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リスト再作成旧2H025(H20)、2000年以降に発行された文献を解析対象としている、H26FY再解析終了予定
2H125 | フォトリソグラフィー用材料 | 応用光学 |
G03C3/00 ,301;G03F7/004-7/04;7/06,501;7/075-7/115;7/16-7/18 |
G03F7/004-7/04;7/06,501;7/075-7/115;7/16-7/18 | AA | AA00 多官能ジアゾ又はアジド系感光性化合物(AF01~09を優先) |
AA01 | AA02 | AA04 | AA06 | AA07 | |||||
・多官能ジアゾニウム化合物 | ・・ジアゾ樹脂 | ・多官能p-キノンジアジド化合物 | ・多官能アジド化合物 | ・・ビスアジド化合物 | ||||||||
AB | AB00 無機系感光性化合物 |
AB01 | AB03 | AB05 | AB07 | AB08 | AB10 | |||||
・重クロム酸塩 | ・無機レジスト | ・カルコゲナイド | ・光触媒 | ・・酸化チタン | ・銀塩(AB05を優先) | |||||||
AC | AC00 ラジカル重合性炭素-炭素不飽和基含有化合物 |
AC01 | AC02 | AC03 | AC05 | AC06 | AC08 | AC09 | AC10 | |||
・アリル基 | ・・高分子 | ・・・(メタ)アクリル酸アリルの(共)重合体 | ・(メタ)アクリルアミド(イミド)基 | ・・高分子 | ・ビニルエーテル基,ビニルエステル基 | ・・多価のもの | ・・・高分子 | |||||
AC11 | AC12 | AC13 | AC15 | AC17 | AC19 | |||||||
・ビニルフェニル基 | ・・高分子 | ・・ジビニルベンゼン | ・ジエン系 | ・アセチレン性不飽和基 | ・マレイン酸構造,マレイミド基 | |||||||
AC21 | AC22 | AC23 | AC24 | AC25 | ||||||||
・モノ(メタ)アクリロイルオキシ基 | ・・(メタ)アクリル酸又はその塩,無水物 | ・・(メタ)アクリロイルオキシアルキルトリアルコキシシラン | ・・ポリ(オキシアルキレン) | ・・高分子(AC24を優先) | ||||||||
AC31 | AC32 | AC33 | AC34 | AC35 | AC36 | AC37 | AC38 | |||||
・多価(メタ)アクリロイルオキシ基 | ・・アルキレンジオール | ・・トリメチロールプロパン | ・・ビスフェノール(AC53,54を優先) | ・・ペンタエリスリトール | ・・ジペンタエリスリトール | ・・ウレタン型の(メタ)アクリル酸エステル(AC38,57を優先) | ・・イソシアヌレ-ト | |||||
AC42 | AC43 | AC44 | AC45 | AC46 | AC47 | AC48 | AC49 | AC50 | ||||
・・付加重合物 | ・・・(メタ)アクリル化合物単位 | ・・・・(メタ)アクリル酸又はその塩,ハライド,無水物,(シクロ)アルキルエステル単位 | ・・・・側鎖に(メタ)アクリロイルオキシ基を有する単位 | ・・・・・エポキシ基により(メタ)アクリロイルオキシ基を導入した単位 | ・・・・・イソシアネート基により(メタ)アクリロイルオキシ基を導入した単位 | ・・・マレイン酸又はその塩,ハライド,無水物,エステル,アミド単位,マレイミド単位 | ・・・スチレン化合物単位 | ・・・ビニルアルコール単位,酢酸ビニル単位 | ||||
AC52 | AC53 | AC54 | AC55 | AC56 | AC57 | AC58 | AC59 | AC60 | ||||
・・縮重合物,重付加物 | ・・・(メタ)アクリル変成エポキシ樹脂 | ・・・・さらに酸変成したもの | ・・・フェノール樹脂 | ・・・・ノボラック樹脂(AC53,54を優先) | ・・・ポリウレタン | ・・・ポリエステル(AC57を優先) | ・・・ケイ素を主鎖に含有する高分子 | ・・・・ポリ(ラダー)シロキサン(AC67,69を優先) | ||||
AC62 | AC63 | AC64 | AC65 | AC66 | AC67 | AC68 | AC69 | AC70 | ||||
・・・ポリエーテル(AC53,54,57を優先) | ・・・・ポリ(オキシアルキレン) | ・・・・・ポリ(オキシアルキレン)ジ(メタ)アクリレート | ・・・ポリアミド | ・・・・ポリイミド前駆体 | ・・・・・シロキサン鎖を主鎖に含むもの | ・・・・ポリベンゾオキサゾール前駆体 | ・・・・・シロキサン鎖を主鎖に含むもの | ・・・ポリイミド,ポリベンゾオキサゾール | ||||
AC71 | AC72 | AC73 | AC74 | AC75 | AC76 | AC77 | AC78 | AC79 | AC80 | |||
・酸性基 | ・・カルボキシ基(AC22,44,48,54,66を優先) | ・・フェノール性水酸基(AC55,56,68を優先) | ・アルコール性水酸基(AC35,36,46,50,53,54を優先) | ・アミノ基,イミノ基 | ・第4級アンモニウム基,第4級イミニウム基 | ・重合開始剤機能を有する官能基 | ・ケイ素原子を含むもの(AC23,59,60,67,69を優先) | ・フッ素原子を含むもの | ・リン原子を含むもの | |||
AD | AD00 ラジカルを発生する化合物 |
