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HB:ハンドブック | ||||
CC:コンコーダンス |
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材料または形状によって特徴づけられた単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質[3,5] | HB | CC | 4G077 | |
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・元素[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・ダイヤモンド[3] | HB | CC | 4G077 | |
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気相法によるダイヤモンド薄膜の製造〔粒子の被覆→T〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・プラズマを生成させるもの〔C~F以外のものまたはプラズマ生成手段を特定していないもの〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・・直流放電プラズマによるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・高周波プラズマによるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・マイクロ波プラズマによるもの(H13.5新設) | HB | CC | 4G077 | |
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・・サイクロトロン共鳴プラズマによるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・加熱体〔例.熱フイラメント,加熱基板〕により原料ガスを活性化するもの〔雰囲気加熱を含む〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・燃焼炎により原料ガスを活性化するもの | HB | CC | 4G077 | |
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・熱電子照射により原料ガスを活性化するもの | HB | CC | 4G077 | |
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・光照射により原料ガスを活性化するもの | HB | CC | 4G077 | |
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・イオンビ-ム照射により原料ガスを活性化するもの | HB | CC | 4G077 | |
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・真空蒸着,スパツタリングによるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・B~Mのような成膜手段を特定していないもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・基板材料に特徴あるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・基板の処理に特徴あるもの〔例.表面処理,中間層の形成〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・・原料ガスの組成に特徴あるもの | HB | CC | 4G077 | |
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気相法による薄膜以外の形状〔例.粒状〕のダイヤモンドの製造 | HB | CC | 4G077 | |
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気相法によるダイヤモンドで他の材料の粒子を被覆するもの | HB | CC | 4G077 | |
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気相法によらないダイヤモンドの製造 | HB | CC | 4G077 | |
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ダイヤモンド結晶の処理 | HB | CC | 4G077 | |
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ダイヤモンドからなる又はダイヤモンドを含む物品 | HB | CC | 4G077 | |
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・基材表面に気相法ダイアモンド被覆を施した物品 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・シリコン[3] | HB | CC | 4G077 | |
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結晶自体に特徴あるもの〔例.不純物濃度,物性,結晶方位の特定〕 | HB | CC | 4G077 | |
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結晶の後処理 | HB | CC | 4G077 | |
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Siの結晶を使用した物品 | HB | CC | 4G077 | |
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結晶成長用のSi材料の製造〔例.高純度多結晶シリコン棒の製造〕 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・・液相からの成長 | HB | CC | 4G077 | |
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ゾ-ンメルテイングによる成長 | HB | CC | 4G077 | |
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液相エピタキシヤル成長 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・・・引上げ法によるもの | HB | CC | 4G077 | |
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原料粉末の供給,融液の形成 | HB | CC | 4G077 | |
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るつぼ〔るつぼに一体化又は密着して使用される治具を含む〕 | HB | CC | 4G077 | |
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引上げ炉内で使用される治具〔例,熱遮蔽板,保温筒等〕に特徴あるもの〔Eが優先〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・融液内に配置されるもの〔Eが優先〕 | HB | CC | 4G077 | |
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加熱,冷却手段に特徴あるもの | HB | CC | 4G077 | |
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種結晶及び種結晶の保持,引上げ装置に特徴あるもの | HB | CC | 4G077 | |
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磁場を使用するもの | HB | CC | 4G077 | |
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不純物,不可避不純物量の制御 | HB | CC | 4G077 | |
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引上げ速度,回転数の制御〔Hが優先〕 | HB | CC | 4G077 | |
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引上炉内の雰囲気の調整〔雰囲気ガスの供給,排出,圧力調整〕 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・・融液からの板状,帯状シリコンの引き出し | HB | CC | 4G077 | |
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・・・気相からの成長 | HB | CC | 4G077 | |
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基材上への薄膜の成長 | HB | CC | 4G077 | |
