| テーマグループ選択に戻る | 一階層上へ |
３Ｃ０５２から分割（Ｈ１２）、３Ｃ０８２へ分割（Ｈ１４）、ＦＩテーマのＦターム化（Ｈ１８）
| 3C081 | マイクロマシン | 加工機械 |
| B81B1/00 -7/04;B81C1/00-99/00 | ||
| B81B1/00-7/04;B81C1/00-99/00 | AA | AA00 目的，効果＊ |
AA01 | AA02 | AA03 | AA04 | AA05 | AA07 | AA09 | AA10 | ||
| ・精度，信頼性向上 | ・・貼着（スティクション）防止 | ・・清浄化，発塵防止 | ・・熱対策 | ・・・冷却、放熱 | ・強度，剛性向上 | ・省エネ，省電力（低電圧化，低電流化含む） | ・エネルギ供給 | |||||
| AA11 | AA13 | AA14 | AA15 | AA17 | AA18 | AA19 | AA20 | |||||
| ・小型化，高集積化 | ・動作改良 | ・・高速化 | ・・異常対策 | ・工程改良 | ・・プロセス効率化，安定化 | ・・・工程削減 | ・・・処理時間短縮 | |||||
| BA | BA00 形状，構成＊ |
BA01 | BA02 | BA03 | BA04 | BA05 | BA06 | BA07 | BA08 | BA09 | BA10 | |
| ・形状に特徴＊ | ・・凹形状＊＊ | ・・・貫通 | ・・・非貫通 | ・・・断面形状＊＊ | ・・・・縦断面形状 | ・・櫛歯形状 | ・・表面形状＊＊ | ・・・凹凸（粗さ，配列パターン） | ・・・平滑 | |||
| BA11 | BA12 | |||||||||||
| ・・積層，多層構造＊＊ | ・・線，管＊＊ | |||||||||||
| BA21 | BA22 | BA23 | BA24 | BA25 | BA26 | BA27 | BA28 | BA29 | BA30 | |||
| ・構成要素＊ | ・・電気素子＊＊ | ・・マイクロチャンネル | ・・・混合，分離部 | ・・・ポンプ（ポンプ作用），弁 | ・・・加熱，冷却部 | ・・光学素子＊＊ | ・・・ミラー | ・・機械要素＊＊ | ・・封止部材，封止構造＊＊ | |||
| BA31 | BA32 | BA33 | ||||||||||
| ・・周辺構成に特徴＊＊ | ・・・配線，電気接続 | ・・・制御回路，駆動回路 | ||||||||||
| BA41 | BA42 | BA43 | BA44 | BA45 | BA46 | BA47 | BA48 | BA49 | BA50 | |||
| ・可動部＊ | ・・可撓性を有するもの＊＊ | ・・・片持ち梁 | ・・・複数支持梁 | ・・・ダイヤフラム（面） | ・・・可撓部又は支持部の形状 | ・・・捩れ運動するもの（着目点が回転揺動運動） | ・・・直線運動するもの（着目点が直線往復運動） | ・・可動性を有するもの＊＊ | ・・・直線運動するもの | |||
| BA51 | BA52 | BA53 | BA54 | BA55 | BA56 | BA57 | BA58 | BA59 | BA60 | |||
| ・・・回転運動するもの | ・・駆動手段＊＊ | ・・・静電力 | ・・・電磁力 | ・・・圧電，磁歪，電歪 | ・・・流体圧 | ・・・熱 | ・・・・バイメタル | ・・・光 | ・・・化学的，生物学的作用 | |||
| BA71 | BA72 | BA74 | BA75 | BA76 | BA77 | BA78 | BA79 | BA80 | ||||
| ・配置状態に特徴＊＊ | ・・アレイ，マトリックス状 | ・検知対象に特徴＊ | ・・速度，加速度 | ・・位置，角度，変位 | ・・力，圧力 | ・・流量 | ・・温度 | ・・光 | ||||
| BA81 | ||||||||||||
| ・動作環境に特徴＊ | ||||||||||||
| CA | CA00 プロセス＊ |
CA01 | CA02 | CA03 | CA05 | |||||||
| ・多段階処理による製造＊＊ | ・・基板上での製造＊＊ | ・・・犠牲層を使用するもの | ・組み立てによる製造＊＊ | |||||||||
| CA11 | CA12 | CA13 | CA14 | CA15 | CA16 | CA17 | CA18 | CA19 | CA20 | |||
| ・加工方法，手段＊ | ・・除去加工＊＊ | ・・・エッチング＊＊ | ・・・・ドライエッチング | ・・・・ウェットエッチング | ・・・・停止層を使用するもの | ・・・ビーム加工＊＊ | ・・・機械加工＊＊ | ・・・・切削、切断 | ・・・・研削，研磨 | |||