AD01 | AD02 | AD03 | AD04 | AD05 | AD06 | AD07 | AD09 | AD10 | ||
・NorrishI型分解 | ・・アセトフェノン化合物(AD06を優先) | ・・・ベンゾイン化合物,ベンゾインアルキルエーテル化合物 | ・・・ベンジル化合物 | ・・・ベンジルケタール化合物 | ・・オキシムエステル化合物 | ・・アシルホスフィン化合物 | ・トリハロメチル系 | ・・トリアジン化合物 | ||||
AD11 | AD12 | AD13 | AD14 | AD15 | AD16 | AD18 | AD19 | AD20 | ||||
・カルボニルによる水素引抜型 | ・・ベンゾフェノン化合物 | ・・・ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン | ・・・ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン | ・・キサントン化合物,チオキサントン化合物 | ・・ベンゾキノン化合物,アントラキノン化合物 | ・オニウム塩系 | ・・スルホニウム化合物 | ・・ヨードニウム化合物 | ||||
AD21 | AD22 | AD24 | AD26 | AD28 | ||||||||
・S-S結合の分解 | ・・ジスルフィド化合物 | ・ビイミダゾール系 | ・過酸系,過酸化物系 | ・ボレート系 | ||||||||
AD31 | AD32 | AD33 | AD34 | AD35 | AD38 | |||||||
・金属の酸化還元系 | ・・メタロセン化合物 | ・・・フェロセン化合物 | ・・・チタノセン化合物 | ・・ハロゲン化銀 | ・アゾ系 | |||||||
AE | AE00 AA~AC以外の架橋性基を複数有する化合物 |
AE01 | AE02 | AE03 | AE04 | AE05 | AE06 | AE07 | AE08 | AE09 | AE10 | |
・架橋性基を複数有する低分子 | ・・メチロール基,アルコキシメチル基 | ・・・メラミン化合物 | ・・・尿素化合物 | ・・・フェノール化合物 | ・・エポキシ基,グリシジル基 | ・・オキセタニル基 | ・・イソシアネート基,ブロックされたイソシアネート基 | ・・SiH基 | ・・ビニルエーテル基,ビニルエステル基 | |||
AE11 | AE12 | AE13 | AE14 | AE15 | AE17 | AE18 | AE19 | AE20 | ||||
・架橋性基を複数有する高分子 | ・・エポキシ基,グリシジル基 | ・・・ポリ(メタ)アクリル酸エステル | ・・・ノボラック型エポキシ樹脂 | ・・・ビスフェノール型エポキシ樹脂 | ・・オキセタニル基 | ・・・ポリ(メタ)アクリル酸エステル | ・・・ノボラック型 | ・・・ビスフェノール型 | ||||
AE22 | AE23 | AE24 | AE26 | AE27 | AE29 | AE30 | ||||||
・・メチロール基,アルコキシメチル基 | ・・ビニルエーテル基,ビニルエステル基 | ・・イソシアネート基,ブロックされたイソシアネート基 | ・・ハロゲン化メチル基 | ・・ハロゲン化フェニル基 | ・・SiH基を有するもの | ・・・ポリ(ラダー)シロキサン | ||||||
AE32 | AE33 | AE34 | AE35 | AE36 | AE40 | |||||||
・・二量化型 | ・・・シンナモイル(ケイ皮酸)系 | ・・・ベンザルアセトフェノン(カルコン)系 | ・・・スチルベン系 | ・・・スチリルピリジニウム(スチルバゾリウム)系 | ・構造が特定できないもの | |||||||
AF | AF00 酸を形成(分離)する化合物 |
AF01 | AF02 | AF03 | AF04 | AF05 | AF07 | AF08 | AF09 | |||
・o-キノンジアジド基を有する化合物 | ・・ナフトキノンジアジド(NQD)基を有する低分子 | ・・・NQD基以外の芳香環が2個のもの | ・・・NQD基以外の芳香環が3個のもの | ・・・NQD基以外の芳香環が4個以上のもの | ・・NQD基を有する高分子 | ・・・ノボラック樹脂 | ・・・ピロガロールアセトン樹脂 | |||||
AF11 | AF12 | AF13 | AF14 | AF15 | AF16 | AF17 | AF18 | AF19 | AF20 | |||
・オニウム塩(AA01,02,AF61を優先) | ・・カチオン部の構造(AA01,02,AF61を優先) | ・・・スルホニウム化合物 | ・・・・多価スルホニウム化合物 | ・・・・・高分子スルホニウム化合物 | ・・・・芳香環を有するもの | ・・・・・トリフェニルスルホニウム | ・・・・・置換基を有するトリフェニルスルホニウム(AF14,15を優先) | ・・・・・フェナシル構造を有するもの | ・・・・・芳香族縮合環構造を有するもの | |||
AF21 | AF22 | AF24 | AF25 | AF26 | AF27 | AF29 | AF30 | |||||
・・・・テトラヒドロチオフェニウム構造を有するもの | ・・・・脂肪族環構造を有するもの | ・・・ヨードニウム化合物 | ・・・・高分子ヨードニウム化合物 | ・・・・ジフェニルヨードニウム | ・・・・置換基を有するジフェニルヨードニウム(AF25を優先) | ・・・アンモニウム化合物,イミニウム化合物 | ・・・・テトラアルキルアンモニウム構造を有するもの | |||||
AF32 | AF33 | AF34 | AF35 | AF36 | AF37 | AF38 | AF39 | |||||
