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| 2F065 | 光学的手段による測長装置 | 電気測定 |
| G01B11/00 -11/30,102@Z | ||
| G01B11/00-11/30,102@Z | AA | AA00 測定内容 |
AA01 | AA02 | AA03 | AA04 | AA06 | AA07 | AA09 | |||
| ・位置；移動量 | ・・１次元 | ・・２次元 | ・・３次元 | ・・光軸方向；距離 | ・・光軸と直交方向 | ・・移動量 | ||||||
| AA11 | AA12 | AA13 | AA14 | AA15 | AA16 | AA17 | AA18 | AA19 | AA20 | |||
| ・・特殊なもの（※） | ・・・エッジ位置 | ・・・・長手方向連続的 | ・・・パターン位置 | ・・・継ぎ目；重ね目 | ・・・部品装着位置 | ・・・中心位置；物体の重心 | ・・・事故．故障位置 | ・・・光ビームのスポット位置 | ・・・相対位置 | |||
| AA21 | AA22 | AA23 | AA24 | AA25 | AA26 | AA27 | AA28 | AA30 | ||||
| ・長さ；径；間隙；深さ | ・・１方向の | ・・２方向の | ・・高さ | ・・段差；深さ | ・・外径 | ・・内径 | ・・曲線長 | ・厚さ | ||||
| AA31 | AA32 | AA33 | AA34 | AA35 | AA36 | AA37 | AA38 | AA39 | AA40 | |||
| ・角度；姿勢 | ・・２直線のなす角度 | ・・２平面のなす角度 | ・・交点．交線を延長によって求めるもの | ・・面の方向；面法線の方向 | ・・テーパ角 | ・・物体の姿勢 | ・・・表裏又は特定の向き | ・・回転角 | ・・・クランク角 | |||
| AA42 | AA43 | AA45 | AA46 | AA47 | AA48 | AA49 | AA50 | |||||
| ・・・そうだ角 | ・・・ねじれ角 | ・形状パラメータ | ・・曲率；曲率半径；曲がり | ・・平坦度；平面度；真直度 | ・・真円度；真球度 | ・表面の不規則性 | ・・表面粗さ | |||||
| AA51 | AA52 | AA53 | AA54 | AA55 | AA56 | AA58 | AA59 | AA60 | ||||
| ・輪郭 | ・・断面 | ・・３次元的 | ・・・面上パターン | ・・肉厚分布 | ・・面内パターン | ・面積 | ・体積；容積 | ・内面の状態 | ||||
| AA61 | AA63 | AA65 | AA67 | AA69 | ||||||||
| ・種類；等級判別 | ・摩耗；侵食 | ・変形 | ・物体の通過 | ・被測定物への接触 | ||||||||
| BB | BB00 対象物１（形態；性質） |
BB01 | BB02 | BB03 | BB05 | BB06 | BB07 | BB08 | ||||
| ・平面平板（長手方向を特定できない） | ・・パターン有 | ・・円盤 | ・立体；曲面 | ・・円柱 | ・・球体 | ・・管；中空体 | ||||||
| BB11 | BB12 | BB13 | BB15 | BB16 | BB17 | BB18 | ||||||
| ・長尺体 | ・・線状 | ・・平面平板状 | ・移動物体 | ・回転体 | ・多層構造のもの | ・周期的な明暗，開口，溝 | ||||||
| BB21 | BB22 | BB23 | BB24 | BB25 | BB26 | BB27 | BB28 | BB29 | BB30 | |||
| ・光学的性状 | ・・透明体 | ・・半透明体 | ・・遮光体 | ・・鏡面 | ・・粗面 | ・被測定物にマークがあるもの | ・・マーク形状に特徴 | ・・マークが光を発するもの | ・・・けい光物質 | |||
| CC | CC00 対象物２（個別例） |
CC01 | CC02 | CC03 | CC04 | CC05 | CC06 | CC07 | CC08 | CC09 | CC10 | |
| ・プリント基板 | ・フィルム；シート | ・磁気ディスク；光ディスク | ・ねじ | ・歯車 | ・鋼板 | ・Ｈ型鋼；Ｔ型鋼 | ・タービンブレード | ・アンテナ | ・工具 | |||
