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4G050,4G051,4G077統合(H10)
4G077 | 結晶、結晶のための後処理 | 無機化学 |
C30B1/00 -35/00 |
C30B1/00-35/00 | AA | AA00 目的・対象とする結晶の形態 |
AA01 | AA02 | AA03 | AA04 | AA07 | AA08 | AA10 | |||
・粒状 | ・バルク状(例、インゴット) | ・薄膜状 | ・フィラメント、繊維、ウイスカー状 | ・選択方向に配向した多結晶体 | ・通常よりも大きな結晶粒よりなる多結晶体 | ・その他 | ||||||
AB | AB00 結晶自体の特徴(クレーム) |
AB01 | AB02 | AB03 | AB04 | AB05 | AB06 | AB07 | AB08 | AB09 | AB10 | |
・不純物濃度、キャリア濃度、転位濃度の特定 | ・成長結晶の方位の特定 | ・物性値の特定 | ・・光学的物性値の特定 | ・・磁気的物性値の特定 | ・・電気的物性値の特定 | ・・格子定数値、面間隔の特定 | ・・X線、赤外線等のスペクトル値の特定 | ・結晶の直径、繊維長、繊維径の特定 | ・その他 | |||
BA | BA00 材料1(元素状、合金) |
BA01 | BA02 | BA03 | BA04 | BA05 | BA07 | BA08 | BA09 | BA10 | ||
・元素状* | ・・炭素 | ・・・ダイヤモンド(ダイヤモンド状炭素を含む) | ・・Si | ・・Ge | ・合金* | ・・Niを含む | ・・Feを含む | ・・Siを含む(Siとの二元合金→BE05) | ||||
BB | BB00 材料2(酸化物) |
BB01 | BB02 | BB03 | BB04 | BB05 | BB06 | BB07 | BB08 | BB09 | BB10 | |
・Alの | ・Mgの | ・Siの | ・Tiの | ・Feの | ・Teの | ・Znの | ・Vの | ・Snの | ・その他* | |||
BC | BC00 材料3(複合酸化物) |
BC01 | BC02 | BC03 | BC05 | BC06 | BC07 | BC08 | ||||
・Alを含む(他が優先)* | ・Biを含む(他が優先)* | ・・更にアルカリ土類金属またはPbを含む | ・フェライト | ・・Ba、Sr、またはPbを含む | ・・Znを含む | ・・・ZnとMnとを含む | ||||||
BC11 | BC12 | BC13 | BC15 | BC16 | BC17 | |||||||
・AMO3型(Aの一部または全部が希土類)* | ・・MがFe | ・・MがAl | ・AM2O4型(MがFe→BC05)* | ・・MgAl2O4(スピネル) | ・・BeAl2O4(クリソベリル) | |||||||
BC21 | BC22 | BC23 | BC24 | BC25 | BC27 | BC28 | ||||||
・A3M5O12(Aの一部、全部が希土類元素)* | ・・Feを含みGa、Alを含まない | ・・Gaを含みFe、Alを含まない | ・・Alを含みFe、Gaを含まない | ・・Fe、Ga、Alの2種以上を含む | ・・Biを含む(重複付与可) | ・・Gdを含む(重複付与可) | ||||||
BC31 | BC32 | BC33 | BC34 | BC36 | BC37 | BC38 | BC40 | |||||
・ニオブ酸塩* | ・・ニオブ酸リチウム | ・・アルカリ土類を含む | ・・Pbを含む | ・タンタル酸塩* | ・・タンタル酸リチウム(LiTaO3) | ・バナジン酸塩* | ・Nb、Ta、Vの複合酸塩 | |||||
BC41 | BC42 | BC43 | BC44 | BC45 | BC46 | BC47 | BC48 | BC50 | ||||
・チタン酸塩* | ・・アルカリ土類を含む | ・・Pbを含む | ・ゲルマニウム酸塩* | ・・Biを含む | ・モリブデン酸塩* | ・・Pbを含む | ・タングステン酸塩* | ・銅酸塩(―CuxOy)BC51が優先* | ||||
BC51 | BC52 | BC53 | BC54 | BC55 | BC56 | BC57 | BC58 | BC60 | ||||
・超電導酸化物* | ・・Cuを含む(BC57が優先) | ・・・RE―(Ca、Sr、Ba)―Cu―O | ・・・・更にPbを含む | ・・・・RE―Sr―Ca―Cu―O | ・・・Tl―(Ca、Sr、Ba)―Cu―O | ・・Biを含む* | ・・・Bi-(Ca、Sr、Ba)-Cu-O | ・その他 | ||||
BD | BD00 材料4(酸素酸塩) |
BD01 | BD02 | BD03 | BD04 | BD06 | BD07 | BD08 | BD09 | BD10 | ||
・りん酸塩* | ・・Alを含む | ・・Tiを含む | ・・希土類元素を含む | ・ほう酸塩* | ・・Liを含む | ・・アルカリ土類を含む | ・硫酸塩* | ・炭酸塩* | ||||
BD11 | BD12 | BD13 | BD14 | BD15 | BD16 | BD17 | BD20 | |||||
・けい酸塩* | ・・Biを含む | ・・・更にGeを含む | ・・アルカリ土類を含む | ・・希土類を含む | ・・Alを含む | ・・・更にBeを含む(ベリル、エメラルド) | ・その他 | |||||
BE | BE00 材料5(~化物) |
BE01 | BE02 | BE03 | BE04 | BE05 | BE06 | BE07 | BE08 | BE09 | ||
・ハロゲン化物* | ・・F* | ・・Cl* | ・・I* | ・けい化物* | ・ほう化物* | ・炭化物* | ・・SiC | ・・TiC | ||||
BE11 | BE12 | BE13 | BE14 | BE15 | BE16 | BE18 | BE19 | |||||
・窒化物* | ・・BN | ・・AlN | ・・Si3N4 | ・・GaN | ・・Li3N | ・炭窒化物* | ・酸窒化物、炭窒酸化物* | |||||
BE21 | BE22 | BE23 | BE25 | BE26 | BE28 | BE29 | BE30 | |||||
