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HB:ハンドブック | ||||
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CC:コンコーダンス | |||||
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単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質への拡散またはドーブ工程；そのための装置［３，５］ | HB | CC | 4G077 | |
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・固相状態の拡散物質と接触させるもの［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・液相状態の拡散物質と接触させるもの［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・ガス状態の拡散物質と接触させるもの［２００６．０１］ | HB | CC | 4G077 | |
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・・拡散物質が被拡散元素の化合物であるもの［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・・反応室；そのための材料の選択［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・・反応室の加熱［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・・基板保持体またはサセプタ［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・・ガスの供給および排出手段；ガス流の調節［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・・制御または調整［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・電磁波照射または粒子線放射によるドービング［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・・イオン注入によるもの［３］ | HB | CC | 4G077 | |