このページは、メイングループH01J27/00内の「IPC」を全て表示しています。 |
CC:コンコーダンス |
| イオンビーム管(H01J25/00,H01J33/00,H01J37/00が優先;粒子加速器H05H) | CC | ||
| ・イオン源;イオン銃[3] | CC | ||
| ・・反射放電を利用するもの,例.ペニングイオン源[3] | CC | ||
| ・・・磁界を加えないもの[3] | CC | ||
| ・・アーク放電を利用するもの[3] | CC | ||
| ・・・デュオプラズマトロン[3] | CC | ||
| ・・・・膨張カップを備えたもの[3] | CC | ||
| ・・・加えられた磁界を利用する他のアーク放電によるイオン源[3] | CC | ||
| ・・高周波励起,例.マイクロ波励起,を利用するもの[3] | CC | ||
| ・・・軸方向に加えられた磁界を有するもの[3] | CC | ||
| ・・粒子の衝撃を利用するもの,例.電離器[3] | CC | ||
| ・・・金属イオン源[3] | CC | ||
| ・・光電離を利用するもの,例.レーザビームを用いるもの[3] | CC | ||
| ・・表面電離を利用するもの,例.電界効果イオン源,熱イオン源(H01J27/20,H01J27/24が優先)[3] | CC |