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リスト部分改訂旧5F044(R7)、5F107から統合(R7)
| 5F144 | コネクタ・ボンディング(除ダイアタッチ) | 電子デバイス |
| H10W72/00 -72/29,103;72/40-72/90 | ||
| H10W72/00-72/29,103;72/40-72/90 | AA | AA00 ワイヤによるチップ電極との接続構造 |
AA01 | AA02 | AA03 | AA04 | AA05 | AA07 | AA08 | AA09 | AA10 | |
| ・リードフレームとの接続 | ・配線基板との接続 | ・・基板配線にメッキしているもの | ・・基板配線にボンディングチップがあるもの | ・・基板配線の配置,形状に関するもの | ・パッケージの配線部との接続 | ・・配線部が多層のもの | ・ステムのリードとの接続 | ・中継部材との接続 | ||||
| AA11 | AA12 | AA14 | AA15 | AA18 | AA19 | AA20 | ||||||
| ・マウントアイランドと同電位の部材との接続 | ・他の素子電極との接続 | ・チップ電極のワイヤ接続部 | ・・保護膜を形成しているもの | ・同一のパッド電極に複数本のワイヤ接続 | ・同一のリードに複数本のワイヤ接続 | ・ワイヤ配置 | ||||||
| BB | BB00 ワイヤボンディング装置 |
BB01 | BB02 | BB03 | BB04 | BB05 | BB06 | BB09 | BB10 | |||
| ・ボンディングツール | ・・ボンディングツールを複数もつもの | ・ボンディングアーム駆動部 | ・・カムによるもの | ・・磁気によるもの | ・ボンディング圧力,荷重調整部 | ・ワイヤボール形成 | ・・水素トーチによるもの | |||||
| BB11 | BB12 | BB13 | BB14 | BB15 | BB16 | BB17 | BB19 | BB20 | ||||
| ・・電気的放電によるもの | ・・・放電電極の構造 | ・・・放電雰囲気 | ・ワイヤ供給部 | ・ワイヤクランパ | ・ワイヤ張力調整 | ・・空気を吹きつけるもの | ・XYテーブル | ・被ボンディング部材の載置部 | ||||
| BB21 | BB22 | BB23 | BB25 | |||||||||
| ・リードフレーム押え | ・被ボンディング部材の移送,機械的位置決め | ・空気のゆらぎ防止 | ・リードフレーム等の加熱部 | |||||||||
| CC | CC00 ワイヤボンディング方法 |
CC01 | CC02 | CC03 | CC04 | CC05 | CC06 | CC07 | ||||
| ・前処理 | ・後処理 | ・ボンディング時の雰囲気 | ・温度,加熱,冷却 | ・ボンディングツールの動き | ・ハンダ,ロウ,接着剤でボンディング | ・ボンディング部の補強 | ||||||
| DD | DD00 光学的ボンディング位置検知 |
DD01 | DD02 | DD03 | DD04 | DD05 | DD06 | DD07 | DD08 | DD10 | ||
| ・光学的位置合わせ,位置決め | ・位置検知 | ・・チップの位置検知 | ・・・チップの外形によるもの | ・・・チップのパッド電極によるもの | ・・・検知用パターンによるもの | ・・リードの位置検知 | ・・粗調整後に精密検知 | ・位置検知部とボンディング部が独立 | ||||
| DD11 | DD12 | DD13 | DD16 | DD17 | DD18 | DD19 | DD20 | |||||
| ・自動ボンディング | ・・半自動ボンディング | ・・完全自動ボンディング | ・位置検知用パターン | ・・チップに設けたもの | ・・リード,配線基板に設けたもの | ・・パターン,チップ輪郭明確化 | ・光学系に特徴があるもの | |||||
| EE | EE00 ボンディングパッド電極 |
EE01 | EE02 | EE03 | EE04 | EE06 | EE07 | EE08 | ||||
| ・パッドの形状 | ・パッドの配置 | ・・千鳥状 | ・パッドの材料 | ・パッドが多層構造になっているもの | ・検査用パッド | ・パッドの腐蝕防止,耐湿改善したもの | ||||||
| EE11 | EE12 | EE13 | EE14 | EE15 | EE16 | EE17 | EE18 | EE20 | ||||
| ・機械的破損を防止したもの | ・パッドの剥れを防止したもの | ・ワイヤとパッドの密着力を増強したパッド | ・電極配線の切断を防止したもの | ・パープルプレーグを防止したもの | ・静電破壊を防止したもの | ・浮遊容量の小さいパッド | ・パッドによるキャパシタ形成 | ・高集積度化したもの | ||||
| EE21 | ||||||||||||
| ・パッド電極の形成方法 | ||||||||||||
| FF | FF00 ワイヤコネクタ(ボンディングワイヤ) |
FF01 | FF02 | FF03 | FF04 | FF05 | FF06 | FF07 | FF08 | |||