・・アニオン部の構造 | ・・・RSO3- | ・・・・Rが高分子のもの | ・・・・RがCF3 | ・・・・RがCnF2n+1(nは2以上4以下) | ・・・・RがCnF2n+1(nは5以上) | ・・・・Rが環構造を有するもの | ・・・・・環にフッ素原子を有するもの | |||||
AF41 | AF42 | AF43 | AF45 | AF46 | AF48 | AF49 | AF50 | |||||
・・・RCOO- | ・・・・Rが高分子であるもの | ・・・・Rがフッ素原子を有するもの | ・・・イミデート化合物,メチド化合物 | ・・・配位型アニオン | ・・・ボレート化合物 | ・・・・トリフェニルアルキルボレート構造を有するもの | ・・・・ホウ素が環上にあるもの | |||||
AF51 | AF52 | AF53 | AF54 | AF55 | AF57 | AF59 | AF60 | |||||
・スルホン化合物,スルホン酸化合物 | ・・オキシムスルホネート化合物 | ・・スルホニルオキシイミド化合物 | ・・ジスルホン化合物 | ・・スルホニルジアゾメタン化合物 | ・トリアジン化合物,トリハロメチル化合物 | ・芳香族ニトロ化合物 | ・・芳香族ニトロ基を有する高分子 | |||||
AF61 | AF63 | AF69 | AF70 | |||||||||
・ジアゾニウム塩(AA01,02を優先) | ・有機金属化合物 | ・構造が特定できないもの | ・2種以上を併用するもの | AG | AG00 塩基を形成(分離)する化合物 |
|||||||
AH | AH00 酸又は塩基解離性基を側鎖に有する高分子(1) |
AH01 | AH02 | AH03 | AH04 | AH05 | AH06 | AH07 | AH08 | AH09 | AH10 | |
・解離性基の構造 | ・・架橋しているもの* | ・・酸又は塩基により開環するもの* | ・・アセタール,ケタール | ・・・アルコキシアルキル(環状構造を含む) | ・・・・エトキシエチル | ・・・・テトラヒドロピラニル | ・・エステル,フェノールとのエーテル(AH04~07を優先) | ・・・シリルエステル,シリルエーテル | ・・・・トリメチルシリル | |||
AH11 | AH12 | AH13 | AH14 | AH15 | AH16 | AH17 | AH18 | AH19 | AH20 | |||
・・・3級炭素が鎖上に存在するもの | ・・・・t-ブチル | ・・・・t-BOC | ・・・・環状構造を有するもの | ・・・・・環状構造がアダマンチル | ・・・3級炭素が環状構造を形成しているもの | ・・・・2-アルキル-2-アダマンチル | ・・・・2-アルキルー2-ノルボルニル | ・・・・1-アルキルシクロペンチル又はヘキシル | ・・・・解離性基中にラクトン環を有するもの | |||
AH21 | AH22 | AH23 | AH24 | AH25 | AH27 | AH29 | ||||||
・炭素,酸素,水素,ケイ素以外の原子を有するもの | ・・窒素 | ・・硫黄 | ・・フッ素 | ・・・ヘキサフルオロヒドロキシプロピル基を有するもの | ・末端修飾を有する縮重合物,重付加物 | ・AJ,AKの高分子を2種以上併用するもの | ||||||
AJ | AJ00 酸又は塩基解離性基を側鎖に有する高分子(2)付加重合物 |
AJ01 | AJ02 | AJ03 | AJ04 | AJ05 | AJ07 | AJ08 | AJ09 | |||
・解離性基を有する構成単位 | ・・スチレン系単位 | ・・・ヒドロキシスチレン化合物 | ・・・・4-ヒドロキシスチレン | ・・・・4-イソプロペニルフェノール | ・・・カルボキシ基を有するスチレン化合物 | ・・・・4-ビニル安息香酸 | ・・・・4-ビニルフェノキシ酢酸 | |||||
AJ12 | AJ13 | AJ14 | AJ16 | AJ18 | ||||||||
・・(メタ)アクリル系単位 | ・・・アクリル酸 | ・・・メタクリル酸 | ・・・メチル基以外のα置換アクリル酸 | ・・・解離性基を脂肪族環上に有する(メタ)アクリル酸エステル | ||||||||
AJ22 | AJ23 | AJ24 | AJ25 | AJ26 | AJ27 | AJ29 | ||||||
・・環上に二重結合を有する単位 | ・・・ビシクロ化合物 | ・・・・ノルボルネンカルボン酸化合物 | ・・・・・ノルボルネンカルボン酸 | ・・・トリシクロ化合物 | ・・・テトラシクロ化合物 | ・・・単環かつヘテロ原子を含む環を有するもの | ||||||
AJ32 | AJ33 | AJ35 | AJ37 | AJ38 | ||||||||
・・その他の炭素-炭素二重結合を有する単位 | ・・・マレイン酸又はマレイン酸モノエステル | ・・・ビニルエステル,ビニルエーテル | ・・・フッ素化されていてもよいCH2=CH-CH2-基を有するもの | ・・・・分子内環化しているもの | ||||||||
AJ41 | AJ42 | AJ43 | AJ44 | AJ45 | AJ47 | AJ48 | AJ49 | |||||
・解離性基を有しない構成単位 | ・・スチレン系単位 | ・・・芳香環上に水酸基を有しないスチレン化合物 | ・・・・スチレン | ・・・・芳香環上に-OR基を有するもの | ・・・ヒドロキシスチレン化合物 | ・・・・4-ヒドロキシスチレン | ・・・・4-イソプロペニルフェノール | |||||
