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B81B7/00 マイクロ構造システム[7] HB CC 3C081 B81B7/02 ・その機能に特に適した,別体の電気的または光学的装置を含むもの,例.マイクロ電気機械装置[MEMS](B81B7/04が優先)[2006.01] HB CC 3C081 B81B7/04 ・同種のマイクロ構造装置のネットワーク,または配列[7] HB CC 3C081