| CC11 | CC12 | CC13 | CC14 | CC15 | CC16 | CC17 | CC18 | CC19 | CC20 | |||
| ・車両；自動車 | ・車輪 | ・タイヤ | ・建築物 | ・溶接部 | ・人体；動物 | ・半導体製造関連 | ・・フォトマスク単独 | ・・ウエハー単独 | ・・マスクとウエハー | |||
| CC21 | CC22 | CC23 | CC25 | CC26 | CC27 | CC28 | ||||||
| ・光学要素 | ・・レンズ | ・・光ファイバー | ・電子部品関連 | ・・ハンダ | ・・ボンディングワイヤ；リード | ・・実装状態 | ||||||
| CC31 | CC32 | CC34 | CC35 | CC37 | CC39 | CC40 | ||||||
| ・付着膜；蒸着膜 | ・エッチング | ・トロリー線 | ・レール | ・磁気ヘッド | ・炉内堆積物 | ・路面；トンネル内面 | ||||||
| DD | DD00 目的 |
DD01 | DD02 | DD03 | DD04 | DD05 | DD06 | DD07 | DD08 | DD09 | DD10 | |
| ・消費電力低減 | ・小型化；軽量化 | ・分解能向上 | ・ＳＮ比向上；ノイズ低減 | ・受光強度の増大 | ・処理高速化 | ・メモリ節約 | ・測定系の異常検出 | ・コントラストの増大又は制御 | ・・フォーカシング | |||
| DD11 | DD12 | DD13 | DD14 | DD15 | DD16 | DD17 | DD19 | |||||
| ・外乱成分対策 | ・・迷光 | ・・チリ；汚れ；水滴 | ・・振動 | ・・外乱成分の防止，ｅｇ．防水 | ・破損防止；測定器の保護 | ・断熱 | ・原点又は基準点の検出 | |||||
| EE | EE00 補償；補正 |
EE01 | EE02 | EE03 | EE04 | EE05 | EE06 | EE07 | EE08 | EE09 | EE10 | |
| ・温度 | ・・熱膨張 | ・光量変動 | ・・分布のバラツキ | ・倍率；被測定物までの距離 | ・・振動によるもの | ・・高さ；厚み | ・像歪み；収差 | ・受光素子の感度 | ・・そのバラツキ | |||
| EE11 | EE12 | |||||||||||
| ・スケール誤差 | ・スケールの曲がり | |||||||||||
| FF | FF00 測定方法 |
FF01 | FF02 | FF04 | FF05 | FF06 | FF07 | FF08 | FF09 | FF10 | ||
| ・結像によるもの | ・影をつくるもの | ・画像計測；写真計測 | ・・ステレオ法 | ・・モアレ縞 | ・・・格子投影 | ・・・格子照射（実体格子） | ・３角法 | ・合焦法 | ||||
| FF11 | FF12 | FF13 | FF15 | FF16 | FF17 | FF18 | FF19 | |||||
| ・光レーダ法 | ・・光パルス | ・・位相差 | ・エンコーダ利用 | ・・リニア | ・・ロータリー | ・・インクリメンタル | ・・アブソルート | |||||
| FF21 | FF22 | FF23 | FF24 | FF25 | FF26 | FF27 | FF28 | FF30 | ||||
| ・測定点を捜すもの | ・・当接部材による | ・・光ビームの投射又は視準 | ・・・固定２点から | ・・・可動２点から | ・・モニター画像上で | ・・・カーソル線による | ・・自動追尾 | ・尺取計尺 | ||||
| FF31 | FF32 | FF33 | FF34 | FF36 | FF38 | FF39 | FF40 | |||||
| ・時間測定 | ・・時間間隔測定 | ・・速度既知又は別途測定 | ・・速度未知 | ・速度又は角速度の積分 | ・直線変位→回転変位 | ・回転変位→直線変位 | ・間隙量への変換 | |||||
| FF41 | FF42 | FF43 | FF44 | FF46 | FF48 | FF49 | FF50 | |||||
