルホニウム(無置換) | ・・・・・鎖状アルキルのみ置換のトリフェニルスルホニウム | ・・・・・シクロアルキルのみ置換のトリフェニルスルホニウム | ・・・・・鎖状アルコキシのみ置換のトリフェニルスルホニウム | ・・・・・ハロゲンのみ置換のトリフェニルスルホニウム | ・・・・・芳香環同士が連結してS+含有環を形成 | ||||
AF32 | AF33 | AF35 | AF36 | AF38 | AF39 | |||||||
・・・・フェナシル構造 | ・・・・芳香族縮合環構造(AF29を優先) | ・・・テトラヒドロチオフェニウム構造 | ・・・脂肪族環構造(AF26を優先) | ・・・多価スルホニウム化合物 | ・・・・高分子スルホニウム化合物 | |||||||
AF41 | AF42 | AF43 | AF44 | AF45 | AF48 | |||||||
・オニウム塩のアニオン部 | ・・RSO3-(Rが鎖状の低分子) | ・・・RがCF3 | ・・・RがCnF2n+1(nは2以上4以下) | ・・・RがCnF2n+1(nは5以上) | ・・RSO3-(Rが高分子) | |||||||
AF51 | AF52 | AF53 | AF54 | AF56 | AF57 | |||||||
・・RSO3-(Rが環構造を有する低分子) | ・・・脂肪族環(AF63を優先) | ・・・・アダマンチル構造 | ・・・複素環(非芳香族) | ・・・芳香族の炭素環(SO3-に非直結) | ・・・複素環(芳香族) | |||||||
AF62 | AF63 | AF64 | AF66 | AF67 | AF68 | AF69 | AF70 | |||||
・・・「CFSO3-」構造が無いもの (Fはフッ素又はフッ化アルキル基) | ・・・・カンファースルホネート | ・・・・芳香族の炭素環がSO3-に直結 | ・・・「CFSO3-」構造を有するもの (Fはフッ素又はフッ化アルキル基) | ・・・・「SO3-,COO,環」を,この順で含むもの (カーボネート,ウレタンは除く) | ・・・・「SO3-,OCO,環」を,この順で含むもの (カーボネート,ウレタンは除く) | ・・・・環とSO3-の間に,エーテル又はカルボニルを含むもの (アミド,エステル,ウレタン,ウレアは除く) | ・・・・環とSO3-の間に,S又はN原子を含むもの | |||||
AF71 | AF72 | AF73 | AF75 | AF76 | AF78 | AF79 | ||||||
・・RCOO- | ・・・Rが高分子であるもの | ・・・Rがフッ素原子を有するもの | ・・イミデート,メチド,アミデート | ・・・高分子 | ・・配位型アニオン | ・・ボレート化合物 | ||||||
AF81 | AF82 | AF83 | AF84 | AF85 | AF87 | AF88 | AF89 | AF90 | ||||
・スルホン化合物,スルホン酸化合物 | ・・オキシムスルホネート化合物 | ・・スルホニルオキシイミド化合物 | ・・ジスルホン化合物 | ・・スルホニルジアゾメタン化合物 | ・トリアジン化合物,トリハロメチル化合物 | ・有機金属化合物 | ・芳香族ニトロ化合物 | ・ジアゾニウム塩(AA01を優先) | ||||
AF91 | AF92 | AF93 | AF94 | AF96 | AF98 | AF99 | ||||||
・酸解離性 (高分子は酸発生基と同単位内) | ・・アセタール,ケタール | ・酸解離性以外の酸反応性基,イソシアネート基 (高分子は酸発生基と同単位内) | ・アミノ基,イミノ基 (高分子は酸発生基と同単位内)(酸解離性の被保護基も含む) | ・高分子 (AF07~09,14,39,48,72,76を優先) | ・構造が特定できないもの | ・2種以上を併用 | AG | AG00 塩基を形成(分離)する化合物 |
||||
AH | AH00 酸解離性基を側鎖に有する高分子(1) |
AH01 | AH02 | AH03 | AH04 | AH05 | AH08 | AH09 | AH10 | |||