AJ52 | AJ53 | AJ54 | AJ55 | AJ56 | AJ57 | AJ58 | AJ59 | AJ60 | ||||
・・(メタ)アクリル系単位 | ・・・アクリル酸 | ・・・アクリル酸エステル | ・・・・ラクトン環を有するもの | ・・・・炭素と水素のみからなり,脂肪族環を有するもの | ・・・・・1-アダマンチル | ・・・・AJ56以外の脂肪族環を有するもの(AJ55を優先) | ・・・・・3-ヒドロキシー1-アダマンチル | ・・・・側鎖に炭素のみからなる芳香環を有するもの | ||||
AJ63 | AJ64 | AJ65 | AJ66 | AJ67 | AJ68 | AJ69 | AJ70 | |||||
・・・メタクリル酸 | ・・・メタクリル酸エステル | ・・・・ラクトン環を有するもの | ・・・・炭素と水素のみからなり,脂肪族環を有するもの | ・・・・・1-アダマンチル | ・・・・AJ66以外の脂肪族環を有するもの(AJ65を優先) | ・・・・・3-ヒドロキシー1-アダマンチル | ・・・・側鎖に炭素のみからなる芳香環を有するもの | |||||
AJ73 | AJ74 | AJ75 | AJ76 | AJ77 | AJ78 | AJ79 | AJ80 | |||||
・・・メチル基以外のα置換アクリル酸 | ・・・メチル基以外のα置換アクリル酸エステル | ・・・・ラクトン環を有するもの | ・・・・炭素と水素のみからなり,脂肪族環を有するもの | ・・・・・1-アダマンチル | ・・・・AJ76以外の脂肪族環を有するもの(AJ75を優先) | ・・・・・3-ヒドロキシー1-アダマンチル | ・・・・側鎖に炭素のみからなる芳香環を有するもの | |||||
AJ82 | AJ83 | AJ84 | AJ85 | AJ87 | AJ88 | AJ89 | AJ90 | |||||
・・環上に二重結合を有する単位 | ・・・環がヘテロ原子を含むもの | ・・・・無水マレイン酸 | ・・・・マレイミド化合物 | ・・・環が炭素のみからなるビシクロ化合物 | ・・・・ノルボルネン | ・・・環が炭素のみからなるトリシクロ化合物 | ・・・環が炭素のみからなるテトラシクロ化合物 | |||||
AJ92 | AJ93 | AJ95 | AJ97 | AJ98 | ||||||||
・・その他の炭素-炭素二重結合を有する単位 | ・・・フッ素化されていてもよいエチレン | ・・・ビニルエステル,ビニルエーテル | ・・・フッ素化されていてもよいCH2=CH-CH2-基を有するもの | ・・・・分子内環化しているもの | ||||||||
AK | AK00 酸又は塩基解離性基を側鎖に有する高分子(3) |
AK01 | AK02 | AK03 | AK04 | AK05 | AK06 | AK07 | AK08 | AK09 | ||
・縮重合物,重付加物 | ・・ケイ素を主鎖に含有する高分子(AK16を優先) | ・・・RSiX3から誘導されるもの | ・・・・芳香環を有するもの | ・・・・・Rが4-ヒドロキシベンジルのもの又はそれが解離性基で置換されたもの | ・・・・・Rがフェニルであるもの | ・・・・脂肪族環を有するもの(AK04を優先) | ・・・・・Rが置換基を有してもよいノルボルネン環であるもの | ・・・・・Rが置換基を有してもよいテトラシクロアルキルであるもの | ||||
AK12 | AK13 | AK15 | AK16 | AK19 | ||||||||
・・ノボラック樹脂 | ・・・m,p-クレゾールとホルムアルデヒドのみからなるもの | ・・ポリアミド,ポリイミド又はその前駆体 | ・・・シロキサン鎖を主鎖に含むもの | ・・主鎖に解離性結合を有するもの | ||||||||
AK21 | AK22 | AK23 | AK24 | AK25 | AK26 | AK27 | AK28 | AK29 | AK30 | |||
・メタセシス重合物 | ・・すべての環が炭素のみからなるもの | ・・・解離性基を有するもの(AK26,28,30を優先) | ・・・ビシクロ化合物を原料とするもの | ・・・・ノルボルネン | ・・・・解離性基を有するもの | ・・・トリシクロ化合物を原料とするもの | ・・・・解離性基を有するもの | ・・・テトラシクロ化合物を原料とするもの | ・・・・解離性基を有するもの | |||
AL | AL00 AH~AK以外の,酸又は塩基により解離する化合物 |
AL01 | AL02 | AL03 | AL05 | AL07 | AL08 | |||||
・解離性構造 | ・・アセタール構造,ケタール構造 | ・・エステル構造,フェノールとのエーテル構造(AL02を優先) | ・主鎖のみに解離性結合を有する高分子 | ・デンドリマー | ・・コアが環状のもの | |||||||
AL11 | AL12 | AL13 | AL14 | AL15 | AL16 | AL17 | AL18 | AL19 | AL20 | |||
・AL05~08以外の解離性基を有する化合物 | ・・フェノール化合物 | ・・・ポリヒドロキシベンゾフェノン化合物 | ・・・フェノール類とアルデヒド又はケトンとの縮合によって得られるもの | ・・・・2個又は3個の芳香環のみからなり,それらが直線状に連なるもの | ・・・・4個の芳香環のみからなり,それらが直線状に連なるもの | ・・・・芳香環が分岐状に連なるもの(AL19,20を優先) | ・・・・・芳香環を3個又は4個有するもの(AL19,20を優先) | ・・・・3個以上の芳香環が環状に連なるもの | ・・・・・環上に芳香環を4個有するもの | |||