| ・反射，散乱光の分布 | ・・分布の形 | ・・方向 | ・・・特定方向の光量 | ・光の吸収利用 | ・光の回折利用 | ・偏光特性利用 | ・・偏光解析 | |||||
| FF51 | FF52 | FF53 | FF54 | FF55 | FF56 | FF58 | FF59 | |||||
| ・干渉利用 | ・・２光束干渉 | ・・・シアリング干渉 | ・・ホログラフィー | ・・測長干渉計の利用 | ・・スペックル利用 | ・ライトガイドからの光の漏れ | ・ライトガイドへの光の侵入 | |||||
| FF61 | FF63 | FF64 | FF65 | FF66 | FF67 | FF68 | FF69 | FF70 | ||||
| ・標準物の利用 | ・非光学的手段との組みあわせ | ・・速度 | ・・角度 | ・・・回転量 | ・・位置；移動量 | ・・端部検知 | ・・温度 | ・・補償用 | ||||
| GG | GG00 光源 |
GG01 | GG02 | GG03 | GG04 | GG05 | GG06 | GG07 | GG08 | GG09 | GG10 | |
| ・光源種類 | ・・熱放射，ｅｇ．白熱灯 | ・・気体放電，ｅｇ．けい光灯 | ・・レーザ | ・・・ガスレーザ | ・・・半導体レーザ | ・・ＬＥＤ | ・・瞬間光源，ｅｇ．ストロボ | ・・被測定物自体 | ・・自然光 | |||
| GG11 | GG12 | GG13 | GG14 | GG15 | GG16 | GG17 | GG18 | |||||
| ・光源形態 | ・・点光源 | ・・点の配列 | ・・・列状 | ・・・面状 | ・・線状光源 | ・・環状光源 | ・・面状光源 | |||||
| GG21 | GG22 | GG23 | GG24 | GG25 | ||||||||
| ・波長 | ・・単色 | ・・複数波長 | ・・白色；連続波長 | ・・波長可変 | ||||||||
| HH | HH00 入射光 |
HH01 | HH02 | HH03 | HH04 | HH05 | HH06 | HH07 | HH08 | HH09 | HH10 | |
| ・強度分布 | ・・拡散光 | ・・平行光 | ・・スポット光；ビーム光 | ・・スリット光；帯状光 | ・・グリッド光；マルチスリット光 | ・・コード化パターン光 | ・偏光 | ・・直線偏光 | ・・円偏光又はだ円偏光 | |||
| HH11 | HH12 | HH13 | HH14 | HH15 | HH16 | HH17 | HH18 | |||||
| ・入射方向 | ・・斜め | ・・法線方向 | ・・複数方向 | ・・透過型 | ・・暗視野 | ・・明視野 | ・・入射方向可変 | |||||
| JJ | JJ00 受光部 |
JJ01 | JJ02 | JJ03 | JJ05 | JJ07 | JJ08 | JJ09 | ||||
| ・点検出 | ・線検出 | ・面検出 | ・複数の受光部 | ・配置；方向 | ・・被測定物に対し斜め | ・・被測定物に対し垂直 | ||||||
| JJ11 | JJ12 | JJ13 | JJ14 | JJ15 | JJ16 | JJ17 | JJ18 | JJ19 | ||||
| ・１つの受光部の素子数 | ・・０個 | ・・・写真；フィルム | ・・・拡散板；スクリーン | ・・１個 | ・・・ＰＳＤ | ・・・フォトマル | ・・・フォトダイオード | ・・・撮像管 | ||||
| JJ22 | JJ23 | JJ24 | JJ25 | JJ26 | ||||||||
| ・・数個 | ・・・２個 | ・・多数 | ・・・１次元状 | ・・・２次元状 | ||||||||
| KK | KK00 観測方式 |
KK01 | KK02 | KK03 | ||||||||
| ・連続 | ・断続 | ・瞬時 | ||||||||||
| LL | LL00 光学系 |
LL01 | LL02 | LL03 | LL04 | LL05 | LL06 | LL07 | LL08 | LL09 | LL10 | |
| ・ライトガイド | ・・光ファイバー | ・・・多数ファイバー | ・レンズ；レンズ系 | ・・変倍レンズ | ・・・ズームレンズ | ・・多焦点レンズ | ・・シリンドリカルレンズ | ・・ビームエキスパンダー | ・・その他の特殊レンズ（※） | |||