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・原料ガスの選択,組成に特徴あるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・原料ガスの供給・排出,流れの制御に特徴あるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・基板の加熱,冷却の手段,方法に特徴あるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・基板材料の選択に特徴あるもの〔Fが優先〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・基板の処理〔Jが優先〕;基板上にSi以上の膜を形成させてのちSi膜を成長させるもの〔例.バツフア-膜の形成〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・Si膜を二工程以上に分けて成長させるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・Si膜を基板上の時定領域に成長させるもの〔Jが優先〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・基板上の種子結晶上に成長させるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・基板上に形成したSi膜に処理を施すもの〔例.非結晶質Si膜の単結晶化,ド-ピング〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・気相成長用の装置,治具類に特徴あるもの〔例.基板支持台,ベルジヤ-,C~Kが優先〕 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・ゲルマニウム[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・無機化合物または組成物[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・ハロゲン化物[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・りん酸塩[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・酸化物[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・・石英[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・・酸化アルミニウム[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・・複合酸化物[3] | HB | CC | 4G077 | |
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Alを含有するもの〔A~Fはラストプレ-スル-ルを適用〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・BeAl↓2O↓4〔クリソベリル,アレキサンドライト〕 | HB | CC | 4G077 | |
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Bを含有するもの | HB | CC | 4G077 | |
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Biを含有するもの | HB | CC | 4G077 | |
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フエライト | HB | CC | 4G077 | |
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・MnとZnとを含むもの | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・・・超電導材料 | HB | CC | 4G077 | |
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固相からの成長 | HB | CC | 4G077 | |
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液相からの成長 | HB | CC | 4G077 | |
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・基板上に超電導層を形成したもの | HB | CC | 4G077 | |
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気相法による成長 | HB | CC | 4G077 | |
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・基板上に超電導層を形成したもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・スパツタリングによるもの〔J~Nが優先〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・・基板の選択に特徴あるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・基板の処理,基板と超電導層との間に中間層を形成したもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・製膜後に超電導層に処理を施すもの〔例.熱処理,イオン注入処理等〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・・超電導層を複層に形成するもの又は超電導層の表面に更に他の材料の層を形成するもの | HB | CC | 4G077 | |
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超電導材料を利用した物品の用途に特徴のあるもの〔例.半導体装置,半導体基板,線材〕 | HB | CC | 4G077 | |
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超電導結晶の後処理に特徴あるもの〔Lが優先〕 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・・・式AMeO↓3を有するもの,ここでAは希土類金属またはMeはFe,Ga,Sc,Cr,CoまたはAl,例.オルソフェライト[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・・・式BMe↓2O↓4を有するもの,ここでBはMg,Ni,Co,Al,ZnまたはCdまたMeはFe,Ga,Sc,Cr,CoまたはAl[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・・・式A↓3Me↓5O↓1↓2を有するもの,ここでAは希土類金属またMeはFe,Ga,Sc,Cr,CoまたはAl,例.ガーネット[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・・・ニオブ酸塩;バナジン酸塩;タンタル酸塩[3] | HB | CC | 4G077 | |
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ニオブ酸塩〔Cが優先〕 | HB | CC | 4G077 | |
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タンタル酸塩〔Cが優先〕 | HB | CC | 4G077 | |
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ニオブとタンタルとを含むもの | HB | CC | 4G077 | |
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バナジン酸塩 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・・・チタン酸塩;ゲルマニウム酸塩;モリブデン酸塩;タングステン酸塩[3] | HB | CC | 4G077 | |
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チタン酸塩 | HB | CC | 4G077 | |
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・アルカリ金属のチタン酸塩 | HB | CC | 4G077 | |
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・アルカリ土類金属のチタン酸塩 | HB | CC | 4G077 | |
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・チタン酸鉛 | HB | CC | 4G077 | |
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ゲルマニウム酸塩 | HB | CC | 4G077 | |
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モリブデン酸塩 | HB | CC | 4G077 | |
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タングステン酸塩 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・けい酸塩[3] | HB | CC | 4G077 | |
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ベリル〔BeO-Al↓2O↓3-SiO↓2〕 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・炭化物[3] | HB | CC | 4G077 | |
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炭化けい素 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・窒化物[3] | HB | CC | 4G077 | |
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Bを含むもの〔例.BN,BCN〕 | HB | CC | 4G077 | |
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Siを含むもの〔例.Si↓3N↓4〕 | HB | CC | 4G077 | |
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Alを含むもの〔例.AlN〕 | HB | CC | 4G077 | |
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Gaを含むもの〔例.GaN〕 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・AIIIBV化合物[3] | HB | CC | 4G077 | |
