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2H025 ホトレジストの材料 応用光学　　　　　　
G03C3/00 ,301;G03F7/004-7/04;7/06,501;7/075-7/115;7/16-7/18
G03F7/004-7/04;7/06,501;7/075-7/115;7/16-7/18 AA AA00
目的 		AA01 AA02 AA03 AA04 AA06 AA07 AA08 AA09 AA10
・感度 ・解像度 ・パターン形状の改良 ・現像性・画像再現性 ・耐溶剤性 ・耐酸性 ・耐アルカリ性 ・耐ドライエッチング性 ・耐熱性
AA11 AA12 AA13 AA14 AA15 AA16 AA17 AA18 AA19 AA20
・耐候性 ・耐刷性 ・膜強度・耐キズ性 ・密着性 ・非粘着性 ・剥離性 ・転写性 ・平滑性 ・導電性 ・絶縁性
AB AB00
用途 		AB01 AB02 AB03 AB04 AB05 AB06 AB08 AB09
・印刷版 ・・凸版・フレキソ版 ・・平版・ＰＳ版 ・・・水無し平版 ・・凹版・グラビア版 ・・スクリーン版・ステンシル版 ・写真原稿・フォトマスク ・カラープルーフ（色校正）
AB11 AB13 AB14 AB15 AB16 AB17 AB20
・ドライフィルム ・カラーフィルターの製造 ・その他の光学部品の製造 ・印刷回路の製造 ・半導体素子・集積回路の製造 ・その他の電気・電子部品の製造 ・その他の特殊用途
AC AC00
露光エネルギーの種類 		AC01 AC03 AC04 AC05 AC06 AC07 AC08
・可視光・近紫外線 ・その他の高エネルギー線 ・・遠紫外線（Ｄｅｅｐ　Ｕ．Ｖ．） ・・Ｘ線 ・・電子線（Ｅ．Ｂ．） ・・イオンビーム ・・レーザー光
AD AD00
像形成モード 		AD01 AD03 AD05 AD06 AD07
・ネガ型 ・ポジ型 ・ネガ型とポジ型の両用 ・・露光方法によりかわるもの ・・現像方法によりかわるもの
BA BA00
ジアゾ・アジド系感光材料 		BA01 BA02 BA03 BA04 BA06 BA07 BA08 BA10
・ジアゾニウム化合物（除Ｏ－キノンジアジド化合物） ・・塩（アニオン）に特徴のあるもの ・・ジアゾ樹脂 ・・Ｐ－キノンジアジド系化合物 ・アジド化合物 ・・ビスアジド化合物 ・・アジド基を有するポリマー ・Ｓｉを含有するもの
BB BB00
無機系感光材料 		BB01 BB03 BB04 BB10
・クロム酸系 ・無機質レジスト ・・カルコゲナイド ・Ｓｉを含有するもの
BC BC00
炭素－炭素不飽和基含有感光材料 		BC01 BC02 BC03 BC04 BC05 BC06 BC07 BC08 BC09 BC10
・不飽和基 ・・二量化型 ・・・シンナモイル（ケイ皮酸）系 ・・・シンナミリデン系 ・・・ベンザルアセトフェノン（カルコン）系 ・・・スチルベン系 ・・・α－フェニルマレイミド系 ・・・フリルアクリロイル系 ・・・スチリルピリジニウム（スチルバゾリウム）系 ・・・スチリルケトン系
BC12 BC13 BC14 BC15 BC17 BC18 BC19 BC20
・・付加重合型 ・・・（メタ）アクリル系 ・・・・（メタ）アクリロイル基 ・・・・（メタ）アクリルアミド（イミド）基 ・・・（メタ）アクリル系以外の基 ・・・・マレイン酸ジエステル ・・・・アリル基 ・・・・ビニルアミノ基
BC23 BC24 BC29
・・・・ビニルエーテル基 ・・・・ビニルチオエーテル基 ・・・・アセチレン性不飽和基
BC31 BC32 BC33 BC34 BC35 BC36 BC37 BC38 BC40
・不飽和モノマー ・・単官能モノマー ・・・不飽和カルボン酸（塩） ・・・不飽和カルボン酸エステル ・・・不飽和カルボン酸アミド（イミド） ・・・アクリロニトリル ・・・スチレン ・・・その他の不飽和モノマー ・・・Ｓｉを含有するもの
BC42 BC43 BC44 BC45 BC46 BC47 BC48 BC49 BC50
