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C23F4/00 グループＣ２３Ｆ１／００またはＣ２３Ｆ３／００に分類されない，表面から金属質材料を除去するための方法［４］ HB CC 4K057 C23F4/00@A ドライエツチングによるもの HB CC 4K057 C23F4/00@Z その他のもの HB CC 4K057 C23F4/02 ・蒸発によるもの［４］ HB CC 4K057 C23F4/04 ・物理的分解によるもの［４］ HB CC 4K057