・酸性基を生じる酸解離性基 | ・・アセタール,ケタール | ・・・アルコキシアルキル(環状構造を含む) | ・・・・エトキシエチル | ・・・・テトラヒドロピラニル | ・・エステル,エーテル(AH02~05を優先) | ・・・シリルエステル,シリルエーテル | ・・・・トリメチルシリル | |||||
AH11 | AH12 | AH13 | AH14 | AH15 | AH16 | AH17 | AH18 | AH19 | AH20 | |||
・・・3級炭素が鎖上に存在 | ・・・・t-ブチル | ・・・・t-BOC | ・・・・環状構造を有するもの | ・・・・・環状構造がアダマンチル | ・・・3級炭素が環状構造を形成 | ・・・・2-鎖状アルキル-2-アダマンチル | ・・・・2-鎖状アルキル-2-ノルボルニル | ・・・・1-鎖状アルキルシクロペンチル又はヘキシル | ・・・・酸解離性基中にラクトン環を有するもの | |||
AH21 | AH22 | AH23 | AH24 | AH25 | AH26 | AH27 | AH29 | AH30 | ||||
・中性又は塩基性官能基を生じる酸解離性基 | ・・アセタール,ケタール | ・・・「O-C-O」が同一の環を構成(糖アセトニド等) | ・・・アルコキシアルキル(環状構造を含む) | ・・・・テトラヒドロピラニル,テトラヒドロフラニル | ・・エーテル(AH22~25を優先) | ・・炭酸エステル,ウレタン(t-BOC等) | ・架橋している酸解離性基* | ・酸により開環するもの*(AH23を優先) | ||||
AH31 | AH32 | AH33 | AH34 | AH35 | AH36 | AH38 | AH39 | AH40 | ||||
・炭素,酸素,水素,ケイ素以外の原子(AF14を優先) | ・・窒素 (AF76,AH35,AJ75,AK08,09を優先) | ・・・シアノ基 | ・・硫黄 (酸発生構造の硫黄を除く) | ・・・スルホンアミド基 | ・・・SO又はSO2を含む環骨格(スルトン等) | ・・フッ素 (AF48,72,76,96を優先) | ・・・ヘキサフルオロヒドロキシプロピル基 (酸解離性基で保護されたものも含む) | ・・・「主鎖-A-エステル-R」(AH39を優先) | ||||
AH41 | AH45 | AH47 | AH49 | AH50 | ||||||||
・環状カーボネート構造,環状無水物構造(AJ74を優先) | ・主鎖と側鎖に酸解離性結合を有するもの | ・末端修飾を有する縮重合物,重付加物 | ・AJ,AKの高分子を2種以上併用(AH50を優先) | ・撥液性付与剤,偏在性添加剤 | ||||||||
AJ | AJ00 酸解離性基を側鎖に有する高分子(2)付加重合物 |
AJ01 | AJ02 | AJ03 | AJ04 | AJ05 | AJ07 | AJ08 | AJ09 | |||
・酸解離性基を有する構成単位 | ・・スチレン系単位 | ・・・ヒドロキシスチレン化合物 | ・・・・4-ヒドロキシスチレン | ・・・・4-イソプロペニルフェノール | ・・・カルボキシ基を有するスチレン化合物 | ・・・・4-ビニル安息香酸 | ・・・・4-ビニルフェノキシ酢酸 | |||||
AJ12 | AJ13 | AJ16 | AJ18 | |||||||||
・・(メタ)アクリル系単位 | ・・・(メタ)アクリル酸 | ・・・メチル基以外のα置換アクリル酸 | ・・・酸解離性基を脂肪族環上に有する(メタ)アクリル酸エステル | |||||||||
AJ22 | AJ23 | AJ24 | AJ25 | AJ26 | AJ29 | |||||||
・・環上に二重結合を有する単位 | ・・・ビシクロ化合物 | ・・・・ノルボルネンカルボン酸化合物 | ・・・・・ノルボルネンカルボン酸 | ・・・トリ(テトラ)シクロ化合物 | ・・・単環かつヘテロ原子を含む環を有するもの | |||||||