・S、Se、Te化物(BE28、31が優先)* | ・・S化物 | ・・・CuS | ・・Se化物* | ・・Te化物* | ・4―6化合物(4族元素はPb、Sn)* | ・・PbTe | ・・三元以上のもの* | |||||
BE31 | BE32 | BE33 | BE34 | BE35 | BE36 | BE37 | ||||||
・2―6化合物(BE21に優先)* | ・・S化物* | ・・・CdS | ・・Se化物* | ・・Te化物 | ・・2族元素(Zn、Cd、Hg)を2以上含む* | ・・6族元素(S、Se、Te)を2以上含む* | ||||||
BE41 | BE42 | BE43 | BE44 | BE45 | BE46 | BE47 | BE48 | BE50 | ||||
・3-5化合物(5族元素はP、As、Sb)* | ・・P化物* | ・・・GaP | ・・・InP | ・・As化物* | ・・・GaAs | ・・3族元素(Al、Ga、In)を2種以上含む* | ・・5族元素(P、As、Sb)を2種以上含む* | ・その他 | ||||
BF | BF00 材料6(有機物) |
BF01 | BF02 | BF03 | BF04 | BF05 | BF10 | |||||
・アニリンまたはその誘導体 | ・有機酸またはその誘導体 | ・・酒石酸、その誘導体 | ・高分子化合物 | ・・生体高分子(例、タンパク質) | ・その他 | |||||||
CA | CA00 固相成長 |
CA01 | CA02 | CA03 | CA04 | CA05 | CA06 | CA07 | CA08 | CA09 | CA10 | |
・反応を伴うもの | ・成長条件、その制御 | ・・熱処理による | ・・・加熱条件に特徴ある(例、多段階加熱) | ・・・温度勾配下 | ・・・ゾーン加熱下 | ・・雰囲気、圧力に特徴ある | ・・・雰囲気ガスの選定、雰囲気ガス圧制御 | ・種結晶、種基板と接合して成長を行うもの | ・その他 | |||
CB | CB00 液相成長1(常温で液体の溶媒を使用する) |
CB01 | CB02 | CB03 | CB04 | CB05 | CB06 | CB08 | CB10 | |||
・非水性溶媒を使用するもの | ・水性溶媒を使用するもの | ・・高温高圧下での(例、水熱法) | ・・・溶媒組成に特徴あるもの | ・・電気分解を利用するもの | ・溶媒の蒸発による成長 | ・基板上に溶液、懸濁液を供給するもの(例、塗布) | ・その他 | |||||
CC | CC00 液相成長2(溶融溶媒を使用するもの)CG優先 |
CC01 | CC02 | CC03 | CC04 | CC05 | CC06 | CC10 | ||||
・溶媒の選択 | ・・ハロゲン化物溶媒 | ・・酸化物溶媒 | ・・金属溶媒 | ・溶媒の蒸発による成長 | ・VLS法によるもの | ・その他 | ||||||
CD | CD00 液相成長3(融液の凝固によるもの) |
CD01 | CD02 | CD04 | CD05 | CD07 | CD08 | CD10 | ||||
・ブリッジマン法 | ・・縦型 | ・温度勾配凝固法による | ・溶質合成拡散法(SSD法) | ・ベルヌーイ法 | ・鋳型中での凝固 | ・その他 | ||||||
CE | CE00 液相成長4(ゾーンメルティング) |
CE01 | CE02 | CE03 | CE04 | CE05 | CE06 | CE10 | ||||
・溶媒を使用するもの | ・ルツボ、容器中で行うもの | ・フローティングゾーン法によるもの | ・溶融ゾーンの加熱法に特徴あるもの | ・・光による加熱(例、赤外線集中加熱) | ・基板上の膜にゾンメルを施すもの | ・その他 | ||||||
CF | CF00 液相成長5(融液からの引き出し) |
CF01 | CF02 | CF03 | CF04 | CF05 | CF06 | CF07 | CF08 | CF09 | CF10 | |
・引き出し方向に特徴ある | ・引き出す結晶の形状に特徴ある(円柱状を除く) | ・・リボン状 | ・・線状 | ・るつぼへの原料の供給、充填法に特徴ある | ・・成長中の原料供給手段に特徴ある | ・・・粉末状の原料の供給 | ・・・棒状原料による供給 | ・・・液状の原料の供給 | ・その他 | |||
CG | CG00 液相成長6(液相エピタキシャル) |
CG01 | CG02 | CG03 | CG05 | CG06 | CG07 | CG10 | ||||
・成長法の種類(特定のないものはここに付与) | ・・ディッピング法 | ・・傾斜法 | ・溶媒を用いるもの | ・・溶媒の組成、材料に特徴あるもの | ・・・溶媒が結晶成分の一成分であるもの | ・その他 | ||||||
DA | DA00 気相成長1(蒸着、昇華) |
DA01 | DA02 | DA03 | DA04 | DA05 | DA06 | DA07 | DA08 | DA09 | ||
・基板への薄膜の蒸着(封管使用は19にも付与) | ・・蒸発源を加熱蒸発させるもの(DA05が優先) | ・・・レーザ光によるもの | ・・・電子線によるもの | ・・分子線照射による成長 | ・・・線源部の特徴 | ・・・・分子線セルの形状、構造、配置 | ・・・・シャッターの形状、操作 | ・・・・ガス流を線源とするもの | ||||
DA11 | DA12 | DA13 | DA14 | DA15 | DA16 | DA17 | DA18 | DA19 | DA20 | |||
・・スパッタリングによるもの | ・・・放電、プラズマによるもの | ・・・ターゲットにイオンビームを照射するもの | ・・・ターゲット材の選択、調製 | ・・蒸発した蒸気をイオン化するもの | ・・各成分蒸気を基板に交互に供給するもの | ・非薄膜状結晶の成長(例、粒状) | ・・バルク結晶の成長(封管使用は19にも付与) | ・封管を使用するもの | ・その他 | |||
DB | DB00 気相成長2(CVD) |
DB01 | DB02 | DB03 | DB04 | DB05 | DB06 | DB07 | DB08 | DB09 | ||
・基板上に気相成長させるもの | ・・反応原料の選択 | ・・・一酸化炭素、二酸化炭素 | ・・・水素化物(ハロゲン含有はDB05優先) | ・・・ハロゲン化物 | ・・・有機化合物 | ・・・・炭化水素 | ・・・・有機金属化合物(MOCVD) | ・・・・有機珪素化合物 | ||||