・・多官能モノマー ・・・ポリオールの不飽和酸エステル ・・・多価カルボン酸の不飽和エステル ・・・ウレタン型の不飽和酸エステル ・・・不飽和酸アミド ・・・ジビニルベンゼン ・・・トリアリルイソシアヌラート ・・・その他の多官能モノマー ・・・Ｓｉを含有するもの
BC51 BC52 BC53 BC54 BC55 BC56
・不飽和基を有する（プレ）ポリマー ・・付加重合体 ・・・（メタ）アクリル系（共）重合体 ・・・マレイン酸（共）重合体 ・・・ジエン系（共）重合体 ・・・ポリビニルアルコール系（含ポリ酢酸ビニル）
BC62 BC63 BC64 BC65 BC66 BC67 BC68 BC69 BC70
・・縮合体又は重付加物 ・・・主鎖に不飽和基を有するポリエステル ・・・側鎖又は末端に不飽和基を有するポリエステル ・・・ポリエーテル ・・・ポリウレタン ・・・・ポリエステルポリウレタン ・・・ポリアミド ・・・ポリイミド及びその前駆体 ・・・その他の芳香族縮合環をもつもの及びその前駆体
BC72 BC73 BC74 BC77 BC78 BC79
・・・フェノール樹脂 ・・・・ノボラック樹脂 ・・・エポキシ樹脂 ・・シリコン含有（プレ）ポリマー ・・・ポリシロキサン・ポリラダーシロキサン ・・・側鎖にＳｉを含有するもの
BC81 BC82 BC83 BC84 BC85 BC86 BC87 BC88
・特定の規定を有するモノマー・（プレ）ポリマー ・・不飽和基数で特定されるもの ・・不飽和基以外の基で特定されるもの ・・・酸性基 ・・・・カルボキシル基 ・・・水酸基 ・・・塩基性基 ・・・重合開始剤機能を有する官能基
BC92 BC93 BC94 BC95 BC96 BC97
・・分子量 ・・・分子量分布 ・・粘度 ・・弾性 ・・融点・軟化点 ・・ガラス転移温度
BD BD00
その他の光不溶化性感光材料 		BD01 BD02 BD03 BD04 BD06 BD07 BD08 BD09 BD10
・非高分子化合物 ・・含Ｏ感光基を有するもの ・・・エポキシ基・グリシジル基を有するもの ・・・含Ｏ複素環化合物 ・・含Ｎ感光基を有するもの ・・・ニトロ（ニトロ基含有）化合物 ・・・ニトロン ・・・第３級アミノ（第３級アミンをもつ）化合物 ・・・含Ｎ複素環化合物
BD12 BD13 BD20
・・含Ｓ感光基を有するもの ・・・含Ｓ複素環化合物 ・・Ｓｉを含有するもの
BD21 BD22 BD23 BD24 BD25 BD27 BD28 BD29
・高分子化合物 ・・含Ｏ感光基含有 ・・・エポキシ基・グリシジル基含有 ・・・カルボニル基含有 ・・・含Ｏ複素環を有するもの ・・含Ｎ感光基含有 ・・・ニトロ基含有 ・・・含Ｎ複素環を有するもの
BD32 BD33 BD36 BD37 BD38 BD40
・・含Ｓ感光基含有 ・・・含Ｓ複素環を有するもの ・・ハロゲン原子含有 ・・・ハロゲン化メチル基含有 ・・・ハロゲン化フェニル基含有 ・・その他の感光基
BD42 BD43 BD44 BD45 BD46 BD47 BD48
・・付加重合体 ・・・（メタ）アクリル系ポリマー ・・・（無水）マレイン酸系ポリマー ・・・ジエン系ポリマー ・・・ポリビニルアルコール系ポリマー ・・・ポリスチレン系ポリマー ・・・シリコン含有ポリマー
BD52 BD53 BD54 BD55
・・縮重合体又は重付加物 ・・・エポキシ樹脂 ・・・シリコン樹脂 ・・・・ポリシロキサン・ポリラダーシロキサン
BE BE00
酸を形成（分離）する感光材料 		BE01 BE02 BE04 BE05 BE07 BE08 BE10
・Ｏ－キノンジアジド系化合物 ・・Ｏ－キノンジアジド基を有する高分子 ・芳香族ニトロ化合物 ・・芳香族ニトロ基を有する高分子 ・オニウム塩 ・有機ハロゲン化合物 ・形成された酸により分解する化合物を併用するもの
BF BF00
光（放射線）崩壊性感光材料 		BF01 BF02 BF03 BF04 BF05 BF07 BF08 BF09
・（メタ）アクリル系ポリマー ・・（メタ）アクリル酸エステル単位を有するもの ・・・メチルメタクリレート単位を有するもの ・・（メタ）アクリロニトリル単位を有するもの ・・（メタ）アクリルアミド（イミド）単位を有するもの ・・側鎖にハロゲン原子を有するもの ・・α位の炭素に置換基（除メチル基）を有するもの ・・・ハロゲン原子を有するもの