| CA21 | CA22 | CA23 | CA24 | CA25 | CA26 | CA27 | CA28 | CA29 | CA30 | |||
| ・・・噴射加工＊＊ | ・・・放電，電解加工 | ・・リソグラフィ＊＊ | ・・・シンクロトロン放射光を利用するもの | ・・付加加工＊＊ | ・・・成膜＊＊ | ・・・・ＰＶＤ＊＊ | ・・・・・スパッタリング | ・・・・ＣＶＤ | ・・・・メッキ，電鋳 | |||
| CA31 | CA32 | CA33 | CA34 | CA35 | CA36 | CA37 | CA38 | CA39 | CA40 | |||
| ・・・・印刷，コーティング，転写 | ・・・接合，接着＊＊ | ・・・・陽極接合 | ・・光造形＊＊（出発材料が気体の場合含む） | ・・成形加工＊＊ | ・・・型転写＊＊ | ・・・・ナノインプリント | ・・・注型，モールド | ・・・焼結 | ・・改質，熱処理＊＊ | |||
| CA41 | CA42 | CA43 | CA44 | CA45 | ||||||||
| ・その他の処理＊ | ・・素子分割（ダイシング） | ・・洗浄 | ・・試験，検査，調整 | ・・設計，シミュレーション | ||||||||
| DA | DA00 材料＊ |
DA01 | DA02 | DA03 | DA04 | DA05 | DA06 | DA07 | DA08 | DA09 | DA10 | |
| ・基体材料＊ | ・・半導体＊＊ | ・・・単結晶シリコン | ・・・ＳＯＩ | ・・無機材料＊＊ | ・・・ガラス | ・・・セラミック＊＊ | ・・・・酸化物 | ・・・・窒化物 | ・・有機材料＊＊ | |||
| DA11 | DA12 | |||||||||||
| ・・金属＊＊ | ・・複合材料＊＊ | |||||||||||
| DA21 | DA22 | DA23 | DA24 | DA25 | DA26 | DA27 | DA28 | DA29 | DA30 | |||
| ・機能付加材料＊ | ・・保護，補強材料＊＊ | ・・貼着（スティクション）防止材料＊＊ | ・・反射材料＊＊ | ・・導電，配線材料＊＊ | ・・・ａ－Ｓｉ，ｐ－Ｓｉ | ・・・金属 | ・・絶縁材料＊＊ | ・・・無機材料＊＊ | ・・・・酸化物 | |||
| DA31 | DA32 | |||||||||||
| ・・・有機材料＊＊ | ・・・複合材料＊＊ | |||||||||||
| DA41 | DA42 | DA43 | DA44 | DA45 | DA46 | |||||||
| ・プロセス補助材料＊ | ・・保護，補強材料＊＊ | ・・・マスク材料 | ・・・停止層材料 | ・・犠牲材料＊＊ | ・・型材料＊＊ | |||||||
| EA | EA00 用途＊ |
EA01 | EA02 | EA03 | EA04 | EA05 | EA07 | EA08 | EA09 | |||
| ・センサ＊ | ・・速度，加速度センサ | ・・力，圧力，トルクセンサ | ・・温度（熱）センサ | ・・ガスセンサ | ・光学部品，光学機器＊ | ・・光変調，光偏向＊＊ | ・・・光スイッチ | |||||
| EA11 | EA12 | EA14 | EA15 | EA17 | EA18 | EA19 | ||||||
| ・画像表示装置＊ | ・・デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ） | ・情報記録機器＊ | ・・磁気ヘッド部品 | ・表面解析装置＊ | ・・走査プローブ顕微鏡＊＊ | ・・・ＡＦＭ，ＳＴＭ | ||||||
| EA21 | EA22 | EA23 | EA24 | EA26 | EA27 | EA28 | EA29 | |||||
| ・電気素子，電気機器＊ | ・・共振器，フィルタ | ・・リレー，スイッチ | ・・キャパシタ，インダクタ | ・分析，反応機器＊＊ | ・・μ－ＴＡＳ | ・・マイクロリアクタ | ・・バイオチップ | |||||
| EA31 | EA32 | EA33 | EA34 | EA35 | EA37 | EA39 | ||||||
| ・流体機器＊＊ | ・・マイクロポンプ | ・・マイクロバルブ | ・・ノズル＊＊ | ・・・インクジェットノズル | ・分離，混合装置＊＊ | ・医療機器＊＊ | ||||||
| EA41 | EA43 | EA45 | ||||||||||
| ・アクチュエータ＊＊ | ・マニピュレータ＊＊ | ・機械要素＊＊ |