Fタームリスト

4M118 固体撮像素子 電子デバイス    
H10D44/00 -44/45;H10F39/00-39/18@Z;39/95;H10K39/32-39/34
H01L27/14-27/148@Z;29/76,301-29/76,301@Z;H10K39/32-39/34 AA AA00
目的・効果
AA01 AA02 AA03 AA04 AA05 AA06 AA07 AA08 AA09 AA10
・光電変換効率の向上 ・ダイナミックレンジの拡大 ・電荷転送効率の向上 ・消費電力低減 ・偽信号抑制 ・画素間の感度バラツキ補正 ・画素欠陥補正 ・保安・保護 ・試験・検査 ・その他*
AB AB00
用途
AB01 AB02 AB03 AB04 AB05 AB06 AB07 AB08 AB09 AB10
・撮像 ・位置検出 ・寸法,距離検出 ・分光分析 ・光通信 ・アナログ遅延 ・マルチプレクサ ・フィルタ ・相関器,論理アレイ ・その他*
BA BA00
基本構造
BA01 BA02 BA03 BA04 BA05 BA06 BA07 BA08 BA09 BA10
・受光部(光電変換部)1個のみ ・・受光信号の処理回路を集積(OEIC等) ・受光部(光電変換部)複数持つ ・・ICマルチチップ型 ・・薄膜型 ・・半導体結晶型 ・・・薄膜受光部積層型 ・・・・CCD型 ・・・受光・転送同一平面型 ・・・・CCD型(非薄膜型)
BA11 BA12 BA13 BA14 BA15 BA16 BA17 BA18 BA19
・・・・・ライン転送方式 ・・・・・フレーム転送方式 ・・・・・インターライン転送方式 ・・・・MOS型 ・・・・CID型 ・・・・複合型 ・・・・・MOSアドレス・H―CCD転送 ・・・受光・転送基板表裏面型 ・・・受光・転送基板分離型
BA21 BA22 BA23 BA24 BA25 BA30
・受光部(光電変換部)なし ・・シフトレジスタ構成 ・・メモリ ・・・直列―並列―直列構成(SPS) ・・用途の特定されないCCD ・その他*
CA CA00
受光部構造
CA01 CA02 CA03 CA04 CA05 CA06 CA07 CA08 CA09 CA10
・素子形態 ・・ダイオード ・・・pn接合 ・・・・埋込層の利用(埋込ダイオード等) ・・・pin接合 ・・・ショットキー接合 ・・・MOSダイオード ・・・・CCD転送部自体 ・・トランジスタ ・・・SIT
CA11 CA12 CA13 CA14 CA15 CA16 CA17 CA18 CA19 CA20
・・・TFT ・・・フローティングゲートを使用 ・・・多層絶縁膜(MNOS等)を使用 ・・光導電(光起電力)素子 ・・・光導電(光起電力)多層膜 ・・焦電素子 ・光電変換部 ・・不純物濃度分布 ・・セル形状 ・・・長方形以外の多角形形状
CA21 CA22 CA23 CA24 CA25 CA26 CA27
・・・櫛歯状 ・・1セルに複数の光電変換要素 ・・・直列接続 ・・・並列接続 ・・各受光部の大きさor特性異なる ・・・中央部と端部で異なる ・・・受光波長により異なる
CA31 CA32 CA33 CA34 CA35 CA40
・保護構造 ・・保護膜 ・・・多層 ・・・光学的機能付与 ・・エアギャップ構造 ・その他*
CB CB00
受光部材料
CB01 CB02 CB03 CB05 CB06 CB07 CB08 CB09
・単結晶半導体(Si以外)* ・・GaAs ・・InP ・非単結晶半導体* ・・アモルファスSi ・・ポリSi ・・CdSe ・・HgCdTe
CB11 CB12 CB13 CB14 CB20
・蛍光材* ・焦電材* ・絶縁物* ・電極・金属* ・その他*
DA DA00
転送部構造
DA01 DA02 DA03 DA04 DA05 DA06 DA07 DA08
・転送素子 ・・表面チャンネルCCD(SCCD) ・・埋込チャンネルCCD(BCCD) ・・・ヘテロ接合構造 ・・・表面に反対型導電層を形成 ・・・多層チャンネル構造 ・・溝部チャンネル ・・BBD
DA11 DA12 DA13 DA14 DA15 DA16 DA18 DA19 DA20
・転送パターン ・・ZT(ジグザグ)チャンネル ・・ミアンダ(蛇行)チャンネル ・・転送路の分岐 ・・転送路の合成 ・・転送路の屈曲 ・転送電極構造 ・・階段状電極 ・・転送電極材料*
DA21 DA22 DA23 DA24 DA25 DA27 DA28