AJ32 | AJ33 | AJ35 | AJ37 | AJ38 | ||||||||
・・その他の炭素-炭素二重結合を有する単位 | ・・・マレイン酸又はマレイン酸モノエステル | ・・・ビニルエステル,ビニルエーテル | ・・・フッ素化されていてもよいCH2=CH-CH2-基を有するもの | ・・・・分子内環化しているもの | ||||||||
AJ41 | AJ42 | AJ43 | AJ44 | AJ45 | AJ47 | AJ48 | AJ49 | |||||
・酸解離性基を有しない構成単位 | ・・スチレン系単位 | ・・・芳香環上に水酸基を有しないスチレン化合物 | ・・・・スチレン | ・・・・芳香環上に-OR基を有するもの(-OCOR基も含む) | ・・・ヒドロキシスチレン化合物 | ・・・・4-ヒドロキシスチレン | ・・・・4-イソプロペニルフェノール | |||||
AJ51 | AJ52 | AJ53 | AJ54 | AJ55 | AJ56 | AJ57 | AJ58 | AJ59 | AJ60 | |||
・・(メタ)アクリル系単位 | ・・・(メタ)アクリル酸 | ・・・(メタ)アクリル酸エステル | ・・・・ラクトン環を有するもの | ・・・・・「主鎖-COO-連結基-ラクトン環」 | ・・・・炭素と水素のみからなり,脂肪族環を有するもの | ・・・・・1-アダマンチル | ・・・・AJ56以外の脂肪族環を有するもの(AJ54~55を優先) | ・・・・・3-ヒドロキシ-1-アダマンチル | ・・・・芳香族の炭素環を有するもの | |||
AJ62 | AJ63 | AJ64 | AJ65 | AJ66 | AJ67 | AJ68 | AJ69 | AJ70 | ||||
・・・メチル基以外のα置換アクリル酸 | ・・・メチル基以外のα置換アクリル酸エステル | ・・・・ラクトン環を有するもの | ・・・・・「主鎖-COO-連結基-ラクトン環」 | ・・・・炭素と水素のみからなり,脂肪族環を有するもの | ・・・・・1-アダマンチル | ・・・・AJ66以外の脂肪族環を有するもの(AJ64~65を優先) | ・・・・・3-ヒドロキシ-1-アダマンチル | ・・・・芳香族の炭素環を有するもの | ||||
AJ72 | AJ73 | AJ74 | AJ75 | AJ77 | AJ78 | AJ79 | ||||||
・・環上に二重結合を有する単位 | ・・・環がヘテロ原子を含むもの | ・・・・無水マレイン酸 | ・・・・マレイミド化合物 | ・・・環が炭素のみのビシクロ化合物 | ・・・・ノルボルネン | ・・・環が炭素のみのトリ(テトラ)シクロ化合物 | ||||||
AJ82 | AJ83 | AJ85 | AJ87 | AJ88 | ||||||||
・・その他の炭素-炭素二重結合を有する単位 | ・・・フッ素化されていてもよいエチレン | ・・・ビニルエステル,ビニルエーテル | ・・・フッ素化されていてもよいCH2=CH-CH2-基を有するもの | ・・・・分子内環化しているもの | ||||||||
AK | AK00 酸解離性基を側鎖に有する高分子(3) |
AK01 | AK02 | AK03 | AK05 | AK06 | AK08 | AK09 | ||||
・縮重合物,重付加物 | ・・ケイ素を主鎖に含有する高分子(AK09を優先) | ・・・RSiX3から誘導されるもの | ・・ノボラック樹脂 | ・・・m,p-クレゾールとホルムアルデヒドのみからなるもの | ・・ポリアミド,ポリイミド又はその前駆体 | ・・・シロキサン鎖を主鎖に含むもの | ||||||
AK11 | ||||||||||||
・メタセシス重合物(ノルボルネン開環重合等) | ||||||||||||
AL | AL00 AF~AK以外の,酸により解離する化合物 |
AL01 | AL02 | AL03 | AL05 | AL07 | ||||||
