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2F064 | 光学的手段による測長計器 | 電気測定 |
G01B9/00 -9/10 |
G01B9/02-9/029 | AA | AA00 測定内容 |
AA01 | AA02 | AA03 | AA04 | AA06 | AA07 | AA09 | |||
・変位;位置 | ・・複数方向 | ・・移動方向の決定を含む | ・・2物体の相対位置又は変位 | ・姿勢;角度 | ・・多自由度 | ・表面形状 | ||||||
AA11 | AA13 | AA15 | AA16 | AA17 | ||||||||
・変形 | ・真直度;直線性 | ・干渉計自体に関する情報 | ・・シア量 | ・・シア原点 | ||||||||
BB | BB00 対象物 |
BB01 | BB03 | BB04 | BB05 | BB07 | ||||||
・移動テーブル | ・光学要素 | ・・レンズ | ・・ミラー | ・粗面 | ||||||||
G01B9/02-9/02098 | CC | CC00 目的 |
CC01 | CC02 | CC03 | CC04 | CC05 | CC06 | CC07 | CC08 | CC09 | CC10 |
・SN比の向上 | ・・縞コントラストの向上 | ・・不要縞の除去 | ・分解能向上 | ・・光路差増倍 | ・・・反射回数の増加 | ・反射光の軸ずれ防止 | ・波長安定化 | ・裏面反射防止 | ・その他※ | |||
DD | DD00 誤差対策;較正 |
DD01 | DD02 | DD03 | DD04 | DD05 | DD06 | DD07 | DD08 | DD09 | DD10 | |
・誤差原因 | ・・温度 | ・・・熱膨張 | ・・空気のゆらぎ | ・・振動 | ・・屈折率変化 | ・・反射鏡の傾き | ・誤差を防止するもの | ・較正 | ・・標準物使用 | |||
EE | EE00 タイプ |
EE01 | EE02 | EE04 | EE05 | EE06 | EE08 | EE09 | EE10 | |||
・マイケルソン型 | ・・トワイマン・グリーン型 | ・マッハ・ツェンダー型 | ・フィゾー型 | ・ファブリー・ペロー型 | ・シアリング型 | ・反射光帰還型 | ・その他※ | |||||
FF | FF00 光源 |
FF01 | FF02 | FF03 | FF05 | FF06 | FF07 | FF08 | FF10 | |||
・レーザー | ・・その種類※ | ・レーザー以外 | ・単色光 | ・2周波 | ・連続波長;白色 | ・波長可変 | ・光量安定化 | |||||
GG | GG00 光学系 |
GG01 | GG02 | GG03 | GG04 | GG06 | ||||||
・導波手段 | ・・光ファイバー | ・・・単一モード | ・・・偏波面保存 | ・・光導波路 | ||||||||
GG11 | GG12 | GG13 | GG14 | GG15 | GG16 | GG17 | GG18 | GG20 | ||||
・測定又は参照光の反射手段 | ・・平面鏡 | ・・プリズム | ・・拡散反射面 | ・・再帰反射体 | ・・・コーナーキューブ | ・・ファイバー又は光導波路端部 | ・・反射手段の角度言及 | ・光路途中の特殊反射体 | ||||
GG21 | GG22 | GG23 | GG24 | |||||||||
・光束の分離結合手段 | ・・ハーフミラー;ビームスプリッター | ・・偏光ビームスプリッター | ・・ファイバー又は光導波路の結合 | |||||||||
GG31 | GG32 | GG33 | GG34 | GG35 | GG37 | GG38 | GG39 | GG40 | ||||
・偏光関連(除、GG21) | ・・偏光器 | ・・・偏光子として | ・・・検光子として | ・・・種類言及※ | ・・位相板 | ・・・λ/4板 | ・・・λ/2板 | ・・・補償板 | ||||
GG41 | GG42 | GG44 | GG45 | GG46 | GG47 | GG49 | ||||||
・フィルター | ・・波長選択フィルター | ・レンズ | ・・ロッドレンズ | ・・フレネルレンズ | ・・その他の特殊レンズ※ | ・回折素子 | ||||||
