FI(一覧表示)

H01J37/00	放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管，例，その試験や処理をするためのもの（Ｈ０１Ｊ３３／００，Ｈ０１Ｊ４０／００，Ｈ０１Ｊ４１／００，Ｈ０１Ｊ４７／００，Ｈ０１Ｊ４９／００が優先）［２，５］	HB	CC	5C101

H01J37/02	・細部	HB	CC	5C101

H01J37/04	・・電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品，例．電子光学装置，イオン光学装置	HB	CC	5C101

H01J37/04@A	ビ－ム電流・ビ－ム径等の検出・制御	HB	CC	5C101

H01J37/04@B	軸合せ	HB	CC	5C101

H01J37/04@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/05	・・・電子またはイオンをそれらのエネルギーに応じて分離するための電子光学的またはイオン光学的装置（粒子分離管Ｈ０１Ｊ４９／００）［３］	HB	CC	5C101

H01J37/06	・・・電子源；電子銃	HB	CC	5C101

H01J37/06@A	電子顕微鏡用	HB	CC	5C101

H01J37/06@B	電子ビ－ム加工〔溶解，切断，穿孔，溶接〕用	HB	CC	5C101

H01J37/06@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/063	・・・・ビームを形成するための電極の幾何学的配置［３］	HB	CC	5C101

H01J37/065	・・・・銃の構造またはそのための部品（Ｈ０１Ｊ３７／０６７～Ｈ０１Ｊ３７／０７７が優先）［３］	HB	CC	5C101

H01J37/067	・・・・銃の部品の取り換え，電極間の相互調整（Ｈ０１Ｊ３７／０７３～Ｈ０１Ｊ３７／０７７が優先；真空封止Ｈ０１Ｊ３７／１８）［３］	HB	CC	5C101

H01J37/07	・・・・熱効果または電界，磁界によって生じる有害な影響の除去［３］	HB	CC	5C101

H01J37/073	・・・・電界放出，光電子放出，または２次電子放出による電子源を用いる電子銃［３］	HB	CC	5C101

H01J37/075	・・・・粒子の衝撃によりまたは照射により，例．レーザにより，熱せられた陰極からの熱電子放出を利用する電子銃［３］	HB	CC	5C101

H01J37/077	・・・・電子源としてガスまたは蒸気の放電を利用する電子銃［３］	HB	CC	5C101

H01J37/08	・・・イオン源；イオン銃	HB	CC	5C101

H01J37/09	・・・ダイヤフラム；電子光学的またはイオン光学的装置と組合わされた遮蔽体，擾乱界の補償［３］	HB	CC	5C101

H01J37/09@A	絞り装置	HB	CC	5C101

H01J37/09@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/10	・・・レンズ	HB	CC	5C101

H01J37/12	・・・・静電的なもの	HB	CC	5C101

H01J37/14	・・・・磁気的なもの	HB	CC	5C101

H01J37/141	・・・・・電磁レンズ［３］	HB	CC	5C101

H01J37/141@A	磁極〔ポ－ルピ－ス〕	HB	CC	5C101

H01J37/141@B	冷却・放熱	HB	CC	5C101

H01J37/141@C	超伝導レンズ	HB	CC	5C101

H01J37/141@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/143	・・・・・永久磁石レンズ［３］	HB	CC	5C101

H01J37/145	・・・・静電レンズと電磁レンズの組合わせ［３］	HB	CC	5C101

H01J37/147	・・・希望する通路に沿って放電を直進しまたは偏向するための装置（レンズＨ０１Ｊ３７／１０）［２］	HB	CC	5C101

H01J37/147@A	ＴＥＭ〔透過電子顕微鏡〕用	HB	CC	5C101

H01J37/147@B	ＳＥＭ〔走査電子顕微鏡〕用	HB	CC	5C101

H01J37/147@C	電子ビ－ム露光装置用	HB	CC	5C101

H01J37/147@D	イオンビ－ム装置用	HB	CC	5C101

H01J37/147@E	電子ビ－ム加工・溶接・溶解用	HB	CC	5C101

H01J37/147@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/15	・・・・電子光学的またはイオン光学的構成体の外部からの機械的調整（Ｈ０１Ｊ３７／０６７，Ｈ０１Ｊ３７／２０が優先）［３］	HB	CC	5C101

H01J37/153	・・・像欠陥を補正するための電子光学的またはイオン光学的装置，例．スチグマトール［２］	HB	CC	5C101

H01J37/153@A	ＴＥＭ〔透過電子顕微鏡〕用	HB	CC	5C101

H01J37/153@B	ＳＥＭ〔走査電子顕微鏡〕用	HB	CC	5C101

H01J37/153@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/16	・・うつわ；容器	HB	CC	5C101

H01J37/18	・・真空封止	HB	CC	5C101

H01J37/20	・・物体または材料を支持しまたは位置づける手段；支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段	HB	CC	5C101

H01J37/20@A	試料支持装置	HB	CC	5C101

H01J37/20@B	試料交換装置	HB	CC	5C101

H01J37/20@C	ＴＥＭ用試料移動装置	HB	CC	5C101

H01J37/20@D	ＳＥＭ用試料移動装置	HB	CC	5C101

H01J37/20@E	試料加熱・冷却装置	HB	CC	5C101

H01J37/20@F	その他の試料処理〔引張，磁化等〕装置	HB	CC	5C101

H01J37/20@G	試料汚染防止装置	HB	CC	5C101

H01J37/20@H	試料帯電防止装置	HB	CC	5C101

H01J37/20@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/21	・・焦点を調整するための手段［２］	HB	CC	5C101