・酸解離性構造 | ・・アセタール,ケタール | ・・エステル,ウレタン,酸性水酸基とのエーテル(AL02を優先) | ・主鎖のみに酸解離性結合を有する高分子 | ・デンドリマー | ||||||||
AL11 | AL12 | AL13 | AL16 | AL17 | AL19 | |||||||
・AL05~07以外の酸解離性化合物 | ・・フェノール化合物 | ・・・ポリヒドロキシベンゾフェノン化合物 | ・・・「フェノール類-CR2-フェノール類」構造を有するもの | ・・・・芳香環が分岐状に連なるもの(AL19を優先) | ・・・・芳香環が環状に連なるもの | |||||||
AL22 | AL23 | AL25 | AL27 | |||||||||
・・脂肪族環含有化合物 | ・・・ステロイド骨格を有するもの | ・・かご型シルセスキオキサン化合物 | ・・窒素原子を有するもの | |||||||||
AM | AM00 AA~AL以外の高分子 |
AM01 | AM02 | AM03 | AM04 | AM08 | AM09 | AM10 | ||||
・天然高分子又はその変成物 | ・・タンパク質又はその変成物 | ・・・ゼラチン又はその変成物 | ・・セルロース又はその変成物 | ・粒子形状のもの | ・構造が特定できないもの | ・2種以上を併用するもの | ||||||
AM11 | AM12 | AM13 | AM14 | AM15 | AM16 | AM18 | ||||||
・付加重合物 | ・・スチレン化合物単位 | ・・・スチレン | ・・・α-メチルスチレン | ・・・ヒドロキシスチレン化合物 | ・・・・ポリ(4-ヒドロキシスチレン)* | ・・マレイン酸又はその塩,ハライド,無水物,エステル単位 | ||||||
AM22 | AM23 | AM24 | AM25 | AM26 | AM27 | AM29 | AM30 | |||||
・・(メタ)アクリル酸エステル単位 | ・・・(メタ)アクリル酸(シクロ)アルキルエステル | ・・・・ポリメタクリル酸メチル(PMMA)* | ・・・メタクリル酸-2-ヒドロキシエチル(HEMA) | ・・・ポリ(オキシアルキレン)構造を有するもの | ・・・(メタ)アクリル酸フッ化(シクロ)アルキルエステル | ・・α又はβ-置換アクリル酸エステル単位(AM18,22~27を優先) | ・・・α-ハロ又はα-トリハロメチルアクリル酸エステル | |||||
AM32 | AM33 | AM34 | AM36 | AM38 | AM39 | AM40 | ||||||
・・(メタ)アクリル酸又はその塩,ハライド,無水物単位 | ・・α又はβ-置換アクリル酸又はその塩,ハライド,無水物単位(AM18,32を優先) | ・・・α-ハロ又はα-トリハロメチルアクリル酸 | ・・α,β-不飽和ニトリル単位(AM29,33を優先) | ・・α,β-不飽和カルボン酸アミド(イミド)単位 | ・・・マレイミド化合物 | ・・・ポリメチルグルタルイミド(PMGI)* | ||||||
AM42 | AM43 | AM45 | AM46 | AM48 | AM49 | |||||||
・・環上に二重結合を有する単位(AM18,39を優先) | ・・・環が炭素のみからなるビシクロ化合物 | ・・オレフィン単位 | ・・・ハロゲン化オレフィン | ・・ポリエン単位 | ・・・ジエン系ゴム* | |||||||
AM52 | AM53 | AM54 | AM57 | AM58 | AM60 | |||||||
・・ビニルアルコール単位,酢酸ビニル単位 | ・・・ポリビニルアルコール(PVA)* | ・・ビニルエーテル単位,ビニルエステル単位(AM52を優先) | ・・炭素,酸素以外の原子にビニル基又はアリル基が結合した化合物単位 | ・・・ビニルピロリドン | ・・二酸化硫黄単位 | |||||||
AM61 | AM62 | AM64 | AM66 | AM67 | AM68 | AM70 | ||||||