GG51 | GG52 | GG53 | GG55 | GG57 | GG58 | GG59 | ||||||
・位相又は光路長制御手段 | ・・幾何学長制御 | ・・位相シフター | ・光周波数制御手段 | ・光路切替手段 | ・・光学素子の交換 | ・・シャッターを含む | ||||||
GG61 | GG62 | GG63 | GG64 | GG65 | GG66 | GG68 | GG69 | GG70 | ||||
・縞走査光学系 | ・・2方向シア | ・光学要素の取り付け | ・光学要素の調整 | ・・フォーカシング | ・・光軸調整 | ・電気光学的効果関連 | ・磁気光学的効果関連 | ・音響光学的効果関連 | ||||
HH | HH00 検出部 |
HH01 | HH02 | HH03 | HH04 | HH05 | HH06 | HH07 | HH08 | HH09 | HH10 | |
・点検出 | ・線検出 | ・面検出 | ・受光素子の数、形態 | ・・1つ | ・・2~4 | ・・ラインセンサー | ・・2次元固体撮像素子 | ・・撮像管 | ・干渉をうけない光検出 | |||
JJ | JJ00 処理部 |
JJ01 | JJ02 | JJ03 | JJ04 | JJ05 | JJ06 | |||||
・干渉縞解析 | ・・縞間隔又は空間周波数測定 | ・・包絡線検出 | ・周波数測定 | ・ビート測定 | ・メモリーあり | |||||||
JJ11 | JJ12 | JJ13 | JJ15 | |||||||||
・カウンタあり | ・・強度変化の回数 | ・・分周・逓倍を含む | ・フーリエ変換;逆フーリエ変換 | |||||||||
KK | KK00 全体構造;その他の特徴点 |
KK01 | KK04 | |||||||||
・全体構造 | ・その他の特徴点※ | |||||||||||
G01B9/021-9/029 | LL | LL00 ホログラフィー技術 |
LL01 | LL02 | LL03 | LL04 | LL06 | LL07 | LL08 | |||
・等高線作成用 | ・2重露光方式 | ・実時間方式 | ・時間平均方式 | ・ホログラム作成に特徴 | ・・ホログラム素子 | ・・・繰り返し使用可能 | ||||||
LL11 | LL13 | LL15 | ||||||||||
・再生法に特徴 | ・シアリング干渉 | ・複数ホログラム | ||||||||||
G01B9/04;9/08 | MM | MM00 顕微鏡;投影器 |
MM01 | MM02 | MM03 | MM04 | MM05 | MM06 | MM08 | MM09 | MM10 | |
・照明 | ・・透過照明 | ・・反射照明 | ・・・垂直反射 | ・・・斜め反射 | ・・透過・反射の共用 | ・・倍率による照明変化 | ・・均一照明 | ・・光源位置の測定 | ||||
MM11 | MM12 | MM13 | MM14 | MM15 | MM16 | MM17 | MM18 | MM19 | ||||
・指標;目盛 | ・・長さ目盛 | ・・角度目盛 | ・・単なる指標,eg.十字線 | ・・移動するもの | ・・投影するもの | ・・・光路途中にあるもの,eg.焦点板 | ・・・別光路で合成 | ・・スクリーン上の目盛 | ||||
MM21 | MM22 | MM23 | MM24 | MM25 | MM26 | MM28 | MM29 | |||||
・載物台 | ・・移動するもの | ・・・光軸方向 | ・・・光軸垂直方向の並進 | ・・・回転 | ・・・移動量測定 | ・スクリーン | ・・回転スクリーン | |||||
MM31 | MM32 | MM33 | MM34 | MM36 | MM37 | MM38 | MM39 | MM40 | ||||
・移動鏡筒;フォーカシング | ・・光軸方向 | ・・光軸垂直方向 | ・・移動量測定 | ・1つの物体を2重投影 | ・複数物体の投影 | ・・光路合成 | ・・・色をかえる | ・・・・補色 | ||||
MM41 | MM42 | MM44 | MM45 | MM47 | MM48 | MM50 | ||||||
・被測定物への照射マーキング | ・被測定物の視準機構 | ・光電変換器との結合 | ・・撮像装置との | ・特徴ある光学系 | ・・像移動用 | ・測定値の指示 |