BF11 BF12 BF13 BF14 BF15
・（メタ）アクリル系以外のビニル系ポリマー ・・α－アルケニルケトン系 ・・ポリビニルエーテル系 ・・ポリメチルスチレン系 ・・ポリヒドロキシスチレン系
BF21 BF23 BF24 BF25 BF27 BF29 BF30
・セルロース系 ・ポリスルフォン系 ・・ポリオレフィンスルフォン系 ・・ポリスチレンスルフォン系 ・ポリカーボネート系 ・その他 ・Ｓｉを有するもの
BG BG00
その他の光可溶化性（ポジ型）感光材料
BH BH00
溶解性以外の物性がかわる感光材料 		BH01 BH02 BH03 BH04 BH05
・分解除去されるもの ・接着性・粘着性がかわるもの ・親水性・親油性がかわるもの ・化学的反応性がかわるもの ・透過性・屈折率がかわるもの
BJ BJ00
物性又は製造法で特定される感光材料 		BJ01 BJ02 BJ03 BJ04 BJ05 BJ06 BJ07 BJ08 BJ09 BJ10
・溶解性 ・・水溶性 ・・エマルジョン ・分子量 ・・分子量分布 ・粘度 ・弾性 ・融点・軟化点 ・ガラス転移温度 ・製造法
CA CA00
重合開始剤・増感剤 		CA01 CA02 CA03 CA04 CA05 CA06 CA07 CA09
・カルボニル化合物 ・・アセトフェノン系 ・・ベンゾフェノン系 ・・ベンゾイン（エーテル）系 ・・ベンジルケタール系 ・・ベンジル系 ・・ベンゾイルオキシム系 ・・キサントン・チオキサントン系
CA11 CA13 CA14 CA15 CA17 CA18 CA19 CA20
・・ベンゾキノン・アントラキノン系 ・カルボニル化合物以外の化合物 ・・ハロゲン化合物（除オニウム塩） ・・・ハロゲン化銀 ・・含Ｏ化合物 ・・・過酸化物 ・・・有機カルボン酸（エステル） ・・・含Ｏ複素環化合物
CA22 CA23 CA24 CA25 CA26 CA27 CA28 CA30
・・含Ｎ化合物 ・・・アゾ化合物 ・・・・アゾニトリル系化合物 ・・・・ジアゾニウム化合物 ・・・アジド化合物 ・・・アミン・アミノ化合物 ・・・含Ｎ複素環化合物 ・・含Ｓ化合物
CA31 CA32 CA34 CA35 CA37 CA39
・・・メルカプタン・ジスルフィド類 ・・・含Ｓ複素環化合物 ・・含Ｐ化合物 ・・・ホスフィン ・・酸化還元系 ・・有機金属化合物
CA41 CA42 CA43 CA44 CA46 CA48 CA50
・・感光色素 ・・・メロシアニン・シアニン色素 ・・・スチリル染料 ・・・ロイコ染料 ・・有機ケイ素化合物 ・・オニウム塩 ・・その他の無機化合物
CB CB00
結合剤・非感光性高分子 		CB01 CB02 CB03 CB04 CB06 CB07 CB08 CB09 CB10
・天然高分子及びその変性物 ・・蛋白質及びその変性物 ・・・ゼラチン及びその変性物 ・・セルロース系 ・付加重合体 ・・ポリビニルアルコール系（含ポリ酢酸ビニル） ・・ポリオレフィン系 ・・・ポリ塩化ビニル ・・マレイン酸（共）重合体系
CB11 CB12 CB13 CB14 CB15 CB16 CB17 CB19 CB20
・・ジエン系 ・・・環化ゴム ・・ポリ（メタ）アクリル酸（塩）系 ・・ポリ（メタ）アクリル酸エステル系 ・・ポリ（メタ）アクリルアミド（イミド）系 ・・ポリスチレン系 ・・・ポリビニルフェノール系 ・縮重合体又は重付加物 ・・ポリエステル
CB21 CB22 CB23 CB24 CB25 CB26 CB28 CB29 CB30
・・ポリエーテル ・・ポリウレタン ・・ポリアミド ・・・可溶性ポリアミド ・・ポリイミド及びその前駆体 ・・その他の芳香族縮合環をもつもの及びその前駆体 ・・フェノール樹脂 ・・・ノボラック樹脂 ・・エポキシ樹脂
CB32 CB33 CB34
・シリコン含有樹脂 ・・ポリシロキサン・ポリラダーシロキサン ・・側鎖にＳｉを含有するもの
CB41 CB42 CB43 CB45 CB47 CB48
・官能基で特定されるもの ・・酸性基 ・・・カルボキシル基 ・・水酸基 ・・塩基性基 ・・・第４級アンモニウム塩
CB51 CB52 CB53 CB54 CB55 CB56 CB57 CB58 CB59 CB60