DB11 | DB12 | DB13 | DB15 | DB16 | DB17 | DB18 | DB19 | DB20 | ||||
・原料ガスの供給、排出、処理 | ・・成長中にガスの供給量、組成比を変化させるもの | ・・・各成分ガスを交互に供給するもの | ・反応ガスの加熱、熱分解、活性化手段 | ・・プラズマによる | ・・・直流放電プラズマ | ・・・高周波プラズマ | ・・・マイクロ波プラズマ | ・・・サイクロトロン共鳴プラズマ | ||||
DB21 | DB22 | DB23 | DB24 | DB25 | DB26 | DB28 | DB29 | DB30 | ||||
・・加熱体(例、熱フィラメント)による | ・・・電場加速熱電子照射による(24に優先) | ・・燃焼炎による | ・・エネルギー線照射による(22が優先) | ・・・光照射 | ・・・イオンビーム照射による | ・基板上に成長させないもの | ・封管を使用するもの | ・その他 | ||||
EA | EA00 結晶成長共通1(成長条件の制御)固相成長を除く |
EA01 | EA02 | EA03 | EA04 | EA05 | EA06 | EA07 | EA08 | EA10 | ||
・温度条件の(例、融液温度) | ・・基板、反応ゾーンの | ・圧力条件の | ・・雰囲気圧力、雰囲気ガス圧の制御 EA08優先 | ・・・減圧雰囲気 | ・雰囲気ガス、キャリアーガスの選択、制御 | ・・酸素ガスを雰囲気ガスとするもの | ・・揮発性成分の蒸気供給、蒸気圧制御 | ・その他 | ||||
EB | EB00 結晶成長共通2(不純物のドーピング) |
EB01 | EB02 | EB03 | EB04 | EB05 | EB06 | EB10 | ||||
・不純物の選択、特定◎ | ・不純物の粒子線を照射してドープするもの | ・成長中に不純物を添加するもの(気相成長を除く) | ・・ガス状ドープ剤の使用(気相成長を除く) | ・原料中の不純物を分散させておくもの | ・不可避不純物の制御 | ・その他 | ||||||
EC | EC00 結晶成長共通3(原料の調製、原料組成) |
EC01 | EC02 | EC03 | EC04 | EC05 | EC07 | EC08 | EC09 | EC10 | ||
・原料の調製 | ・・原料粉末、原料塊の調製、合成 | ・・・気相反応による合成 | ・・・液相反応による合成 | ・・原料成形体の調製(例、原料棒の焼結) | ・原料組成の調製 | ・・融液組成の | ・・原料ガス、供給ガス組成の(例、混合比) | ・・原料、原料組成物中の不純物濃度の特定、調製 | ||||
ED | ED00 結晶成長共通4(種結晶、基板) |
ED01 | ED02 | ED04 | ED05 | ED06 | ||||||
・種結晶に特徴あるもの | ・・種結晶の結晶方位の特定 | ・基板に特徴ある(例、形状、構造) | ・・基板結晶の結晶方位の特定 | ・・基板材料の選択○ | ||||||||
EE | EE00 結晶成長共通5(成長前の基板の処理、保護) |
EE01 | EE02 | EE03 | EE04 | EE05 | EE06 | EE07 | EE08 | EE09 | EE10 | |
・基板の表面処理(EF02が優先) | ・・清浄化、エッチング | ・・・ガスによる | ・・・液体による | ・・結晶核の形成 | ・・被膜の形成(例、保護膜)EF02が優先 | ・・・マスキング | ・・基板へのドーピング | ・基板の保護のための操作(EE01が優先) | ・その他 | |||
EF | EF00 結晶成長共通6(基板への多層成長) |
EF01 | EF02 | EF03 | EF04 | EF05 | ||||||
・基板に膜を多層に形成するもの | ・・バッファ層の形成(格子整合のための)● | ・・・バッファ層が成長結晶の成分元素を含む● | ・・2種以上の膜を交互に多数層積層するもの | ・・・超格子 | ||||||||
EG | EG00 結晶成長共通7(装置、治具) |
EG01 | EG02 | EG03 | EG04 | EG05 | EG06 | EG07 | EG08 | EG09 | EG10 | |
・融液支持、収容手段(例、ルツボ)EG05が優先 | ・・材質的特徴、多層または被覆構造のもの | ・基板支持手段、EG05が優先 | ・・材質的特徴、多層または被覆構造のもの | ・液相エピタキシャルのための融液、基板支持体 | ・・多層成長のためのもの | ・・融液の基板表面への供給、排出 | ・・・残留液除去のための構成 | ・・・融液を液溜と基板との間に循環させるもの | ・・・基板、融液溜をスライドさせるための構成 | |||
EG11 | EG12 | EG13 | EG14 | EG15 | EG16 | EG17 | EG18 | EG19 | EG20 | |||
・種結晶の保持、固定手段 | ・種結晶の引き上げ(下げ)、回転手段 | ・基板、支持体の移送、搬入、搬出のための構成 | ・基板、支持体の成長中の運動(回転、振動) | ・加熱、冷却、保温装置 | ・・基板、基板支持体のための | ・・・基板の冷却のための | ・・容器、るつぼ、ボートのための | ・・保温のための(例、保温板、熱反射・輻射板) | ・・成長結晶のための | |||
EG21 | EG22 | EG23 | EG24 | EG25 | EG26 | EG27 | EG28 | EG29 | EG30 | |||
・ガスの供給、排出、処理のための装置の構成 | ・・ガスの供給のための | ・・・ノズル | ・・・ガス流れの制御のための(例、邪魔板) | ・成長室、炉を構成する部材の形状、構造、材料 | ・成長室に付属する室の構成(例、基板前処理室) | ・炉、成長室、成長結晶の取扱いのための装置 | ・・保守点検(例、洗浄、分解) | ・連続成長(製造)のための装置の構成 | ・その他 | |||
EH | EH00 結晶成長共通8(検知、制御) |
EH01 | EH02 | EH03 | EH04 | EH05 | EH06 | EH07 | EH08 | EH09 | EH10 | |