・縮重合物,重付加物 | ・・ポリエステル | ・・ポリウレタン | ・・ポリエーテル(AM70を優先) | ・・・ポリ(オキシエチレン)(AM26を優先) | ・・・ポリ(オキシプロピレン)(AM26を優先) | ・・エポキシ樹脂,フェノキシ樹脂 | ||||||
AM72 | AM73 | AM74 | AM75 | AM76 | AM77 | AM79 | AM80 | |||||
・・ポリアミド | ・・・ポリイミドの前駆体 | ・・・・シロキサン鎖を主鎖に含むもの | ・・・ポリベンゾオキサゾールの前駆体 | ・・・・シロキサン鎖を主鎖に含むもの | ・・ポリイミド,ポリベンゾオキサゾール | ・・フェノール樹脂,ノボラック樹脂 | ・・・フェノール又はクレゾールと,ホルムアルデヒドのみからなるもの | |||||
AM82 | AM84 | AM85 | AM86 | AM88 | AM90 | |||||||
・・ポリカーボネート | ・・ケイ素を主鎖に含有する高分子 | ・・・ポリラダーシロキサン,オルソシリケート縮合物 | ・・・ポリシロキサン(AM74,76,85を優先) | ・・デンドリマー | ・・末端修飾を有するもの(AM88を優先) | |||||||
AM91 | AM92 | AM93 | AM94 | AM95 | AM96 | AM99 | ||||||
・酸性基 | ・・カルボキシ基(AM18,32~34,73,74を優先) | ・・フェノール性水酸基(AM15,16,75,76,79,80を優先) | ・アルコール性水酸基(AM25,26,52,53,70を優先) | ・アミノ基,イミノ基 | ・第4級アンモニウム基,第4級イミニウム基 | ・フッ素原子を含むもの(AM27を優先) | ||||||
AN | AN00 AA~AM以外の有機化合物 |
AN01 | AN02 | AN03 | AN04 | AN05 | AN07 | AN08 | AN10 | |||
・有機酸又はその塩,ハライド,無水物 | ・・カルボン酸 | ・・・α-アミノ酸又はそのエステル | ・・・(メタ)アクリル酸*,クロトン酸* | ・・スルホン酸 | ・無機酸のエステル,アミド(AN79を優先) | ・・炭酸エステル,カーボネート | ・炭化水素化合物 | |||||
AN11 | AN12 | AN13 | AN14 | AN15 | AN16 | AN19 | ||||||
・アルコール性水酸基(AN64を優先) | ・・メタノール* | ・・エタノール* | ・・ポリオール化合物(AN64を優先) | ・・・エチレングリコール* | ・・・ジ(トリ)エチレングリコール* | ・アルデヒド基 | ||||||
AN21 | AN22 | AN23 | AN24 | AN25 | AN26 | AN28 | AN29 | AN30 | ||||
・フェノール性水酸基 | ・・ヒドロキノン*,ヒドロキノンモノアルキルエーテル* | ・・ヒンダードフェノール | ・・芳香環が2個又は3個(AN23を優先) | ・・芳香環が4個又は5個(AN23を優先) | ・・芳香環が6個以上(AN23を優先) | ・炭素のみからなる縮合,有橋,スピロ環状構造 | ・・ナフタレン構造,アントラセン構造 | ・・有橋脂肪族環構造 | ||||
AN31 | AN32 | AN33 | AN34 | AN35 | AN36 | AN37 | AN38 | AN39 | ||||
・エーテル,アセタール,ケタール | ・・環状エーテル | ・・・エポキシ基 | ・・ポリオール化合物のエーテル | ・・・エチレングリコールのエーテル | ・・・・ジ(トリ)エチレングリコールのエーテル* | ・・・プロピレングリコールのエーテル | ・・・・プロピレングリコールモノメチルエーテル* | ・・・・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート* | ||||
AN41 | AN42 | AN43 | AN44 | AN45 | AN46 | AN47 | AN49 | AN50 | ||||