・物性で特定されるもの ・・溶解性 ・・・水溶性 ・・・エマルジョン ・・分子量 ・・・分子量分布 ・・粘度 ・・弾性 ・・融点・軟化点 ・・ガラス転移温度
CC CC00
添加剤 		CC01 CC02 CC03 CC04 CC05 CC06 CC07 CC08 CC09 CC10
・安定剤・重合禁止剤 ・紫外線吸収剤・かぶり防止剤 ・溶剤 ・界面活性剤 ・可塑剤 ・接着性向上剤 ・粘着防止剤 ・充填剤 ・導電性付与剤 ・帯電防止剤
CC11 CC12 CC13 CC14 CC15 CC16 CC17 CC20
・着色剤 ・・顔料 ・・染料 ・・変色又は発色するもの ・・・露光により変色又は発色するもの ・・・現像剤により変色又は発色するもの ・硬化剤（除感光性のもの） ・その他のもの
DA DA00
層構成 		DA01 DA02 DA03 DA04 DA05 DA06 DA08 DA09 DA10
・表面層 ・・材料 ・・機能に特徴のあるもの ・・・Ｏ２不透過層 ・・・粘着防止層 ・・・真空密着性の向上 ・感光（フォトレジスト）層の構造・形成 ・・構成成分の分布に特徴のあるもの ・・マイクロカプセル構造をもつもの
DA11 DA12 DA13 DA14 DA15 DA17 DA18 DA19 DA20
・・多層の感光層をもつもの ・・・各層の感光材料が同一であるもの ・・・感光材料の異なる層を二層有するもの ・・・・中間層を有するもの ・・・・コントラスト増強層（ＣＥＬ） ・支持体 ・・材料 ・・・金属以外 ・・構造・形状
DA21 DA23 DA24 DA25 DA26 DA27 DA29 DA30
・・・多層のもの ・平坦化層 ・・無機材料からなるもの ・・シリコン系ポリマーからなるもの ・・ポリイミド系ポリマーからなるもの ・・フェノール系ポリマーからなるもの ・非感光性画像形成層 ・・金属（金属化）層
DA31 DA32 DA33 DA34 DA35 DA36 DA37 DA38 DA39 DA40
・・着色層 ・・・変色・染色可能な層 ・剥離層 ・ハレーション防止層 ・接着層 ・親水（化）層 ・撥水・撥油（化）層 ・帯電防止層 ・受像層・被転写層 ・その他の層
EA EA00
層形成方法及びそのための装置 		EA01 EA03 EA04 EA05 EA06 EA07 EA08 EA10
・前処理 ・層形成 ・・塗布 ・・・回転塗布 ・・気相成長法・プラズマ重合・ＣＶＤ ・・ラングミュア・ブロジェット（ＬＢ）法 ・・ラミネート法 ・後処理（乾燥等）
FA FA00
画像形成法 		FA01 FA03 FA04 FA05 FA06 FA07 FA08 FA09 FA10
・露光前の処理 ・露光 ・・多重露光 ・・・全面予備露光 ・・・複数種の光源を用いるもの ・・密着露光 ・・近接露光 ・・投影露光 ・・走査露光
FA12 FA14 FA15 FA16 FA17 FA18 FA19 FA20
・現像前の処理 ・現像 ・・液体現像 ・・・現像剤が特定されるもの ・・・・水性現像剤 ・・・・現像剤により発色又は変色するもの ・・ドライ現像 ・・・プラズマを用いるもの
FA21 FA22 FA23 FA24 FA25 FA26 FA28 FA29 FA30
・・・加熱により除去するもの ・・・加熱により発色又は変色するもの ・・・粉体（トナー）現像 ・・・剥離現像 ・・・転写により発色又は変色するもの ・・・・マイクロカプセルを用いるもの ・現像後の処理 ・・ポストベーク ・・後露光
FA31 FA33 FA35 FA37 FA39 FA40
・・硬化剤による処理 ・・形成された画像の修正 ・・形成された画像の転写 ・・形成された画像の着色・染色 ・・その他の二次加工 ・・・ウェットエッチング
FA41 FA42 FA43 FA44 FA45 FA47 FA48 FA50
・・・ドライエッチング ・・・サンドブラスト ・・・メッキ・蒸着 ・・・・リフトオフ法 ・・・レジスト層以外の層の着色・染色 ・使用済レジスト層の除去・剥離 ・・剥離液による除去 ・感光層以外の層又はシートの除去・剥離
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