AL22 | AL23 | AL25 | ||||||||||
・・脂肪族環含有化合物 | ・・・ステロイド骨格を有するもの | ・・かご型シルセスキオキサン化合物 | ||||||||||
AM | AM00 AA~AL以外の高分子 |
AM01 | AM02 | AM03 | AM04 | AM08 | AM09 | AM10 | ||||
・天然高分子又はその変成物 | ・・タンパク質又はその変成物 | ・・・ゼラチン又はその変成物 | ・・セルロース又はその変成物 | ・粒子形状のもの | ・構造が特定できないもの | ・2種以上を併用するもの | ||||||
AM11 | AM12 | AM13 | AM14 | AM15 | AM16 | AM18 | ||||||
・付加重合物 | ・・スチレン化合物単位 | ・・・スチレン | ・・・α-メチルスチレン | ・・・ヒドロキシスチレン化合物 | ・・・・ポリ(4-ヒドロキシスチレン)* | ・・マレイン酸又はその塩,ハライド,無水物,エステル単位 | ||||||
AM22 | AM23 | AM24 | AM25 | AM26 | AM27 | AM29 | AM30 | |||||
・・(メタ)アクリル酸エステル単位 | ・・・(メタ)アクリル酸(シクロ)アルキルエステル | ・・・・ポリメタクリル酸メチル(PMMA)* | ・・・メタクリル酸-2-ヒドロキシエチル(HEMA) | ・・・(メタ)アクリル酸ポリ(オキシアルキレン) | ・・・(メタ)アクリル酸フッ化アルキルエステル | ・・α又はβ-置換アクリル酸エステル単位(AM18,22~27を優先) | ・・・α-ハロ又はα-トリハロメチルアクリル酸エステル | |||||
AM32 | AM33 | AM34 | AM36 | AM38 | AM39 | AM40 | ||||||
・・(メタ)アクリル酸又はその塩,ハライド,無水物単位 | ・・α又はβ-置換アクリル酸又はその塩,ハライド,無水物単位(AM18,32を優先) | ・・・α-ハロ又はα-トリハロメチルアクリル酸 | ・・α,β-不飽和ニトリル単位(AM29,33を優先) | ・・α,β-不飽和カルボン酸アミド(イミド)単位 | ・・・マレイミド化合物 | ・・・ポリメチルグルタルイミド(PMGI)* | ||||||
AM42 | AM43 | AM45 | AM46 | AM48 | AM49 | |||||||
・・環上に二重結合を有する単位(AM18,39を優先) | ・・・環が炭素のみからなるビシクロ化合物 | ・・オレフィン単位 | ・・・ハロゲン化オレフィン | ・・ポリエン単位 | ・・・ジエン系ゴム* | |||||||
AM52 | AM53 | AM54 | AM57 | AM58 | AM60 | |||||||
・・ビニルアルコール単位,酢酸ビニル単位 | ・・・ポリビニルアルコール(PVA)* | ・・ビニルエーテル単位,ビニルエステル単位(AM52を優先) | ・・炭素,酸素以外の原子にビニル基又はアリル基が結合した化合物単位 | ・・・ビニルピロリドン | ・・二酸化硫黄単位 | |||||||
AM61 | AM62 | AM64 | AM66 | AM67 | AM68 | AM70 | ||||||
・縮重合物,重付加物 | ・・ポリエステル | ・・ポリウレタン | ・・ポリエーテル(AM70を優先) | ・・・ポリ(オキシエチレン)(AM26を優先) | ・・・ポリ(オキシプロピレン)(AM26を優先) | ・・エポキシ樹脂 | ||||||
AM72 | AM73 | AM74 | AM75 | AM76 | AM77 | AM79 | AM80 | |||||
・・ポリアミド | ・・・ポリイミドの前駆体 | ・・・・シロキサン鎖を主鎖に含むもの | ・・・ポリベンゾオキサゾールの前駆体 | ・・・・シロキサン鎖を主鎖に含むもの | ・・ポリイミド,ポリベンゾオキサゾール | ・・フェノール樹脂 | ・・・ノボラック樹脂 | |||||
AM82 | AM84 | AM85 | AM86 | AM88 | AM90 | |||||||
・・ポリカーボネート | ・・ケイ素を主鎖に含有する高分子 | ・・・ポリラダーシロキサン,オルソシリケート縮合物 | ・・・ポリシロキサン(AM74,76,85を優先) | ・・デンドリマー | ・・末端修飾を有するもの(AM88を優先) | |||||||
AM91 | AM92 | AM93 | AM94 | AM95 | AM96 | AM99 | ||||||
・酸性基 | ・・カルボキシ基(AM18,32~34,73,74を優先) | ・・フェノール性水酸基(AM15,16,75,76,79,80を優先) | ・アルコール性水酸基(AM25,26,52,53,70を優先) | ・アミノ基,イミノ基 | ・第4級アンモニウム基,第4級イミニウム基 | ・フッ素原子を含むもの(AM27を優先) | ||||||
AN | AN00 AA~AM以外の有機化合物 |
AN01 | AN02 | AN03 | AN04 | AN05 | AN07 | AN08 | AN10 | |||
・有機酸又はその塩,ハライド,無水物 | ・・カルボン酸 | ・・・α-アミノ酸又はそのエステル | ・・・(メタ)アクリル酸*,クロトン酸* | ・・スルホン酸 | ・無機酸のエステル,アミド(AN79を優先) | ・・炭酸エステル | ・炭化水素化合物 | |||||
AN11 | AN12 | AN13 | AN14 | AN15 | AN16 | AN19 | ||||||