・転送方向へのポテンシャル形成 ・・ステップ酸化膜 ・・不純物濃度領域 ・・チャンネルピンチ(ゲート幅変更) ・・抵抗性ゲート ・ゲート絶縁膜 ・・複数層
DA31 DA32 DA33 DA34 DA35 DA36 DA40
・基板内部埋込層 ・・高不純物濃度領域 ・・絶縁層 ・・電極 ・・結晶欠陥領域 ・多数キャリアの利用 ・その他*
DB DB00
駆動・転送方法
DB01 DB02 DB03 DB04 DB05 DB06 DB07 DB08 DB09 DB10
・転送方式 ・・バイアス電荷導入(呼び水転送等) ・・インタレース ・・電荷掃きよせ ・転送クロック ・・二相 ・・三相 ・・四相 ・・クロック幅,タイミングに特徴 ・・クロック波形に特徴
DB11 DB13 DB14 DB15 DB16 DB17 DB18 DB19 DB20
・・・3以上の電圧レベルを有するクロック ・電位制御 ・・セル電極/転送電極間電位 ・・ゲート電極/転送電極間電位 ・利得制御,感度制御(AGC) ・補償(温度補償等)駆動 ・電圧以外による駆動 ・・超音波駆動 ・その他*
DC DC00
転送電荷入力
DC01 DC02 DC03 DC04 DC05 DC06 DC07 DC08 DC09 DC10
・入力方法 ・・ダイナミック電流注入法 ・・ダイオード・カットオフ法 ・・電位平衡法 ・・・フローティング拡散層の利用 ・入力部の配置に特徴 ・回路構成 ・・信号入力回路 ・・クロック入力回路 ・その他*
DD DD00
転送電荷検出
DD01 DD02 DD03 DD04 DD05 DD06 DD07 DD08 DD09 DD10
・検出方法 ・・電流出力法 ・・フローティングゲート法 ・・フローティング拡散法 ・・・フローティングゲート法兼用 ・検出部構造 ・・最終転送電極構造 ・・出力ゲート構造 ・回路構成 ・・差動回路
DD11 DD12 DD20
・・蓄積電荷制御 ・・リセット回路 ・その他*
EA EA00
製造方法
EA01 EA02 EA03 EA04 EA05 EA06 EA07 EA08 EA09
・特殊な製法の利用 ・・斜め蒸着 ・・斜めイオン注入 ・・リフトオフ ・・レーザ加工 ・セルフアライン ・・ゲート電極と受光領域 ・・ゲート電極とチャンネル不純物領域 ・・第1層電極と第2層電極
EA11 EA12 EA14 EA15 EA16 EA17 EA18 EA20
・製造中または製造後の検査 ・・検査用素子(TEG)形成 ・工程の順序に特徴 ・・p―ウェル ・・チャンネル分離領域 ・・転送ゲート ・・電極パッド部 ・その他*
FA FA00
CCD,MOS型固体撮像素子の細部
FA01 FA02 FA03 FA04 FA05 FA06 FA07 FA08
・受光部の配置 ・・転送部との関係 ・・・1列の受光部に2列以上のCCD対応 ・・・1列のCCDに2列以上の受光部対応 ・・・積層構造 ・・エリア配列 ・・・隣接列または行と配置をずらす ・・リニア配列
FA11 FA12 FA13 FA14 FA15 FA16 FA17 FA18 FA19 FA20
・過剰電荷排出・吸収領域 ・・オーバーフロードレイン ・・・縦型 ・・・横型 ・・・・各列に配置 ・・・・・受光部側 ・・・・・CCD側 ・・・・2列で共有 ・・・・各受光部ごとに配置 ・・ダミー転送路による排出
FA21 FA22 FA23 FA24 FA25 FA26 FA27 FA28 FA29
・・通常転送路による排出 ・・信号線による排出 ・・再結合領域の利用 ・・電位障壁の利用 ・分離構造 ・・チャンネルストッパ拡散領域で分離 ・・溝による分離 ・・絶縁物による分離 ・・フィールドシールド電極による分離
FA31 FA32 FA33 FA34 FA35 FA36 FA37 FA38 FA39 FA40
・受光部から転送部への電荷移送 ・・素子形態 ・・・MOSゲート ・・・・蓄積部を介する ・・・・転送電極兼用 ・・・接合型FET ・・・SIT ・・蓄積部 ・・・蓄積電極 ・・・フレーム蓄積部
FA41 FA42 FA43 FA44 FA45 FA46 FA47 FA50
・・・・2フレーム蓄積部 ・・・信号電荷の増幅をするもの ・転送路配置 ・・水平転送路構造を複数有するもの ・・水平・垂直方向転送部で異特性 ・受光・転送部の基板高さ相異 ・受光・転送部の不純物領域の深さ相異 ・その他*
FB FB00
薄膜型固体撮像素子の細部
FB01 FB02 FB03 FB04 FB05 FB06 FB07 FB08 FB09 FB10