・ケトン(キノン構造を含む) | ・・シクロヘプタノン*,シクロヘキサノン* | ・・ベンゾフェノン化合物 | ・・カルボニル基が非環状炭素に結合 | ・・・2-ヘプタノン* | ・・・メチルイソブチルケトン* | ・・・アセトン*,メチルエチルケトン* | ・ハロゲン含有化合物 | ・・フッ素含有化合物(BA32を優先) | ||||
AN51 | AN52 | AN53 | AN54 | AN55 | AN56 | AN57 | AN58 | AN59 | AN60 | |||
・カルボン酸エステル(AN03を優先) | ・・フタル酸の(ジ)アルキルエステル* | ・・ラクトン | ・・・γ-ブチロラクトン* | ・・・クマリン構造* | ・・環を有しないもの(AN03,60を優先) | ・・・乳酸エチル* | ・・・アルコキシプロピオン酸アルキル* | ・・・酢酸のアルキルエステル* | ・・(メタ)アクリル酸エステル | |||
AN61 | AN62 | AN63 | AN64 | AN65 | AN66 | AN67 | AN68 | AN69 | AN70 | |||
・含窒素複素環以外の含窒素構造(AN75を優先) | ・・芳香環を有しないアミン化合物(AN03を優先) | ・・・トリ(シクロ)アルキルアミン | ・・・エタノールアミン化合物 | ・・芳香環を有するアミン化合物(AN03を優先) | ・・・トリフェニルメタン構造を有するアミン化合物* | ・・アンモニウム構造,イミニウム構造 | ・・カルボン酸アミド | ・・イソシアネート基,ブロックされたイソシアネート基 | ・・ヒドラジン化合物 | |||
AN71 | AN72 | AN73 | AN74 | AN75 | AN77 | AN78 | AN79 | AN80 | ||||
・含硫黄複素環以外の含硫黄構造(AN05を優先) | ・・メルカプト基 | ・・(ジ)スルホン,スルホキシド,スルフィド | ・・スルホン酸エステル | ・・スルホン酸アミド,スルホン酸イミド | ・その他の異種元素含有化合物 | ・・ケイ素含有化合物(BA05,33を優先) | ・・リン含有化合物,リン酸エステル | ・・有機金属化合物*(AN94~98を優先) | ||||
AN81 | AN82 | AN83 | AN84 | AN85 | AN86 | AN87 | AN88 | AN89 | ||||
・複素環(AN32,33,53~55を優先) | ・・炭素と窒素のみの複素環 | ・・・ラクタム構造 | ・・・・N-メチルピロリドン* | ・・・ピリジン環 | ・・・イミダゾール化合物 | ・・・ベンゾトリアゾール化合物 | ・・炭素と窒素と酸素のみの複素環 | ・・硫黄,セレン,テルルを含有する複素環 | ||||
AN91 | AN92 | AN93 | AN94 | AN95 | AN96 | AN97 | AN98 | AN99 | ||||
・ポリメチン構造* | ・・シアニン構造,メロシアニン構造* | ・・スチリル構造* | ・フタロシアニン構造* | ・アントラキノン構造* | ・アゾ構造* | ・ジ(チオ)ケトピロロピロール構造* | ・その他のカラーインデックス登録色素*(AN55,66,91~97を優先) | ・デンドリマー構造* | ||||
AP | AP00 AA~AM以外の無機化合物 |
AP01 | AP02 | AP03 | AP05 | AP06 | AP08 | AP09 | AP10 | |||
・水* | ・炭素化合物(フラーレン等) | ・・カーボンブラック* | ・金属 | ・・銀* | ・金属酸化物,金属水酸化物,金属塩 | ・・炭酸カルシウム*,硫酸バリウム* | ・・酸化チタン*,チタンブラック* | |||||
AP11 | AP13 | AP15 | AP17 | AP19 | ||||||||
・シリカ*,コロイダルシリカ* | ・ガラス* | ・天然鉱物類*(タルク,雲母等) | ・無機酸又はその塩 | ・アンモニウム塩(AN01~05を優先) | ||||||||