・成長膜厚の検知、制御 | ・蒸発源からの蒸発量、分子線量の検知、制御 | ・・シャッター、マスクの使用 | ・結晶の直径の検知、制御 | ・ドープ量の検知、制御 | ・制御の方法 | ・・融液の温度、温度分布の制御 | ・・るつぼ、種結晶の回転数制御 | ・・引き上げ速度、成長速度の制御 | ・その他 | |||
EJ | EJ00 結晶成長共通9(特定の成長環境の付加) |
EJ01 | EJ02 | EJ03 | EJ04 | EJ05 | EJ06 | EJ07 | EJ08 | EJ09 | EJ10 | |
・電場 | ・磁場 | ・エネルギー線の照射 | ・・光 | ・振動を付加するもの | ・結晶材料を浮遊させるもの(例、無重力下) | ・封止剤(蒸発防止等のためのシール剤)の使用 | ・・封止剤の選択 | ・成長、反応促進剤(例、触媒)の添加 | ・その他 | |||
FA | FA00 後処理1(拡散源、その配置) |
FA01 | FA02 | FA03 | FA04 | FA05 | FA06 | FA07 | FA08 | FA09 | FA10 | |
・拡散源の組成、形状に特徴ある | ・・液体状、懸濁状の拡散源、その組成 | ・・固体状、その組成 | ・・・成形体、板状体、焼結体、その組成 | ・・・・基体上に拡散源を付着させたもの | ・固体拡散源と基板を接触させる(FB01を優先) | ・・固体拡散源の粉末中に基板を埋めるもの | ・液体拡散源と基板とを接触させるもの | ・板状固体拡散源と基板とを並列に配置するもの | ・その他 | |||
FB | FB00 後処理2(後処理のための基板表面の前処理) |
FB01 | FB02 | FB03 | FB04 | FB05 | FB06 | FB07 | FB10 | |||
・基板表面への拡散物質層の形成(FC04が優先) | ・・液体、懸濁液の塗布 | ・・不純物をドープした層を形成するもの | ・・拡散物質の層を局所的に形成するもの | ・清浄化、エッチング、研磨(FGの付与検討) | ・基板表面への膜の形成(FC04が優先) | ・・局所的ドーピングのためのマスク形成 | ・その他 | |||||
FC | FC00 後処理3(気相からのドーピング) |
FC01 | FC03 | FC04 | FC05 | FC06 | FC07 | FC10 | ||||
・封管中で行うもの | ・封管を使用しないもの | ・・基板表面への拡散源のデポジット工程を含むもの | ・・雰囲気、ガス流の調整、制御 | ・・・ドープガスの供給、排出、処理 | ・・・ドープガスの濃度、ドープ量の検知、制御 | ・その他 | ||||||
FD | FD00 後処理4(電磁波、粒子線照射によるドーピング) |
FD01 | FD02 | FD03 | FD04 | FD05 | FD06 | FD10 | ||||
・中性子照射による | ・イオン注入による | ・・イオン注入方法、イオン発生、加速装置 | ・・・局所的に注入するもの | ・・・注入量の検知、制御 | ・・・注入角度の選択、制御 | ・その他 | ||||||
FE | FE00 後処理5(加熱、冷却処理) |
FE01 | FE02 | FE03 | FE04 | FE05 | FE06 | FE07 | FE08 | FE09 | FE10 | |
・封管中での | ・雰囲気に特徴のあるもの(例、圧力、雰囲気ガス) | ・・酸素を含有する | ・・・基板表面に酸化膜を形成するもの | ・・還元雰囲気 | ・・結晶を構成する成分の蒸気を含有する | ・基板を他の材料で被覆して熱処理を行うもの | ・・粉末中に埋設して行うもの | ・基板を液体に浸漬して行う(例;Ga融液での) | ・圧力、応力を付加しつつ行うもの(例、熱間加圧) | |||
FE11 | FE12 | FE13 | FE14 | FE15 | FE16 | FE17 | FE18 | FE19 | FE20 | |||
・加熱、冷却条件 | ・・多段階加熱 | ・・冷却速度、冷却時間 | ・加熱手段に特徴あるもの | ・・エネルギー線照射による | ・・・光照射 | ・インゴット状態の結晶の加熱冷却処理 | ・・結晶成長後、その場で行うもの | ・基板上の膜の結晶化、単結晶化のためのもの | ・その他 | |||
FF | FF00 後処理6(結晶の接合) |
FF01 | FF02 | FF03 | FF06 | FF07 | FF10 | |||||
・接合剤を使用するもの | ・・金属、合金を接合剤とする | ・・ガラスを接合剤とする | ・接合剤を使用しない | ・・加熱および、または加圧のみによる | ・その他 | |||||||
FG | FG00 後処理7(エッチング、機械加工) |
FG01 | FG02 | FG03 | FG04 | FG05 | FG06 | FG07 | FG08 | FG09 | ||
・気相でのエッチング | ・・イオン照射、プラズマ、放電、スパッタによる | ・・化学エッチングによる(光照射FHにも付与) | ・・エッチングガスの基板面への供給排出、処理 | ・液相でのエッチング | ・・エッチング液の組成 | ・・・砥粒をさらに含むもの | ・・電界を付与する(例、電解エッチング) | ・・エッチング液の基板面への供給排出、処理 | ||||
FG11 | FG12 | FG13 | FG14 | FG16 | FG17 | FG18 | FG20 | |||||
・機械的な粗面化、研削、研磨、切断 | ・・研削剤、研磨剤、切削剤 | ・・切断方法、切り出し方法 | ・・・へき開による | ・加工の際の結晶面方位、角度の設定、制御 | ・エッチング量、加工量の制御 | ・局部的にエッチング、研削、研磨するもの | ・その他 | |||||
FH | FH00 後処理8(電場、磁場、エネルギー線の利用) |
FH01 | FH02 | FH03 | FH04 | FH05 | FH06 | FH07 | FH08 | FH09 | FH10 | |
・電界中での、電圧印加下での(FH09が優先) | ・・誘電材料の単一分域化のための | ・・・電極と結晶との間の充填材に特徴のあるもの | ・磁界中での、磁場印加下での | ・エネルギー線の照射 | ・・中性子線 | ・・電子線 | ・・光 | ・放電、プラズマによる | ・その他 | |||
FJ | FJ00 後処理9(その他) |
FJ01 | FJ02 | FJ03 | FJ04 | FJ05 | FJ06 | FJ07 | FJ08 | FJ10 | ||
