Fタームリスト

G03F7/20-7/20,511;7/207-7/207@G;7/207@Z;7/213-7/213@G;7/213@Z;7/22-7/22@G;7/22@Z;7/23-7/23@G;7/23@Z;7/24-7/24@G;7/24@Z;9/00-9/00@G;9/00Z;9/02-9/02@G;9/02@Z

AA00
露光方式

AA01

AA02

AA03

AA04

AA05

AA06

AA07

AA08

・両面露光

・反射型露光

・ビーム走査露光

・光源移動露光

・・スリット露光

・閃光露光

・スポット露光

・周辺不要部、周辺未露光部の露光

AA11

AA12

AA13

AA16

AA20

・同一種類光源による多重画像露光

・・異なる原版を用いる多重画像露光

・複数種類光源による多重画像露光

・カーブした表面への露光

・その他

AB00
原版或いは感材移動露光

AB01

AB02

AB03

AB04

AB05

AB06

AB07

AB08

AB09

AB10

・原版移動露光（ＧＡ０２が優先）

・・原版回転露光

・・・平板状

・・・円筒状

・感材移動露光

・・感材回転露光

・・・平板状

・・・円筒状

・原版、感材共に移動露光（ＧＡ４３優先）

・・回転露光

BA00
露光装置の構造、制御

BA01

BA02

BA03

BA04

BA05

BA06

BA10

・焦点合せ

・装置本体の制御、例、温度、圧力

・・異常検出

・ゴミ除去

・装置本体が折り畳み式のもの

・他の処理機能との組み合せ、例、現像機

・その他

BB00
露光部の制御

BB01

BB02

BB03

BB04

BB10

・露光量、露光時間、照度制御

・露光波長制御

・感材に対する露光角度制御

・光源と感材間の距離の制御（網点再現性）

・その他

CA00
光源

CA01

CA02

CA03

CA04

CA05

CA06

CA07

CA08

・構造＊

・・冷却

・・光源の配列

・・光源交換

・・感材に対する光源の位置

・・光学系に特徴

・・シャッター使用

・・細部、例、光源のアーム

CA11

CA12

CA13

CA14

CA15

CA16

CA17

CA19

・露光エネルギー源＊

・・紫外光

・・遠紫外光

・・可視光

・・Ｘ線

・・電子線

・・レーザー光

・・偏光性

DA00
原版の露光機への給送

DA01

DA02

DA03

DA06

DA07

DA08

・原版格納供給部

・・多段（１カセットに１枚の原版）

・・単段（供給テーブルに多数枚の原版）

・原版の自動給送

・・単一種原版

・・異種原版

DA11

DA12

DA13

DA20

・原版給送手段

・・真空吸盤

・・駆動ピン

・その他

DB00
感材の露光機への給送

DB01

DB02

DB03

DB04

DB07

・感材格納給送部

・・多段（１カセットに１枚の感材）

・・単段（供給テーブルに多数枚の感材）

・・原版も共に保持する枠

・感材の自動給送

DB11

DB12

DB13

DB14

DB20

・感材給送手段

・・感材巻取り型

・・ベルト

・・真空吸盤

・その他

DC00
露光終了後の原版、感材搬送部

DC01

DC10

・排感材受け部材

・その他

EA00
原版と感材とに関連する介在物

EA01

EA02

EA03

EA04

EA05

・光源、原版、感材間の介在物＊

・・コンタクトスクリーン

・・フィルター、偏光子

・・樹脂塗布物

・・拡散シート

EA11

EA12

EA13

EA14

・感材支持体裏面の介在物＊

・・光反射板

・・光反射防止膜、光吸収板

・・拡散シート

FA00
露光される感材の種類、構造、形状

FA01

FA02

FA03

FA04

FA05

FA06

FA07

FA09

FA10

・感光性樹脂の種類

・・光硬化型

・・光分解型

・・光粘着型

・液状感光性樹脂

・構造に特徴

・・感度の異なる複数種の感光性樹脂