BA | BA00 添加剤としての機能 |
BA01 | BA02 | BA04 | BA05 | BA06 | BA08 | BA09 | BA10 | |||
・溶剤,溶媒を2種混合 | ・溶剤,溶媒を3種以上混合 | ・可塑剤 | ・シランカップリング剤 | ・接着性向上剤(BA05を優先) | ・安定剤 | ・・酸化防止剤,重合禁止剤 | ・紫外線吸収剤,かぶり防止剤 | |||||
BA11 | BA12 | BA13 | BA15 | BA16 | BA17 | BA18 | BA20 | |||||
・増感剤 | ・・赤外線吸収剤,光熱変換剤 | ・重合促進剤,連鎖移動剤 | ・色材 | ・・顔料 | ・・染料 | ・・変色又は発色するもの | ・充填剤 | |||||
BA21 | BA22 | BA24 | BA25 | BA26 | BA27 | BA28 | BA29 | BA30 | ||||
・画像様露光前に作用する架橋剤 | ・現像後に作用する架橋剤 | ・熱酸発生剤 | ・酸又は塩基の増殖剤 | ・酸拡散制御剤,酸失活防止剤 | ・溶解抑制剤(ALを優先) | ・溶解促進剤 | ・撥液性付与剤,偏在性添加剤(以下、AH50を優先) | ・・「主鎖-A-エステル-R」 | ||||
BA31 | BA32 | BA33 | BA34 | BA35 | BA37 | BA38 | ||||||
・界面活性剤,消泡剤,レベリング剤 | ・・フッ素系 | ・・ケイ素系 | ・・フッ素とケイ素を含まないもの | ・顔料分散剤,粒子分散剤 | ・導電性付与剤,帯電防止剤 | ・難燃剤 | ||||||
CA | CA00 用途 |
CA01 | CA02 | CA03 | CA04 | CA05 | CA06 | CA07 | CA08 | CA09 | ||
・印刷版 | ・・凸版,フレキソ版 | ・・平版 | ・・・レーザー走査露光用平版 | ・・湿し水不要平版 | ・・凹版,グラビア版 | ・・スクリーン版,ステンシル版 | ・フォトマスク | ・カラープルーフ | ||||
CA11 | CA12 | CA13 | CA14 | CA15 | CA16 | CA17 | CA18 | CA19 | ||||
・電気,電子部品 | ・・半導体集積回路 | ・・プリント配線板 | ・・タッチパネル | ・光学部品 | ・・カラーフィルター | ・・・RGB構造 | ・・・ブラックマトリックス構造 | ・・マイクロレンズ | ||||
CA21 | CA22 | CA23 | CA24 | CA26 | CA28 | CA30 | ||||||
・表示装置 | ・・液晶表示装置 | ・・プラズマディスプレイ装置 | ・・有機EL装置 | ・磁気記録装置 | ・光情報記録媒体 | ・その他の特殊用途 | ||||||
CB | CB00 露光エネルギーの種類 |
CB01 | CB02 | CB03 | CB04 | CB05 | CB06 | CB07 | CB08 | CB09 | CB10 | |
・赤外線,近赤外線(赤外線レーザー) | ・可視光線~紫外線(300nm以上) | ・・可視光線~紫外線のレーザー | ・・・青(紫)色のレーザー | ・・水銀灯 | ・・・i線(365nm) | ・遠紫外線,真空紫外線(300nm未満) | ・・KrFエキシマ(248nm) | ・・ArFエキシマ(193nm) | ・・・液浸露光 | |||
CB11 | CB13 | CB14 | CB15 | CB17 | CB18 | CB20 | ||||||
・・F2エキシマ(157nm) | ・極紫外線,軟X線,X線 | ・・極紫外線(EUV) | ・・X線 | ・荷電粒子線 | ・・電子線 | ・光の回折限界を超える露光(近接場光等) | ||||||
CC | CC00 画像形成モード |
CC01 | CC03 | CC05 | CC06 | CC07 | CC08 | CC09 | ||||