・結晶表面の清浄化、結晶の精製 | ・機械的応力を加えるもの(熱間→FE10) | ・成長基板と成長結晶薄膜との分離(例、溶解除法) | ・成長基板、基材からの成長繊維、ウィスカの分離 | ・ウィスカー、繊維の塊状物の解砕、分級 | ・成長結晶表面への被膜の形成 | ・・金属被膜 | ・成長後の結晶の取扱い(例、移送) | ・その他 | ||||
FK | FK00 後処理10(装置、治具の特徴) |
FK01 | FK02 | FK03 | FK04 | FK05 | FK06 | FK07 | FK08 | |||
・反応管、均熱管、封管の形状、構造 | ・基板支持体の形状、構造 | ・・基板面をガス流と平行にするもの | ・・基板面をガス流と直角にするもの | ・雰囲気、気流の流れの調整のための治具 | ・・疑似ウエハー、ダミー基板の使用 | ・加熱、冷却のための装置、治具 | ・・基板の加熱、冷却 | |||||
FK11 | FK12 | FK13 | FK14 | FK15 | FK16 | FK18 | FK20 | |||||
・基板の搬入、搬出のための装置、治具の構成 | ・基板の連続処理のための装置的構成 | ・気流の供給、排出のための装置的構成 | ・・給供、排出ノズル | ・・気化器 | ・基板を処理中に運動させるための構成(例、回転) | ・装置、治具類の材質に特徴あるもの | ・その他 | |||||
GA | GA00 結晶の物理的、化学的性質等の評価、決定 |
GA01 | GA02 | GA03 | GA05 | GA06 | GA07 | GA08 | GA10 | |||
・不純物濃度、濃度分布の | ・転位濃度の | ・結晶方位の | ・評価、決定の手法 | ・・光学的 | ・・電気的 | ・・磁気的 | ・その他 | |||||
HA | HA00 用途 |
HA01 | HA02 | HA03 | HA04 | HA05 | HA06 | HA07 | HA08 | HA09 | HA10 | |
・光学材料 | ・・発光材料(例、レーザー素子) | ・磁性材料 | ・音響材料(例、マイクロ波用素子、振動板) | ・電気材料 | ・・半導体素子 | ・・イオン導電材 | ・・超電導材料 | ・・・線材、コイル材 | ・・・ジョセフソン素子 | |||
HA11 | HA12 | HA13 | HA14 | HA15 | HA20 | |||||||
・圧電材料、誘電材料 | ・基板材料(例、半導体、磁性材料、超電導体用) | ・工具材料、耐摩、研磨剤 | ・放熱材料、ヒートシンク | ・電子放出材 | ・その他 | |||||||
C30B1/00-1/12 | JA | JA00 固相からの直接単結晶成長 |
JA01 | JA02 | JA03 | JA05 | JA06 | JA08 | ||||
・成長前の物質の材質・形状 | ・・成長前の単結晶(例、種を用いる)* | ・・・基板を用いる* | ・・成長前の多結晶* | ・・・多結晶体の形成 | ・・成長前の単結晶と多結晶との接合 | |||||||
JB | JB00 単結晶成長プロセス・装置 |
JB01 | JB02 | JB04 | JB06 | JB07 | JB08 | JB09 | ||||
・成長プロセス・装置 | ・・雰囲気ガス* | ・・圧力処理(1/12) | ・・再結晶時の加熱条件(例、多段階加熱) | ・・・等温下(1/04) | ・・・温度勾配下(1/06) | ・・・ゾ-ン加熱下(1/08) | ||||||
JB12 | ||||||||||||
・・固相反応または多相拡散(1/10) | ||||||||||||
C30B7/10 | KA | KA00 圧力を加えるもの 例、水熱法 |
KA01 | KA03 | KA05 | KA06 | KA07 | KA09 | ||||
・原料* | ・溶媒* | ・種結晶* | ・・予備処理* | ・・結晶方位 | ・成長条件(温度、圧力等) | |||||||
KA11 | KA12 | KA13 | KA15 | |||||||||
・装置(例、形状、構造) | ・・材質* | ・・種結晶の保持具 | ・その他 | |||||||||
C30B9/12 | LA | LA00 塩溶媒を用いるもの 例、フラックス成長 |
LA01 | LA03 | LA05 | |||||||
・フラックス* | ・装置(構造、形状、材質等) | ・成長条件 | ||||||||||
C30B11/00@C | MA | MA00 るつぼ、容器またはその支持体 |
MA01 | MA02 | MA04 | MA05 | ||||||
・るつぼまたは容器(例、形状、構造) | ・・材質* | ・るつぼまたは容器の支持体(例、形状、構造) | ・・材質* | |||||||||
C30B11/00;11/00@Z;11/04;11/06 | MB | MB00 ノ-マルフリ-ジングまたは温度勾配凝固 |
MB01 | MB02 | MB03 | MB04 | MB06 | MB07 | MB08 | |||
・成長方法 | ・・ブリッジマン法 | ・・・横型 | ・・・縦型 | ・・温度勾配凝固法 | ・・・横型 | ・・・縦型 | ||||||
MB12 | MB14 | |||||||||||
・・溶質合成拡散法(SSD法) | ・・その他(ノ-マルフリ-ジング等) | |||||||||||
MB21 | MB22 | MB23 | MB24 | MB26 | ||||||||
・成長装置 | ・・加熱手段(炉の構造等) | ・・・複数の加熱手段(例、補助加熱) | ・・・保温材 | ・・冷却手段(冷却部材) | ||||||||
MB31 | MB32 | MB33 | MB35 | MB36 | ||||||||
・成長条件 | ・・制御・調整 | ・・・温度の制御 | ・・・雰囲気* | ・・・揮発成分の蒸気圧 | ||||||||
C30B13/00 | NA | NA00 ゾ-ンメルティングによる単結晶成長、精製 |
NA01 | NA03 | NA05 | |||||||
・雰囲気* | ・アフタ-ヒ-タ- | ・その他 | ||||||||||
C30B13/02 | NB | NB00 溶媒を用いるもの |
NB01 | NB03 | ||||||||
・溶媒* | ・その他(プロセス、装置等) | |||||||||||