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結晶自体に特徴あるもの〔例;結晶の物性,不純物濃度の特定〕 | HB | CC | 4G077 | |
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結晶成長用の原料の合成,精製 | HB | CC | 4G077 | |
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結晶の処理 | HB | CC | 4G077 | |
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A3BV化合物結晶を用いた物品の用途 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・・液相からの成長 | HB | CC | 4G077 | |
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引き上げ法によるもの | HB | CC | 4G077 | |
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液相から基板上に薄膜を成長させるもの | HB | CC | 4G077 | |
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ノ-マルフリ-ジング又は温度勾配凝固によるもの | HB | CC | 4G077 | |
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帯域溶融法によるもの | HB | CC | 4G077 | |
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溶質合成拡散法によるもの | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・・気相からの成長 | HB | CC | 4G077 | |
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基板上への薄膜の成長〔分子線によるものは,Kへ〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・原料ガスの選択に特徴あるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・3,V族源以外の成分ガス〔例.不純物ガス,キヤリア-ガス〕の選択に特徴あるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・原料ガスの生成,供給,排出に特徴あるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・原料ガスの供給量,成分比を成長中に変化させるもの〔例;成分を交互に供給するもの,特定成分の供給量を変えるもの〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・基板材料に特徴のあるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・基板の処理〔基板上に他の被膜をコ-テイングしてのち成長させるものは,Hへ〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・基板と成長層との間に他の層〔例.バツフア層〕を形成するもの又は基板上に複数の成長層を形成するもの | HB | CC | 4G077 | |
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・基板上の特定領域に成長させるもの | HB | CC | 4G077 | |
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・分子線により成長させるもの | HB | CC | 4G077 | |
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薄膜以外の形状の結晶を気相法で得るもの | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・・ひ化ガリウム[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・・りん化ガリウム[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・硫黄,セレンまたはテルルを含む化合物[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・・AIIBVI化合物[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・・・硫化カドミウム[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・合金[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・有機化合物[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・酒石酸塩[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・高分子化合物[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・形状により特徴づけられたもの[3] | HB | CC | 4G077 | |
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・・ひげ結晶または針状結晶[3] | HB | CC | 4G077 | |
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酸化物〔複合酸化物は,Eへ〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・アルミナ | HB | CC | 4G077 | |
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・酸化チタン | HB | CC | 4G077 | |
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・酸化亜鉛 | HB | CC | 4G077 | |
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複合酸化物;酸素酸塩 | HB | CC | 4G077 | |
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・チタン酸塩 | HB | CC | 4G077 | |
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・硫酸塩〔例.硫酸カルシウム〕 | HB | CC | 4G077 | |
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・ホウ酸塩 | HB | CC | 4G077 | |
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炭化物 | HB | CC | 4G077 | |
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・炭化けい素 | HB | CC | 4G077 | |
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・・二酸化けい素を原料とするもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・Si,Si合金を原料とするもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・分解性けい素化合物〔例;有機けい素化合物〕又は気体状けい素化合物を原料とするもの | HB | CC | 4G077 | |
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・・炭化けい素ウイスカ-の精製又は処理 | HB | CC | 4G077 | |
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窒化物 | HB | CC | 4G077 | |
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・窒化けい素 | HB | CC | 4G077 | |
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炭素 | HB | CC | 4G077 | |
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金属,合金 | HB | CC | 4G077 | |
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製造法一般〔製造されるウイスカ-が特定されていないもの〕 | HB | CC | 4G077 | |
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ウイスカ-の処理〔ウイスカ-が特定されていないもの〕 | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |
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・・平型結晶,例.板,帯状体または円板[5] | HB | CC | 4G077 | |
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・・複雑な幾何学的形状の結晶,例.管,円筒[5] | HB | CC | 4G077 | |
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・・層構造からなる結晶,例.“超格子”[5] | HB | CC | 4G077 | |