・ネガ型 | ・ポジ型 | ・溶解性以外の物性変化 | ・・接着性,粘着性が変わるもの | ・・親水性,親油性が変わるもの | ・・化学的反応性が変わるもの | ・・透過性,屈折率が変わるもの | ||||||
CC11 | CC12 | CC13 | CC15 | CC16 | CC17 | CC18 | CC20 | |||||
・光架橋(CC17,18を優先) | ・光重合(カチオン重合等) | ・・ラジカル重合 | ・画像様露光部が親水性になる化学増幅 | ・・低分子レジスト | ・画像様露光部が疎水性になる化学増幅 | ・・低分子レジスト | ・光解重合 | |||||
CC21 | CC23 | CC25 | CC26 | CC28 | CC29 | CC30 | ||||||
・o-キノンジアジドの構造変化 | ・側鎖官能基の構造変化によるもの(CC15~18,21を優先) | ・ポリイミド前駆体の閉環によるもの | ・ポリベンゾオキサゾール前駆体の閉環によるもの | ・LB膜,単分子膜の反応によるもの | ・アブレーション | ・結晶状態の変化によるもの(有機化合物に限る) | ||||||
CD | CD00 画像形成方法 |
CD01 | CD02 | CD05 | CD06 | CD07 | CD09 | |||||
・多重の画像様露光 | ・・複数種の光源を用いるもの | ・現像剤が有機溶剤のみ | ・現像剤が有機溶剤と水との混合 | ・現像剤が酸性又は中性の水系溶液(CD06を優先) | ・機上現像 | |||||||
CD11 | CD12 | CD14 | CD15 | CD16 | CD18 | CD20 | ||||||
・現像工程により発色又は変色するもの(CD12を優先) | ・マイクロカプセルを用いるもの | ・乾式現像(CD11,12を優先) | ・・粉体(トナー)現像 | ・・剥離現像 | ・複数回のパターニング | ・誘導自己組織化(DSA) | ||||||
DA | DA00 層構成(発明としての特徴に限る) |
DA01 | DA02 | DA03 | DA04 | DA05 | ||||||
・画像形成層の構造特徴(感光性転写材料を除く) | ・・複数の画像形成層を有するもの(CD12を優先) | ・・・画像形成層の間に非画像形成層を有するもの(CD12を優先) | ・・・コントラスト増強層(CEL) | ・・構成成分の分布を特定 | ||||||||
DA11 | DA12 | DA13 | DA15 | DA17 | DA19 | |||||||
・支持体(感光性転写材料を除く) | ・・表面形状を特定 | ・・金属以外の材質を特定 | ・裏面層(感光性転写材料を除く) | ・受像層,被転写層 | ・層相互間の特定の関係 | |||||||
DA21 | DA22 | DA23 | DA24 | DA25 | DA26 | |||||||
・感光性転写材料の層構成 | ・・仮支持体に特徴 | ・・保護フィルムに特徴 | ・・画像形成層の構造特徴 | ・・・複数の画像形成層を有するもの | ・・非画像形成層に特徴(DA22,23を優先) | |||||||
EA | EA00 予備処理,層形成方法(発明としての特徴に限る) |
EA01 | EA02 | EA03 | EA06 | |||||||
・組成物又は成分の調製,製造法 | ・・不純物 | ・組成物の保存 | ・支持体に対する前処理 | |||||||||
EA11 | EA12 | EA13 | EA14 | EA15 | EA16 | EA18 | EA19 | |||||
・層形成 | ・・塗布 | ・・・スピンコート | ・・・スリットアンドスピン | ・・・スリットコート | ・・蒸着(PVD,CVD) | ・・ラングミュアブロジェット(LB)法 | ・・ラミネート法 | |||||
EA21 | EA22 | EA23 | EA24 | EA26 | ||||||||
・層形成の後処理 | ・・加熱,乾燥 | ・・全面予備露光 | ・・余剰塗布物の除去 | ・層形成に用いた装置の洗浄 |