H01J37/21@A	ＴＥＭ〔透過電子顕微鏡〕用	HB	CC	5C101

H01J37/21@B	ＳＥＭ〔走査電子顕微鏡〕用	HB	CC	5C101

H01J37/21@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/22	・・管と関連した光学または写真装置	HB	CC	5C101

H01J37/22,501	・・・透過型に関するもの	HB	CC	5C101

H01J37/22,501@A	像観察	HB	CC	5C101

H01J37/22,501@B	・蛍光板	HB	CC	5C101

H01J37/22,501@C	・撮像管	HB	CC	5C101

H01J37/22,501@D	写真察影	HB	CC	5C101

H01J37/22,501@E	・シヤツタ	HB	CC	5C101

H01J37/22,501@F	・フイルム・乾板	HB	CC	5C101

H01J37/22,501@G	・露出制御	HB	CC	5C101

H01J37/22,501@H	倍率	HB	CC	5C101

H01J37/22,501@J	デ－タ表示	HB	CC	5C101

H01J37/22,501@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/22,502	・・・走査型に関するもの	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@A	像表示	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@B	・走査偏向	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@C	・画面の分割；拡大、回転	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@D	・倍率表示，スク－ルマ－ク	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@E	・輝度	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@F	・コントラスト	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@G	・ＳＮ比	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@H	・その他の信号処理	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@J	画面の撮影	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@K	・露出制御	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@L	光学観察	HB	CC	5C101

H01J37/22,502@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/24	・・管の特定用途に使用されず，かつ他のどの分類にも属しない回路装置	HB	CC	5C101

H01J37/244	・・検出器；関連の構成要素またはそのための回路［３］	HB	CC	5C101

H01J37/248	・・高電圧供給と組合わせられた構成要素［３］	HB	CC	5C101

H01J37/248@A	陰極加熱用	HB	CC	5C101

H01J37/248@B	加速・バイアス用	HB	CC	5C101

H01J37/248@C	レンズ励磁用	HB	CC	5C101

H01J37/248@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/252	・電子またはイオンによるスポット分析のための管；マイクロアナライザー［３］	HB	CC	5C101

H01J37/252@A	Ｘ線マイクロアナライザ	HB	CC	5C101

H01J37/252@B	イオンマイクロアナライザ	HB	CC	5C101

H01J37/252@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/256	・・走査ビームを用いるもの［３］	HB	CC	5C101

H01J37/26	・電子またはイオン顕微鏡；電子またはイオン回折管［２］	HB	CC	5C101

H01J37/27	・・陰影顕微鏡［３］	HB	CC	5C101

H01J37/28	・・走査ビームを有するもの	HB	CC	5C101

H01J37/28@A	ストロボ走査電子顕微鏡；電子ビ－ムテスタ	HB	CC	5C101

H01J37/28@B	ＳＥＭ	HB	CC	5C101

H01J37/28@C	ＳＴＥＭ	HB	CC	5C101

H01J37/28@X	ＳＴＭ・ＡＦＭ（Ｇ０１Ｎが優先）	HB	CC	5C101

H01J37/28@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/285	・・放射型顕微鏡，例．電界放射型顕微鏡［２］	HB	CC	5C101

H01J37/29	・・反射型顕微鏡［２］	HB	CC	5C101

H01J37/295	・・電子またはイオン回折管［２］	HB	CC	5C101

H01J37/30	・物体の局所的な処理のための電子ビームまたはイオンビーム管	HB	CC	5C101

H01J37/30@A	ビ－ム制御に特徴のあるもの	HB	CC	5C101

H01J37/30@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/301	・・相違する圧力領域間を通過するビームを得るための装置［３］	HB	CC	5C101

H01J37/302	・・外部情報による管の制御，例．プログラム制御（Ｈ０１Ｊ３７／３０４が優先）［３］	HB	CC	5C101

H01J37/304	・・物体からの情報，例．訂正信号，による管の制御［３］	HB	CC	5C101

H01J37/305	・・鋳造する，溶かす，脱水するまたはエッチングするためのもの［２］	HB	CC	5C101

H01J37/305@A	エツチング用電子・イオンビ－ム装置	HB	CC	5C101

H01J37/305@B	露光用電子・イオンビ－ム装置	HB	CC	5C101

H01J37/305@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/31	・・切断または穴あけのためのもの［２］	HB	CC	5C101

H01J37/315	・・溶接するためのもの［２］	HB	CC	5C101

H01J37/317	・・物体の特性をかえるためのものまたはその上に薄層を形成するためのもの，例．イオン注入（Ｈ０１Ｊ３７／３６が優先）［３］	HB	CC	5C101

H01J37/317@A	走査偏向	HB	CC	5C101

H01J37/317@B	打込室；ウエハ保持、交換	HB	CC	5C101

H01J37/317@C	注入量等の監視、制御	HB	CC	5C101

H01J37/317@D	マイクロイオンビ－ム	HB	CC	5C101

H01J37/317@E	成膜用イオンビ－ム装置	HB	CC	5C101

H01J37/317@Z	その他	HB	CC	5C101

H01J37/32	・ガス入り放電管（放電によって加熱されるものＨ０５Ｂ）	HB	CC	5C101

H01J37/34	・・陰極スパッタをともなって動作するもの（Ｈ０１Ｊ３７／３６が優先）［３］	HB	CC	5C101

H01J37/36	・・放電部へ導入された，例．蒸発によって導入された，物質のイオンでメッキする間に表面をきれいにするためのもの［３］	HB	CC	5C101

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