・アルコール性水酸基(AN64を優先) | ・・メタノール* | ・・エタノール* | ・・ポリオール化合物(AN64を優先) | ・・・エチレングリコール* | ・・・ジ(トリ)エチレングリコール* | ・アルデヒド基 | ||||||
AN21 | AN22 | AN23 | AN24 | AN25 | AN26 | AN28 | AN29 | AN30 | ||||
・フェノール性水酸基 | ・・ヒドロキノン*,ヒドロキノンモノアルキルエーテル* | ・・ヒンダードフェノール | ・・芳香環を2個又は3個有するもの | ・・芳香環を4個又は5個有するもの | ・・芳香環を6個以上有するもの | ・炭素のみからなる縮合,有橋,スピロ環状構造 | ・・ナフタレン構造,アントラセン構造 | ・・有橋脂肪族環構造 | ||||
AN31 | AN32 | AN33 | AN34 | AN35 | AN36 | AN37 | AN38 | AN39 | ||||
・エーテル,アセタール,ケタール | ・・環状エーテル | ・・・エポキシ基 | ・・ポリオール化合物のエーテル | ・・・エチレングリコールのエーテル | ・・・ジ(トリ)エチレングリコールのエーテル* | ・・・プロピレングリコールのエーテル | ・・・・プロピレングリコールモノメチルエーテル* | ・・・・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート* | ||||
AN41 | AN42 | AN43 | AN44 | AN45 | AN46 | AN47 | AN49 | AN50 | ||||
・ケトン(キノン構造を含む) | ・・シクロヘプタノン*,シクロヘキサノン* | ・・ベンゾフェノン化合物 | ・・カルボニル基が非環状炭素に結合しているもの | ・・・2-ヘプタノン* | ・・・メチルイソブチルケトン* | ・・・アセトン*,メチルエチルケトン* | ・ハロゲン含有化合物 | ・・フッ素含有化合物(BA32を優先) | ||||
AN51 | AN52 | AN53 | AN54 | AN55 | AN56 | AN57 | AN58 | AN59 | AN60 | |||
・カルボン酸エステル(AN03を優先) | ・・フタル酸の(ジ)アルキルエステル* | ・・ラクトン | ・・・γ-ブチロラクトン* | ・・・クマリン構造* | ・・環を有しないもの(AN03,60を優先) | ・・・乳酸エチル* | ・・・アルコキシプロピオン酸アルキル* | ・・・酢酸のアルキルエステル* | ・・(メタ)アクリル酸エステル | |||
AN61 | AN62 | AN63 | AN64 | AN65 | AN66 | AN67 | AN68 | AN69 | AN70 | |||
・含窒素複素環以外の含窒素構造(AN75を優先) | ・・芳香環を有しないアミン化合物(AN03を優先) | ・・・トリアルキルアミン | ・・・エタノールアミン化合物 | ・・芳香環を有するアミン化合物(AN03を優先) | ・・・トリフェニルメタン構造* | ・・アンモニウム構造,イミニウム構造 | ・・カルボン酸アミド | ・・イソシアネート基,ブロックされたイソシアネート基 | ・・ヒドラジン化合物 | |||
AN71 | AN72 | AN73 | AN74 | AN75 | AN77 | AN78 | AN79 | AN80 | ||||
・含硫黄複素環以外の含硫黄構造(AN05を優先) | ・・メルカプト基 | ・・(ジ)スルホン,スルホキシド,スルフィド | ・・スルホン酸エステル | ・・スルホン酸アミド | ・その他の異種元素含有化合物 | ・・ケイ素含有化合物(BA05,33を優先) | ・・リン含有化合物,リン酸エステル | ・・有機金属化合物(AN94を優先) | ||||
AN81 | AN82 | AN83 | AN84 | AN85 | AN86 | AN87 | AN88 | AN89 | ||||
・複素環(AN32,33,53~55を優先) | ・・炭素と窒素のみの複素環 | ・・・ラクタム構造 | ・・・・N-メチルピロリドン* | ・・・ピリジン環 | ・・・イミダゾール化合物 | ・・・ベンゾトリアゾール化合物 | ・・炭素と窒素と酸素のみの複素環 | ・・硫黄,セレン,テルルを含有する複素環 | ||||
AN91 | AN92 | AN93 | AN94 | AN96 | ||||||||
・ポリメチン構造* | ・・シアニン構造,メロシアニン構造* | ・・スチリル構造* | ・フタロシアニン構造* | ・デンドリマー構造* | ||||||||
AP | AP00 AA~AM以外の無機化合物 |
AP01 | AP02 | AP03 | AP05 | AP06 | AP08 | AP09 | AP10 | |||
・水* | ・炭素化合物 | ・・カーボンブラック* | ・金属 | ・・銀* | ・金属酸化物,金属水酸化物,金属塩 | ・・炭酸カルシウム*,硫酸バリウム* | ・・酸化チタン* | |||||
AP11 | AP13 | AP15 | AP17 | AP19 | ||||||||
・シリカ*,コロイダルシリカ* | ・ガラス* | ・天然鉱物類 | ・無機酸又はその塩 | ・アンモニウム塩(AN01~05を優先) | ||||||||
BA | BA00 添加剤としての機能 |
BA01 | BA02 | BA04 | BA05 | BA06 | BA07 | BA08 | BA09 | BA10 | ||
