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Fタームリスト

リスト再作成旧５Ｃ０３０（Ｒ０２）、ＦＩ化（Ｒ２）
5C030 電子源、イオン源 応用物理　　　　　　
H01J27/00 -27/26
H01J37/04@A;37/04@B AA AA00
ビーム制御 		AA01 AA02 AA03 AA04 AA06 AA07 AA08 AA09 AA10
・ビーム電流検出制御 ・・検出器，測定器 ・・ビーム電流安定化 ・ビーム形状検出制御 ・軸合せ ・・検出系 ・・制御系 ・・機械的調整 ・その他＊
AB AB00
用途 		AB01 AB02 AB03 AB04 AB05 AB06
・透過型電子顕微鏡 ・走査型電子顕微鏡 ・電子ビーム露光，描画装置 ・電子ビーム溶接，加工装置 ・イオンビーム装置 ・その他の装置
H01J37/04@Z;37/06@A-37/07;37/248@A;37/248@B BB BB00
電子源構造 		BB01 BB02 BB03 BB04 BB05 BB06 BB07 BB09 BB10
・電極部品 ・・陰極、フィラメント ・・・線状，矩形状 ・・・ＬａＢ６材料を用いるもの ・・ウェーネルト電極 ・・陽極 ・・相互調整，交換 ・加速管（加速部） ・排気，汚染除去
BB11 BB12 BB14 BB15 BB17
・電磁気シールド ・絶縁部材 ・電子ビーム溶接加工用 ・蒸着用 ・その他＊
BC BC00
電子源制御 		BC01 BC02 BC03 BC04 BC06 BC07 BC09
・電源 ・・陰極加熱 ・・ウェーネルトバイアス ・・加速 ・ビーム制御 ・保護回路 ・その他＊
H01J37/073 CC CC00
電界放射電子銃 		CC01 CC02 CC03 CC04 CC06 CC07 CC08 CC10
・電極構造 ・・陰極 ・・引出し電極，陽極 ・・電極の相互調整，交換 ・排気 ・ビーム制御 ・フラッシング ・その他＊
H01J37/08;27/00-27/26 DD DD00
プラズマイオン源の種類 		DD01 DD02 DD03 DD04 DD05 DD06 DD07 DD08 DD10
・高周波型 ・マイクロ波型 ・ＰＩＧ型 ・電子衝撃型 ・低電圧アーク放電型 ・・多極磁場型 ・デュオプラズマトロン ・光（レーザ）励起型 ・その他＊
DE DE00
プラズマイオン源の細部 		DE01 DE02 DE03 DE04 DE05 DE06 DE07 DE08 DE09 DE10
・放電室 ・・フイラメント ・・ホローカソード ・引出し電極 ・ガス導入系 ・・蒸発炉 ・磁石 ・・カスプ磁場 ・電源，制御装置 ・その他＊
DF DF00
表面効果イオン源 		DF01 DF02 DF04 DF05 DF06 DF07 DF08 DF10
・表面電離型イオン源 ・電界電離ガスイオン源 ・液体金属イオン源 ・・エミッタ ・・リザーバ ・・加熱手段 ・・電源，制御装置 ・その他＊
DG DG00
特殊イオンおよび用途 		DG01 DG02 DG03 DG05 DG06 DG07 DG09
・負イオン ・多価イオン ・クラスタイオン ・イオンマイクロアナライザ用 ・中性粒子入射装置用 ・イオンビームエッチング用 ・その他＊
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