・形状に特徴

・その他

GA00
密着露光

GA01

GA02

GA03

GA04

GA05

GA06

GA07

GA10

・真空密着

・・感材の異なる位置を同一原版で露光

・・・遮光

・・・・遮光膜

・・・・遮光膜自動制御

・・・原版保持枠が前後動するもの

・・・感材保持枠が前後動するもの

・・・その他

GA11

GA12

GA15

GA17

・・同一又は異なる原版を感材に単一露光

・・・光透過性又は光不透過性カバーシート

・・・その他

・・吸引口の形状、配置

GA21

GA22

GA23

GA24

GA27

GA30

・・原版、感材の吸着

・・・載置面の形状、構造

・・・圧力調節室を有するもの

・・・・複数の圧力調節室

・・密着を良好に行うための補助手段、細部

・・その他

GA31

GA32

GA33

GA34

GA35

・圧力密着

・・原版押圧板

・・原版押圧板への押圧板の取付、係止

・・・開閉

・・・密閉

GA41

GA43

GA45

GA50

・静電吸着

・露光時原版が感材と共に移動するもの

・近接露光

・その他

GB00
投影露光

GB01

GB02

GB03

GB04

・縮小投影露光

・原寸投影露光

・拡大投影露光

・パターンジェネレータ

HA00
露光前の感材処理

HA01

HA02

HA03

HA04

HA05

・全面一様前露光

・・画像露光源と異なる種類の光源使用

・ベーキング・温度管理

・ガスによる処理

・処理液による処理

HB00
露光後現像前の感材処理

HB01

HB02

HB03

HB04

HB05

・全面一様後露光

・・画像露光源と異なる種類の光源使用

・ベーキング・温度管理

・ガスによる処理

・処理液による処理

JA00
その他（露光に関連するもの）

JA01

JA02

JA03

JA04

JA05

JA06

・露光用補助具

・原版の形状、構造に特徴

・現像

・現像後の感材処理

・・全面一様後露光

・・・画像露光源と異なる種類の光源使用

KA00
位置合せ

KA01

KA02

KA03

KA04

KA05

・目的

・・露光機外での感材に対する原版の位置合せ

・・露光機上での原版と感材の位置合せ

・・色版相互の位置合せ

・・原版と感材、印刷機上での位置合せ共用

KA11

KA12

KA13

KA14

KA15

KA16

KA18

KA19

KA20

・位置合せマーク

・・原版に付与

・・感材に付与

・・原版保持枠に付与

・・形状、構造

・・マーク形成材料

・位置合せマーク読みとり

・・目視によるもの

・・光学手段によるもの

KA21

KA22

KA23

KA24

KA26

KA28

KA29

・位置合せマーク形成手段

・・焼き付け手段によるもの

・・穿孔によるもの

・・竪型にて感材等にマーク形成

・・その他

・位置合せ器具、装置

・・自動位置合せ

KA31

KA32

KA33

KA34

KA35

KA36

KA38

KA40

・位置合せ用補助具

・・ガイドピンの形状、構造

・・ピンバー

・・定規

・・当て部材

・・その他、例、位置合せ用マークシート

・自動焦点調節手段との組み合せ

・その他

LA00
用途（露光、位置合せ）

LA01

LA02

LA03

LA04

LA05

LA06

LA07

LA09

LA10

・印刷版製造用

・・凸版（フレキソを含む）

・・平版

・・凹版、グラビア版

・・スクリーン版

・・エンドレス版

・・版校正用、例、カラープルーフ作成

・印刷配線板製造用

・半導体装置製造用

LA11

LA12

LA13

LA15

LA16

LA17

LA20

・表示装置製造用

・・液晶

・・エレクトロルミネッセンス

・立体形状物形成用

・レリーフ用

・光学部材用、例、フイルター

・その他

2H097	ホトレジスト感材への露光・位置合せ	応用物理
	G03F7/20 -7/24@Z;9/00-9/02@Z