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５Ｃ１０１に変更（Ｒ２）
| 5C001 | 電子顕微鏡１ | 応用物理 |
| H01J37/20 -37/20@Z | ||
| H01J37/20-37/20@Z | AA | AA00 構造 |
AA01 | AA02 | AA03 | AA04 | AA05 | AA06 | AA07 | AA08 | ||
| ・試料ホルダ－ | ・交換 | ・Ｘ－Ｙ微動 | ・Ｚ微動 | ・傾斜 | ・平面内回転 | ・予備排気室 | ・その他 | |||||
| BB | BB00 処理機能 |
BB01 | BB02 | BB03 | BB04 | BB05 | BB06 | BB07 | ||||
| ・加熱 | ・冷却 | ・ガス反応．大気圧 | ・引張，変形 | ・磁化 | ・蒸着 | ・その他 | ||||||
| CC | CC00 用途 |
CC01 | CC02 | CC03 | CC04 | CC05 | CC06 | CC07 | CC08 | |||
| ・透過型 | ・・トップエントリー | ・・サイドエントリー | ・走査型 | ・マイクロアナライザ | ・ビ－ム露光 | ・イオン注入 | ・その他 | |||||
| DD | DD00 その他 |
DD01 | DD02 | DD03 | ||||||||
| ・汚染防止 | ・ドリフト防止 | ・振動防止 |