| LL11 | LL12 | LL13 | LL14 | LL15 | LL16 | LL17 | LL18 | LL19 | LL20 | |||
| ・完全反射体 | ・・平面鏡（プリズム含む） | ・・・回転又は振動 | ・・多面鏡 | ・・・回転 | ・・再帰反射体 | ・・・コーナーキューブ | ・・・多数の反射体の集合 | ・・球面鏡；放物面鏡 | ・波長選択ミラー（ダイクロイックミラー） | |||
| LL21 | LL22 | LL23 | LL24 | LL25 | LL26 | LL28 | LL29 | LL30 | ||||
| ・光学フィルター | ・・波長選択フィルター，ｅｇ．干渉フィルター | ・・・波長可変 | ・・光量制御用フィルター | ・・・濃淡板 | ・・カットオフフィルター | ・スリット | ・・回転スリット | ・絞り；シャッター；チョッパー；セクター | ||||
| LL31 | LL32 | LL33 | LL34 | LL35 | LL36 | LL37 | ||||||
| ・偏光関連要素 | ・・偏光器 | ・・・偏光子として | ・・・検光子として | ・・位相板 | ・・・λ／４板 | ・・ＰＢＳ | ||||||
| LL41 | LL42 | LL43 | LL44 | LL46 | LL47 | LL49 | LL50 | |||||
| ・格子 | ・・回折格子 | ・・・ＦＺＰ | ・・・・ＬＦＺＰ | ・プリズム（除ＬＬ１２） | ・・特殊プリズム | ・拡散板 | ・指標 | |||||
| LL51 | LL53 | LL55 | LL57 | LL59 | ||||||||
| ・光学要素としてのホログラム | ・電気光学的効果関連 | ・磁気光学的効果関連 | ・音響光学的効果関連 | ・テレセントリック光学系 | ||||||||
| LL61 | LL62 | LL63 | LL64 | LL65 | LL67 | LL68 | ||||||
| ・走査光学系 | ・・ミラー | ・・スリット | ・・光ファイバー | ・・その他 | ・分光器 | ・・モノクロメータ | ||||||
| MM | MM00 走査形態 |
MM01 | MM02 | MM03 | MM04 | MM06 | MM07 | MM08 | MM09 | |||
| ・相対移動による | ・・物体の移動 | ・・・直線移動 | ・・・回転 | ・・測定器全体の移動 | ・・・直線移動 | ・・・自転 | ・・・公転 | |||||
| MM11 | MM12 | MM13 | MM14 | MM15 | MM16 | |||||||
| ・投光系による走査 | ・・多数光源 | ・・投光器の移動 | ・・・直線移動 | ・・・回転 | ・・光学的走査 | |||||||
| MM21 | MM22 | MM23 | MM24 | MM25 | MM26 | MM28 | ||||||
| ・受光系による走査 | ・・自己走査型 | ・・受光器の移動 | ・・・直線移動 | ・・・回転 | ・・光学的走査 | ・・投光系との同期 | ||||||
| NN | NN00 制御 |
NN01 | NN02 | NN03 | NN05 | NN06 | NN08 | |||||
| ・光強度の | ・・光源出力 | ・・絞り，フィルターによる | ・光の位相の | ・光の波長の | ・光の変調 | |||||||
| NN11 | NN12 | NN13 | NN15 | NN16 | NN17 | NN18 | NN19 | NN20 | ||||
| ・受光部の | ・・蓄積時間 | ・・増幅度 | ・受光量モニター | ・・専用受光器 | ・・測定用を利用 | ・・・ピーク値 | ・・・平均値 | ・測定器以外の | ||||
| PP | PP00 装置全体の構造 |
PP01 | PP02 | PP03 | PP04 | PP05 | ||||||
| ・検出器の支持．保持関連 | ・・１次元駆動 | ・・２次元駆動 | ・・３次元駆動 | ・・首振り | ||||||||
| PP11 | PP12 | PP13 | PP15 | PP16 | PP17 | PP18 | ||||||
| ・対象物保持，載物手段 | ・・移動テーブル | ・・・回転のみ | ・・ベルトコンベア | ・・ローラ列 | ・・自然落下 | ・・回転軸への固定 | ||||||