C30B13/14 | NC | NC00 るつぼ、容器またはその支持体 |
NC01 | NC02 | NC03 | NC05 | ||||||
・るつぼまたは容器(例、形状) | ・・多層構造、被覆 | ・・材質* | ・るつぼまたは容器の支持体* | |||||||||
C30B13/20 | ND | ND00 誘導による溶融ゾ-ンの加熱 |
ND01 | ND02 | ND03 | ND05 | ND07 | |||||
・単一の誘導コイル(例、形状) | ・・配置 | ・・構造 | ・複数の誘導コイルを用いるもの | ・電力供給 | ||||||||
C30B13/24 | NE | NE00 電磁波による加熱(集光加熱等) |
NE01 | NE03 | NE04 | NE05 | NE06 | NE07 | NE09 | |||
・電磁波発生源 | ・回転楕円鏡を利用するもの | ・・形状、構造 | ・・複数の回転楕円鏡 | ・・回転楕円鏡と他の部分との接続 | ・・付属装置 | ・その他 | ||||||
C30B13/28 | NF | NF00 制御または調整 |
NF01 | NF02 | NF03 | NF05 | NF07 | NF08 | NF09 | |||
・直径制御 | ・・検出方法 | ・・・光学的検出 | ・・制御動作 | ・・制御量、出力信号 | ・・・加熱量 | ・・・移動速度 | ||||||
NF11 | ||||||||||||
・その他 | ||||||||||||
C30B13/32 | NG | NG00 材料またはヒ-タ-の移動機構、保持具 |
NG01 | NG03 | NG05 | |||||||
・材料またはヒ-タ-の移動、回転機構 | ・材料・結晶の保持具または保持機構 | ・その他 | ||||||||||
C30B15/00;15/00@Z;27/02 | PA | PA00 融液からの引出し(保護流体下も含む) |
PA01 | PA03 | PA04 | PA06 | PA08 | PA10 | ||||
・ネッキング | ・雰囲気ガス(例、種類)* | ・・ガス流の調整 | ・融液または結晶中の酸素濃度の制御 | ・融液を攪拌(強制対流)するための手段 | ・引上げた結晶の冷却 | |||||||
PA11 | PA13 | PA14 | PA16 | |||||||||
・残留物の除去 | ・封止剤(カプセル剤) | ・・B203を主成分 | ・その他 | |||||||||
C30B15/02;15/04;27/02 | PB | PB00 結晶化物質(原料)、反応剤の充填、添加 |
PB01 | PB02 | PB04 | PB05 | PB07 | PB08 | PB09 | PB10 | ||
・充填または添加時期(例、結晶成長前) | ・・結晶成長中 | ・充填はたは添加物の材質(例、不純物を含まず)* | ・・不純物を含む* | ・充填または添加物の状態(例、気体) | ・・液体 | ・・固体 | ・・・被覆体 | |||||
PB11 | PB13 | PB14 | PB16 | |||||||||
・装置 | ・充填または添加プロセス | ・・添加量の調整・制御 | ・その他 | |||||||||
C30B15/06;15/08;27/02 | PC | PC00 引出し方向に特徴 |
PC01 | PC02 | ||||||||
・非垂直引出し | ・下方引出し | |||||||||||
C30B15/10;15/12;27/02 | PD | PD00 融液を入れるるつぼ、容器またはその支持体 |
PD01 | PD02 | PD03 | PD05 | PD06 | PD08 | ||||
・るつぼまたは容器(例、材質)* | ・・形状、構造 | ・・・原料追加のための副るつぼ、しきり部をもつもの | ・・・多層構造、被覆 | ・・・・封止剤が容器の一部をなすもの | ・・・二重るつぼ | |||||||
PD11 | PD12 | PD15 | PD16 | |||||||||
・るつぼ、容器を支持する部材(例、材質)* | ・・形状、構造 | ・・・多層構造、被覆 | ・・・複数の部材を組合せるもの | |||||||||
C30B15/14-15/18;27/02 | PE | PE00 融液、封止剤または結晶化した物質の加熱 |
PE01 | PE02 | PE03 | PE04 | PE05 | PE07 | PE08 | |||
・融液または封止剤の加熱 | ・・加熱体の種類 | ・・・抵抗加熱 | ・・・高周波加熱 | ・・・照射または電気放電(15/16) | ・・複数の加熱手段(部材)からなるもの | ・・・直接抵抗加熱に加えて他の加熱方法 | ||||||
PE12 | PE14 | PE16 | ||||||||||
・・加熱体の形状、構造、配置 | ・・加熱体の材質* | ・・加熱体と融液間の熱伝導の調整 | ||||||||||
PE21 | PE22 | PE24 | PE27 | |||||||||
・結晶化した物質の加熱(アフタ-ヒ-タ等) | ・・加熱体、保温体の形状、構造、配置 | ・・加熱体、保温体の材質* | ・その他(加熱のために付随する機構) | |||||||||
C30B15/20-15/28;27/02 | PF | PF00 制御または調整 |
PF01 | PF02 | PF03 | PF04 | PF05 | PF07 | PF08 | PF09 | ||
・溶融ゾ-ンの安定化、結晶断面の制御 | ・・テレビ、光、X線を用いる(例、窓) | ・・・検出方法、手段 | ・・・・光を検出 | ・・・・X線を検出 | ・・・検出対象 | ・・・・結晶 | ・・・・融液表面 | |||||
PF13 | PF15 | PF16 | PF17 | |||||||||
・・・制御動作 | ・・・制御量、出力信号 | ・・・・融液温度、封止剤温度 | ・・・・引上げ速度(るつぼの移動も含む) | |||||||||
PF22 | PF23 | PF24 | PF25 | PF27 | PF28 | PF29 | ||||||
・・結晶または融液の重量変化を用いる | ・・・検出方法(重量測定) | ・・・・引上げ結晶 | ・・・・るつぼ内融液(封止剤も含む) | ・・・制御動作 | ・・・・重量をそのまま設定値と比較 | ・・・・重量を直径に換算して設定値と比較 | ||||||