・駆動方式 ・・個別駆動(自己走査型) ・・マトリックス型駆動 ・・CCD駆動 ・・BBD駆動 ・・IC個別駆動 ・受光部の配置 ・・受光部リニア配列 ・・受光部エリア配列 ・セル構成
FB11 FB12 FB13 FB14 FB15 FB16 FB17 FB18 FB19 FB20
・・回路素子 ・・・三端子能動素子 ・・・・TFT ・・・二端子能動素子 ・・・・ブロッキングダイオード ・・・容量素子 ・・・抵抗素子 ・・セル間接続構造 ・・セル信号線接続構造 ・・基板材料に特徴
FB21 FB22 FB23 FB24 FB25 FB26 FB27 FB29 FB30
・分離構造 ・・受光部の分離 ・・・薄膜一体形成 ・・・受光部ごとパターニング ・・信号線の分離 ・・・上下絶縁構造 ・・・シールド電極構造 ・不均一配線容量の補償構造 ・その他*
FC FC00
OEICの細部
FC01 FC02 FC03 FC04 FC05 FC06 FC07 FC08 FC09 FC10
・集積化素子の種類 ・・発光素子 ・・・レーザ ・・・LED ・・能動素子 ・・・MOSFET ・・・MESFET ・・・HEMT ・・・バイポーラTr(HBT等) ・・光変調素子
FC13 FC14 FC15 FC16 FC17 FC18 FC20
・構造 ・・平坦化 ・・積層構造 ・半導体基板材料 ・・GaAs ・・Si ・その他*
GA GA00
光照射
GA01 GA02 GA03 GA04 GA05 GA06 GA07 GA08 GA09 GA10
・照射構造 ・・裏面照射 ・・反射光(原稿からの反射光検出) ・・原稿照明装置一体化 ・・バイアス光の利用 ・採光構造 ・・窓構造 ・・反射構造 ・・導光構造 ・その他*
GB GB00
遮光膜
GB01 GB02 GB03 GB04 GB05 GB06 GB07 GB08 GB09 GB10
・パッケージに形成 ・モノリシックに形成 ・・チップ表面(保護膜直下を含む) ・・チップ裏面 ・・透光基板と半導体の間 ・配置 ・・セル電極間,画素周辺 ・・チャンネル部 ・・暗電流測定(ダミー)受光部 ・材料
GB11 GB12 GB13 GB14 GB15 GB16 GB17 GB18 GB19 GB20
・・金属 ・・半導体 ・・有機物 ・特性・構造 ・・電極兼用 ・・絶縁膜兼用 ・・多層,多重構造 ・・・遮光膜外側に反射防止膜 ・製法・工程に特徴 ・その他*
GC GC00
フィルタ
GC01 GC02 GC03 GC07 GC08 GC09
・フィルタの配置 ・・基板兼用 ・・保護膜兼用 ・カラーフィルタ ・・3色 ・・4色
GC11 GC13 GC14 GC15 GC17 GC20
・IRカットフィルタ ・形状 ・・モザイク状 ・・ストライプ状 ・製法・工程に特徴 ・その他*
GD GD00
集光要素
GD01 GD02 GD03 GD04 GD05 GD06 GD07 GD08 GD09 GD10
・レンズ ・・配置 ・・・チップに対応して1個 ・・・各光電変換素子ごと ・・・列状 ・・形状 ・・・凸レンズ ・・・凹レンズ ・・・フレネルレンズ ・・・屈折率分布型
GD11 GD12 GD13 GD14 GD15 GD16 GD20
・導光体 ・・蛍光体混入 ・プリズム ・ミラー ・・モノリシック型 ・・曲面(非平面)状 ・その他*
HA HA00
実装
HA01 HA02 HA03 HA04 HA05 HA07 HA08 HA09 HA10
・封止 ・・キャップ型 ・・・位置決め ・・・・フィルタとの位置合わせ ・・・・枠体との位置合わせ ・・・反射防止膜 ・・・静電防止膜 ・・・内部充填 ・・・配線
HA11 HA12 HA14 HA15 HA16 HA17 HA19 HA20
・・・封止材* ・・モールド型 ・・・凹部にセンサ素子を実装 ・・・凸部にセンサ素子を実装 ・・・モールド形状 ・・・モールド材* ・装着 ・・装着物
HA21 HA22 HA23 HA24 HA25 HA26 HA27 HA29 HA30
・・・ICマルチチップ型 ・・・駆動回路チップ ・・・光学要素(アパーチャ,光ファイバ等) ・・装着方法 ・・基板材料 ・・・ガラス基板 ・・・フィルム状基板 ・回路接続方法 ・・ボンディングパッド
HA31 HA32 HA33 HA35 HA36 HA40
・・バンプ ・・異方性導電体 ・・基板ヴィアホール ・付属機能の付加 ・・温度制御部 ・その他*
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