| PP21 | PP22 | PP23 | PP24 | PP25 | PP26 | |||||||
| ・測定器の形態 | ・・投光．受光一体型 | ・・投影器 | ・・顕微鏡 | ・・ロボット | ・・測定用ピグ | |||||||
| QQ00 信号処理 |
QQ01 | QQ02 | QQ03 | QQ04 | QQ05 | QQ06 | QQ07 | QQ08 | QQ09 | |||
| ・サンプリング | ・ピークホールド | ・Ａ／Ｄ変換；多値化 | ・・２値化 | ・・・固定２値化 | ・・・・閾値が複数 | ・・・微分又は差分２値化 | ・・・閾値の決定，変更 | ・・・素子毎の２値化 | ||||
| QQ11 | QQ12 | QQ13 | QQ14 | QQ15 | QQ16 | QQ17 | QQ18 | |||||
| ・信号の遅延 | ・・シフトレジスタ利用 | ・信号の微分，差分 | ・信号の積分 | ・・移動平均 | ・フーリエ変換；逆フーリエ変換 | ・近似式，ｅｇ．多項式近似 | ・・最小２乗法 | |||||
| QQ21 | QQ23 | QQ24 | QQ25 | QQ26 | QQ27 | QQ28 | QQ29 | QQ30 | ||||
| ・形状特定のためのパラメータ抽出 | ・信号の記憶 | ・・画像の | ・信号の比較；減算 | ・・比 | ・信号の加算 | ・信号の特定位置の検出 | ・・極大値又は極小値をとる位置 | ・・ゼロクロス点；基準値との一致点 | ||||
| QQ31 | QQ32 | QQ33 | QQ34 | QQ35 | QQ36 | QQ37 | QQ38 | QQ39 | QQ40 | |||
| ・画像処理（含１次元） | ・・信号補正；輪郭強調 | ・・・フィルタリング | ・・・ノイズ除去 | ・・カーソル線発生 | ・・ウインドウ発生 | ・・マスキング | ・・パターンマッチング | ・・・標準パターンとの | ・・目盛線発生 | |||
| QQ41 | QQ42 | QQ43 | QQ44 | QQ45 | QQ47 | |||||||
| ・統計処理 | ・・平均，正規化 | ・・ヒストグラム作成 | ・・周波数分析 | ・・一軸への投影 | ・ゲート手段の利用 | |||||||
| QQ51 | QQ52 | QQ53 | QQ54 | |||||||||
| ・カウンター | ・・カウント開始点に特徴 | ・・カウント終了点に特徴 | ・・カウント値ホールド，ラッチ | |||||||||
| RR | RR00 比較基準データの作成，設定 |
RR01 | RR02 | RR03 | RR04 | RR05 | RR06 | RR07 | RR08 | RR09 | RR10 | |
| ・ワーク内部 | ・局所パターンでの比較 | ・比較相手 | ・・欠陥消去パターン | ・・形状特性値 | ・・形状以外の基準データ | ・・実物 | ・・正常品のデータ | ・・・測定後記憶するもの | ・その他 | |||
| SS | SS00 指示；記録 |
SS01 | SS02 | SS03 | SS04 | SS06 | SS07 | SS09 | ||||
| ・指示，記録内容 | ・・被測定物の像 | ・・キャラクター（文字，数字） | ・・等級；良．不良 | ・印字 | ・・被測定物への | ・警報 | ||||||
| SS11 | SS12 | SS13 | SS14 | SS15 | ||||||||
| ・指示，記録手段 | ・・光学的 | ・・・画面表示 | ・・・スクリーン | ・・音，音声 | ||||||||
| TT | TT00 操作 |
TT01 | TT02 | TT03 | TT04 | TT06 | TT07 | TT08 | ||||
| ・物品の整列搬入 | ・位置決め | ・選別 | ・清掃 | ・被測定物への処理，加工 | ・・測定前 | ・・測定後 | ||||||
| UU | UU00 特に重要な点 |
UU01 | UU02 | UU03 | UU04 | UU05 | UU06 | UU07 | UU08 | UU09 | ||
| ・投光系 | ・受光系 | ・測定器の保持・支持 | ・被測定物の保持・支持 | ・信号処理 | ・走査 | ・光学系 | ・・格子 | ・・指標 |