PF33 | PF34 | PF35 | PF37 | |||||||||
・・・制御量、出力信号 | ・・・・融液温度、封止剤温度 | ・・・・引上げ速度(るつぼの移動も含む) | ・・・フロ-トを利用するもの | |||||||||
PF42 | PF43 | PF45 | PF47 | |||||||||
・・融液または封止剤中の対流の抑制 | ・・・ジャマ板の使用 | ・・融液、封止剤またはその表面の冷却 | ・・成形ガイド(15/24) | |||||||||
PF51 | PF52 | PF53 | PF55 | |||||||||
・その他 | ・・検出方法 | ・・・測温 | ・・制御動作 | |||||||||
C30B15/30;27/02 | PG | PG00 融液、封止剤、結晶の回転、移動機構 |
PG01 | PG03 | ||||||||
・結晶の回転または移動 | ・融液、封止剤の回転または移動 | |||||||||||
C30B15/32;27/02 | PH | PH00 種結晶保持器 |
PH01 | PH03 | ||||||||
・種結晶保持部の構造 | ・その他 | |||||||||||
C30B15/36;27/02 | PJ | PJ00 種結晶 |
PJ01 | PJ02 | PJ04 | |||||||
・種結晶(例、材質)* | ・・結晶方位 | ・・結晶の形状 | ||||||||||
C30B15/34;27/02 | PK | PK00 縁部限定薄膜結晶成長 |
PK01 | PK03 | PK04 | PK05 | PK06 | PK07 | PK08 | |||
・引上げ機構、その他 | ・縁部限定機構(例、幅方向限定) | ・・ダイの使用(例、ダイの加熱) | ・・・ダイの形状、構造 | ・・・・被覆、他のものとの接合 | ・・・材質* | ・・・ダイの支持 | ||||||
C30B19/00-19/12 | QA | QA00 液相エピタキシャル成長 |
QA01 | QA02 | QA04 | QA06 | ||||||
・液相エピタキシャル法の種別 | ・・スライドボ-ト法 | ・・ディッピング法 | ・・傾斜法 | |||||||||
QA11 | QA12 | |||||||||||
・溶媒を用いる(19/02;19/04) | ・・溶媒に特徴* | |||||||||||
QA21 | QA22 | QA23 | QA24 | QA26 | QA27 | QA28 | QA29 | |||||
・成長プロセス | ・・成長前の基板の取扱い | ・・・基板保持雰囲気の調整 | ・・・基板をメルトバックさせる工程 | ・・融液組成の調整 | ・・・不純物を添加するもの | ・・・不純物を除去するもの | ・・・融液濃度の均一化(例、攪拌) | |||||
QA32 | QA34 | QA36 | QA38 | |||||||||
・・ダミ-基板を用いるもの | ・・成長時の雰囲気の調整 | ・・成長時に結晶組成を変化 | ・・温度条件の調整、制御(加熱、冷却) | |||||||||
QA42 | QA43 | QA45 | ||||||||||
・・膜厚の調整、制御 | ・・・基板上にマスクを用いるもの | ・・成長結晶表面を洗浄するもの | ||||||||||
QA51 | QA52 | QA54 | QA56 | QA58 | ||||||||
・装置 | ・・反応室、融液支持具、基板保持体の材質* | ・・基板の保持(回転、移動を含む)手段 | ・・反応室または基板の加熱手段 | ・・成長室へ融液を供給、排出する手段 | ||||||||
QA62 | QA64 | QA66 | QA68 | QA70 | ||||||||
・・融液支持手段(ボ-ト等)の構造 | ・・基板と接触する融液表面の清浄化手段 | ・・基板または融液のスライド(移動)手段 | ・・上下方向に多段に基板および融液を保持 | ・・残留融液の除去手段 | ||||||||
QA71 | QA72 | QA73 | QA74 | QA75 | QA77 | QA79 | ||||||
・基板(例、材質)(19/12)* | ・・前処理された基板 | ・・・化学的処理(例、エッチング) | ・・・・被覆 | ・・・・ド-ピング | ・・・機械的処理(例、基板の形状) | ・・基板の結晶方位 | ||||||
QA81 | ||||||||||||
・その他 | ||||||||||||
C30B1/00-27/02 | RA | RA00 特殊な物理的条件下での単結晶成長 |
RA01 | RA03 | RA05 | RA07 | RA09 | |||||
・電場(電気分解等) | ・磁場 | ・機械的振動 | ・無重力または低重力の条件下 | ・その他 | ||||||||
C30B23/00;23/02 | SA | SA00 PVD |
SA01 | SA02 | SA03 | SA04 | SA06 | SA07 | SA08 | |||
・成長結晶の形状(例、塊状) | ・・粉末、粒子、ウィスカ- | ・・棒上に成長(例、棒状、膜状) | ・・基板上に成長 | ・成長工程 | ・・成長条件の特定(例、温度、圧力) | ・・制御 | ||||||
SA11 | SA12 | |||||||||||
・成長装置 | ・・基体保持具、サセプタ | |||||||||||
C30B23/08;23/08@Z | SB | SB00 イオン化蒸気の凝縮 |
SB01 | SB02 | SB03 | SB05 | SB06 | SB07 | SB09 | SB10 | ||
・スパッタリング | ・・イオンビ-ムスパッタリング | ・・タ-ゲットを特定したもの | ・イオンプレ-ティング | ・・イオンビ-ム蒸着 | ・・クラスタイオンビ-ム蒸着 | ・粒子線エピタキシャル成長法 | ・その他 | |||||
C30B23/08@M | SC | SC00 分子線エピタキシャル法 |
SC01 | SC02 | SC03 | SC05 | SC06 | SC08 | SC10 | |||
・成長工程 | ・・成長条件(例、特定の成長条件下) | ・・・成長条件を変化させるもの | ・・制御 | ・・・分子ビ-ム量の制御 | ・・基板表面の清浄化(例、エッチング) | ・・マスクを用いるもの | ||||||
SC11 | SC12 | SC13 | SC14 | |||||||||