・溶剤,溶媒を2種混合しているもの | ・溶剤,溶媒を3種以上混合しているもの | ・可塑剤 | ・シランカップリング剤 | ・接着性向上剤(BA05を優先) | ・粘着防止剤 | ・安定剤 | ・・酸化防止剤,重合禁止剤 | ・紫外線吸収剤,かぶり防止剤 | ||||
BA11 | BA12 | BA13 | BA15 | BA16 | BA17 | BA18 | BA20 | |||||
・増感剤 | ・・赤外線吸収剤,光熱変換剤 | ・重合促進剤,連鎖移動剤 | ・色材 | ・・顔料 | ・・染料 | ・・変色又は発色するもの | ・充填剤 | |||||
BA21 | BA22 | BA24 | BA26 | BA27 | BA28 | BA30 | ||||||
・画像様露光前に作用する架橋剤 | ・現像後に作用する架橋剤 | ・熱酸発生剤 | ・酸拡散制御剤,酸失活防止剤 | ・溶解抑制剤(ALを優先) | ・溶解促進剤 | ・導電性付与剤 | ||||||
BA31 | BA32 | BA33 | BA34 | BA35 | BA37 | BA38 | ||||||
・界面活性剤,消泡剤 | ・・フッ素系界面活性剤 | ・・ケイ素系界面活性剤 | ・・フッ素とケイ素を含まないもの | ・顔料分散剤,粒子分散剤 | ・帯電防止剤 | ・難燃剤 | ||||||
CA | CA00 用途 |
CA01 | CA02 | CA03 | CA04 | CA05 | CA06 | CA07 | CA08 | CA09 | ||
・印刷版 | ・・凸版,フレキソ版 | ・・平版 | ・・・レーザー走査露光用平版 | ・・湿し水不要平版 | ・・凹版,グラビア版 | ・・スクリーン版,ステンシル版 | ・フォトマスク | ・カラープルーフ | ||||
CA11 | CA12 | CA13 | CA15 | CA16 | CA17 | CA18 | CA19 | |||||
・電気,電子部品 | ・・半導体集積回路 | ・・プリント配線板 | ・光学部品 | ・・カラーフィルター | ・・・RGB構造 | ・・・ブラックマトリックス構造 | ・・マイクロレンズ | |||||
CA21 | CA22 | CA23 | CA24 | CA26 | CA28 | CA30 | ||||||
・表示装置 | ・・液晶表示装置 | ・・プラズマディスプレイ装置 | ・・有機EL装置 | ・磁気記録装置 | ・光情報記録媒体 | ・その他の特殊用途 | ||||||
CB | CB00 露光エネルギーの種類 |
CB01 | CB02 | CB03 | CB04 | CB05 | CB06 | CB07 | CB08 | CB09 | CB10 | |
・赤外線,近赤外線(赤外線レーザー) | ・可視光線,近紫外線,紫外線 | ・・可視光線,近紫外線,紫外線のレーザー | ・・・青(紫)色 | ・・水銀灯 | ・・・i線(365nm) | ・遠紫外線,真空紫外線 | ・・KrFエキシマ(248nm) | ・・ArFエキシマ(193nm) | ・・F2エキシマ(157nm) | |||
CB11 | CB12 | CB13 | CB15 | CB16 | CB18 | CB19 | ||||||
・極紫外線,軟X線,X線 | ・・極紫外線(EUV) | ・・X線 | ・荷電粒子線 | ・・電子線 | ・光の回折限界を超える露光 | ・・近接場光 | ||||||
CC | CC00 画像形成モード |
CC01 | CC03 | CC05 | CC06 | CC07 | CC08 | CC09 | ||||
・ネガ型 | ・ポジ型 | ・溶解性以外の物性変化 | ・・接着性,粘着性がかわるもの | ・・親水性,親油性がかわるもの | ・・化学的反応性がかわるもの | ・・透過性,屈折率がかわるもの | ||||||
CC11 | CC12 | CC13 | CC15 | CC16 | CC17 | CC18 | CC20 | |||||
・光架橋(CC17,18を優先) | ・光重合 | ・・ラジカル重合 | ・画像様露光部が親水性になる化学増幅 | ・・低分子レジスト | ・画像様露光部が疎水性になる化学増幅 | ・・低分子レジスト | ・光解重合 | |||||
CC21 | CC23 | CC25 | CC26 | CC28 | CC29 | CC30 | ||||||
・o-キノンジアジドの構造変化によるもの | ・側鎖官能基の構造変化によるもの(CC15~18,21を優先) | ・ポリイミド前駆体の閉環によるもの | ・ポリベンゾオキサゾール前駆体の閉環によるもの | ・LB膜,単分子膜の反応によるもの | ・アブレーション | ・結晶状態の変化によるもの(有機化合物に限る) | ||||||
CD | CD00 特許請求の範囲に記載の物性 |
CD01 | CD02 | CD03 | CD04 | CD05 | CD06 | CD07 | CD08 | CD09 | CD10 | |
・化学的物性 | ・・溶解性 | ・・・水溶性 | ・・・水分散性,エマルジョン | ・・酸性度,塩基性度 | ・・・酸価 | ・・親疎水性,接触角 | ・・分子量範囲 | ・・分子量の分散度 | ・・感度 | |||
CD11 | CD12 | CD13 | CD14 | CD15 | CD16 | CD17 | CD18 | CD19 | CD20 | |||
・熱的又は機械的物性 | ・・沸点 | ・・融点,軟化点 | ・・ガラス転移温度(Tg) | ・・粘度,粘性 | ・・弾性 | ・・硬度 | ・・表面粗さ | ・・摩擦係数 | ・・膜厚 | |||
CD21 | CD22 | CD23 | CD24 | CD26 | CD27 | CD29 | CD30 | |||||