・成長装置 | ・・分子線源 | ・・シャッタ-を用いるもの | ・・基板の加熱機構 | |||||||||
C30B25/00 | TA | TA00 CVD |
TA01 | TA02 | TA03 | TA04 | TA06 | TA07 | TA08 | |||
・成長結晶の形状(例、塊状) | ・・粉末、粒子、ウイスカー | ・・棒上に成長(例、棒状、膜状) | ・・基板上に成長 | ・成長工程 | ・・成長条件の特定(例、温度、圧力) | ・・制御 | ||||||
TA11 | TA12 | |||||||||||
・成長装置 | ・・基体保持具、サセプタ | |||||||||||
C30B25/02;25/02@Z | TB | TB00 エピタキシャル成長法、装置 |
TB01 | TB02 | TB03 | TB04 | TB05 | TB07 | TB08 | |||
・成長方法、装置 | ・・水素化物法 | ・・ハロゲン化物法 | ・・・塩素化物法 | ・・有機金属気相成長法 | ・・熱以外のエネルギ-源を用いるもの | ・・・光エネルギ-を用いるもの | ||||||
TB12 | TB13 | |||||||||||
・・閉管(封管)法 | ・・開管法 | |||||||||||
TC | TC00 製造工程 |
TC01 | TC02 | TC03 | TC04 | TC05 | TC06 | TC07 | TC08 | TC09 | TC10 | |
・原料ガス、媒体、雰囲気 | ・・不純物を含む原料ガス | ・・雰囲気 | ・・媒体 | ・成長(反応)条件の特定 | ・・基板温度 | ・・原料ガス発生部の温度 | ・・圧力 | ・・ガス流速 | ・・成長速度 | |||
TC11 | TC12 | TC13 | TC14 | TC15 | TC16 | TC17 | TC19 | |||||
・複数の工程からなるもの | ・・複数の成長工程 | ・・・二層 | ・・・三層以上 | ・・・基板の移動をともなう | ・・成長工程以外を含むもの | ・・・エッチング工程を含むもの | ・半導体素子に関するもの( | |||||
C30B25/08 | TD | TD00 反応室 |
TD01 | TD02 | TD03 | TD04 | TD05 | TD06 | TD07 | TD08 | TD09 | |
・材質 | ・形状(外形)、構造 | ・・被覆されているもの | ・・多重構造(例、二重構造) | ・・・保護管を用いるもの(例、ライナー管) | ・・原料供給部の形状 | ・・複数個の反応室からなるもの | ・・細部(例、接続機構) | ・予備室を有するもの | ||||
C30B25/10 | TE | TE00 反応室または基板の加熱 |
TE01 | TE02 | TE03 | TE05 | TE07 | TE08 | TE10 | |||
・加熱方法 | ・・高周波加熱 | ・・抵抗加熱 | ・加熱体の形状、構造、配置 | ・中間加熱体(例、材質) | ・・形状、構造、配置 | ・炉内に複数の温度領域を形成するもの | ||||||
C30B25/12 | TF | TF00 基板保持体またはサセプタ |
TF01 | TF02 | TF03 | TF04 | TF05 | TF06 | ||||
・材質 | ・形状、構造 | ・・被覆体 | ・・基板保持機構 | ・配置 | ・基板の移動、回転機構 | |||||||
C30B25/14 | TG | TG00 基板とガス流との関係 |
TG01 | TG02 | TG03 | TG04 | TG06 | TG07 | ||||
・基板の配置とガス流の方向 | ・・横型(例、基板に垂直なガス流) | ・・・基板に平行なガス流 | ・・・・水平基板 | ・・縦型(例、水平基板に垂直なガス流) | ・・・水平基板に平行なガス流 | |||||||
TG12 | TG13 | TG14 | TG15 | |||||||||
・・シリンダ型(例、炉壁側から基板に垂直)(図面) | ・・・炉壁側で基板に平行なガス流 | ・・・炉の中心側から基板に垂直なガス流 | ・・・炉の中心側で基板に平行なガス流 | |||||||||
TH | TH00 ガスの供給・排出手段;反応ガス流の調節 |
TH01 | TH02 | TH03 | TH05 | TH06 | TH07 | TH08 | TH09 | TH10 | ||
・原料ガス発生部 | ・・バブラ-、気化器 | ・・・ガス噴出口にガス発生部があるもの | ・ガスの流し方 | ・・供給、排出装置 | ・・原料ガスの流れ方向を変えるもの(例、流れ方向の反転) | ・・・噴出口が可動なもの | ・・ガスの撹拌 | ・・均一流を得るための反応室の形状、構造 | ||||
TH11 | TH13 | |||||||||||
・ガス吹出部(噴出口) | ・その他 | |||||||||||
C30B25/16 | TJ | TJ00 制御または調節 |
TJ01 | TJ02 | TJ03 | TJ04 | TJ05 | TJ06 | TJ07 | |||
・成長条件の制御 | ・・成長速度の制御(膜厚制御) | ・・温度制御 | ・・圧力制御 | ・・組成制御(原料蒸発量制御) | ・・・不純物濃度の制御 | ・・ダミ-基板を用いた制御 | ||||||
TJ11 | TJ12 | TJ13 | TJ14 | TJ15 | TJ16 | TJ18 | ||||||
・成長条件の測定、観察 | ・・膜厚測定 | ・・温度測定 | ・・圧力測定 | ・・ガス組成測定 | ・・成長中の結晶の観察 | ・その他(例、安全装置) | ||||||
C30B25/18-25/22 | TK | TK00 基板 |
TK01 | TK02 | TK04 | TK06 | TK08 | TK10 | ||||
・材質 | ・・不純物を含むもの | ・形状(例、凹凸、面取り、粗面) | ・結晶方位 | ・表面層を有するもの | ・基板表面の清浄化(例、エッチング) | |||||||
TK11 | TK13 | |||||||||||
・除去可能な基板 | ・その他 | |||||||||||
UA | UA00 特殊な物理的条件下での単結晶成長 |
UA01 | UA03 | UA05 | UA07 | UA09 | ||||||
・電場(電気分解等) | ・磁場 | ・機械的振動 | ・無重力または低重力の条件下 | ・その他 |