・光学的物性 | ・・吸光度,透過率,光学濃度 | ・・(極大)吸収波長 | ・・ヘイズ値 | ・電気的物性 | ・・高導電性 | ・粒子径 | ・粒度分布 | |||||
CD31 | CD32 | CD33 | CD34 | CD35 | CD36 | CD37 | CD38 | CD39 | CD40 | |||
・組成物,その硬化物又は形成された画像に関するもの | ・多官能ジアゾ又はアジド系感光性化合物(AA)に関するもの | ・無機系感光性化合物(AB)に関するもの | ・ラジカル重合性炭素-炭素不飽和基含有化合物(AC)に関するもの | ・ラジカルを発生する化合物(AD),酸又は塩基形成化合物(AF,AG)に関するもの | ・架橋性基を複数有する化合物(AE)に関するもの | ・酸又は塩基により解離する化合物(AH~AL)に関するもの | ・画像形成層に存在する高分子(AM)に関するもの | ・画像形成層以外に存在する高分子(AM)に関するもの | ・その他化合物,添加剤(AN,AP,BA),層構成(DA)に関するもの | |||
DA | DA00 層構成(発明としての特徴に限る) |
DA01 | DA02 | DA03 | DA04 | DA05 | DA06 | DA07 | DA08 | DA09 | DA10 | |
・画像形成層の上層である非画像形成層(感光性転写材料を除く) | ・・反射防止層,ハレーション防止層 | ・・液浸保護層 | ・・帯電防止層 | ・・潜像又は顕像を形成しない光熱変換層 | ・・酸素不透過層 | ・・粘着防止層 | ・・真空密着性向上層 | ・・撥水性又は撥油性向上層 | ・・・湿し水不要平版用シリコーンゴム層 | |||
DA11 | DA12 | DA13 | DA14 | DA15 | ||||||||
・画像形成層の構造特徴(感光性転写材料を除く) | ・・複数の画像形成層を有するもの(FA12を優先) | ・・・画像形成層の間に非画像形成層を有するもの(FA12を優先) | ・・・コントラスト増強層(CEL) | ・・構成成分の分布を特定しているもの | ||||||||
DA21 | DA22 | DA23 | DA24 | DA25 | DA26 | DA27 | DA28 | DA30 | ||||
・画像形成層の下層である非画像形成層(感光性転写材料を除く) | ・・反射防止層,ハレーション防止層 | ・・平坦化層 | ・・耐エッチングマスク層 | ・・・スピンオングラス | ・・潜像又は顕像を形成しない光熱変換層 | ・・接着層 | ・・親水性向上層 | ・層相互間の特定の関係 | ||||
DA31 | DA32 | DA33 | DA35 | DA36 | DA37 | DA40 | ||||||
・支持体(感光性転写材料を除く) | ・・表面形状を特定しているもの | ・・金属以外の材質を特定しているもの | ・裏面層(感光性転写材料を除く) | ・・帯電防止層 | ・・易滑層 | ・受像層,被転写層 | ||||||
DA41 | DA42 | DA43 | DA44 | DA45 | DA46 | DA47 | DA48 | DA49 | DA50 | |||
・感光性転写材料の層構成 | ・・仮支持体に特徴があるもの | ・・保護フィルムに特徴があるもの | ・・画像形成層の構造特徴 | ・・・複数の画像形成層を有するもの | ・・非画像形成層に特徴があるもの(DA42,43を優先) | ・・・クッション層 | ・・・接着層 | ・・・剥離層,離型層 | ・・・潜像又は顕像を形成しない着色層 | |||
EA | EA00 予備処理,層形成方法(発明としての特徴に限る) |
EA01 | EA02 | EA03 | EA05 | EA06 | ||||||
・組成物の調製,製造法 | ・・不純物 | ・組成物の保存 | ・被塗布物に対する前処理 | ・・支持体に対する前処理 | ||||||||
EA11 | EA12 | EA13 | EA14 | EA15 | EA16 | EA17 | EA18 | EA19 | ||||
・層形成 | ・・塗布 | ・・・スピンコート | ・・・スリットアンドスピン | ・・・スリットコート | ・・物理蒸着(PVD) | ・・化学蒸着(CVD) | ・・ラングミュアブロジェット(LB)法 | ・・ラミネート法 | ||||
EA21 | EA22 | EA23 | EA24 | EA26 | ||||||||
・層形成の後処理 | ・・加熱,乾燥 | ・・全面予備露光 | ・・余剰塗布物の除去 | ・層形成に用いた装置の洗浄 | ||||||||
FA | FA00 画像形成方法 |
FA01 | FA02 | FA03 | FA05 | FA06 | FA07 | FA09 | ||||
・多重の画像様露光 | ・・複数種の光源を用いるもの | ・液浸露光 | ・現像剤が有機溶剤のみであるもの | ・現像剤が有機溶剤と水との混合であるもの | ・現像剤が酸性又は中性の水溶液であるもの(FA06を優先) | ・機上現像 | ||||||
FA11 | FA12 | FA14 | FA15 | FA16 | FA18 | |||||||
・現像工程により発色又は変色するもの(FA12を優先) | ・マイクロカプセルを用いるもの | ・乾式現像(FA11,FA12を優先) | ・・粉体(トナー)現像 | ・・剥離現像 | ・複数回のパターニング | |||||||
FA21 | FA22 | FA23 | ||||||||||
・同一組成物をネガ型とポジ型の両用にするもの | ・・露光方法により変わるもの | ・・現像方法により変わるもの |