| ・ワイヤを絶縁被覆したもの | ・ワイヤを金属で被覆したもの | ・ワイヤ材料 | ・・貴金属を主体とするもの | ・・・Auを主体とするもの | ・・・Agを主体とするもの | ・・Alを主体とするもの | ・・Cuを主体とするもの | |||||
| FF11 | FF12 | FF13 | FF15 | |||||||||
| ・形状に特徴があるもの | ・異なる太さのワイヤで接続しているもの | ・物性,結晶に特徴があるもの | ・ワイヤの製造方法 | |||||||||
| GG | GG00 リードフレーム |
GG01 | GG02 | GG03 | GG04 | GG05 | GG07 | GG08 | GG10 | |||
| ・メッキ,蒸着処理したもの | ・クラッド処理したもの | ・インナーリードの形状,配置 | ・・リードフレームが多層構造のもの | ・・リードを補強しているもの | ・タブ,タブリードに特徴 | ・・タブレスリードフレーム | ・リードフレームの製造方法,装置 | |||||
| HH | HH00 ワイヤショート防止 |
HH01 | HH02 | HH04 | HH05 | HH06 | ||||||
| ・リード部の形状,配置に特徴 | ・絶縁物,絶縁領域を配置するもの | ・ボンディング時に補助部材を用いるもの | ・気体を吹きつけるもの | ・ボンディング後にワイヤループを修正 | ||||||||
| JJ | JJ00 ワイヤボンディング関連事項 |
JJ01 | JJ03 | JJ05 | JJ08 | |||||||
| ・赤外線,レーザ光線を用いるもの | ・容器,樹脂封止に関するもの | ・冷却に関するもの | ・マウントアイランドとリードとの接続 | |||||||||
| KK | KK00 バンプコネクタ(バンプ電極) |
KK01 | KK02 | KK03 | KK04 | KK05 | KK06 | KK07 | KK08 | KK09 | KK10 | |
| ・構造に特徴 | ・・バンプ本体の構造 | ・・・同種材料の組合せ | ・・・異種材料の組合せ | ・・・・積層構造のもの | ・・・・基部と被覆部からなるもの | ・・・・・基部が円柱状,きのこ状 | ・・・バンプ本体の形状に特徴 | ・・下地金属[UBM]の構造 | ・・電極パッドの構造 | |||
| KK12 | KK13 | KK14 | KK16 | KK17 | KK18 | KK19 | KK20 | |||||
| ・・絶縁膜の構造 | ・・・樹脂層を積層したもの | ・・基板の構造 | ・・複数のバンプ電極の配置パターンに特徴 | ・・・特別の機能をもつバンプを選択的に配置 | ・・・配置箇所に応じて形状を変化 | ・・接続先電極との形状,材質等の組合せに特徴 | ・・その他(構造) | |||||
| KK21 | KK22 | KK23 | KK24 | KK25 | KK26 | KK27 | KK28 | KK30 | ||||
| ・材料,成分の選択に特徴 | ・・バンプ本体の材料,成分 | ・・・合金からなるもの | ・・・導電性樹脂からなるもの | ・・下地金属[UBM]の材料,成分 | ・・・合金層をもつもの | ・・電極パッドの材料,成分 | ・・絶縁膜の材料,成分 | ・・その他(材料,成分) | ||||
| KK31 | KK32 | KK33 | KK34 | KK35 | KK36 | KK37 | ||||||
| ・製造方法に特徴 | ・・バンプ本体の製造(載置はKK52) | ・・・メッキ | ・・・蒸着,スパッタ,CVD | ・・・浸漬 | ・・・印刷,ペースト,焼結 | ・・・転写 | ||||||
| KK42 | KK43 | KK44 | KK45 | KK46 | KK47 | |||||||
| ・・下地金属[UBM]の製造 | ・・・蒸着,スパッタ,CVD | ・・・リフトオフ | ・・・エッチング | ・・電極パッドの製造 | ・・絶縁膜,フォトレジスト等の製造 | |||||||
| KK52 | KK53 | KK54 | KK55 | KK56 | KK58 | KK60 | ||||||
| ・・バンプの載置 | ・・・ボールバンプの載置 | ・・・ワイヤボール,スタッドバンプの製造,載置 | ・・・・キャピラリの形状,動作 | ・・・・治具の形状,動作 | ・・バンプコネクタ製造装置 | ・・その他(製造) | ||||||
| LL | LL00 ワイヤレスボンディング用半導体チップ |
LL01 | LL02 | LL03 | LL04 | LL05 | LL06 | LL07 | LL08 | LL09 | ||
| ・バンプ電極(KKタームも参照) | ・・形状,配置 | ・・材料 | ・・製造方法 | ・バンプの下地金属[UBM]層(KK参照) | ・パッド電極(KKタームも参照) | ・チップ両面に電極があるもの | ・ショート防止 | ・識別,位置合わせ用の孔,マーク | ||||
| MM | MM00 ワイヤレスボンディング関連事項 |
MM01 | MM02 | MM03 | MM04 | MM06 | MM08 | MM10 | ||||
| ・複数チップのボンディング | ・・チップとチップの間のボンディング | ・・積層したチップへのボンディング | ・・同一リードに複数のチップをボンディング | ・チップの裏面をリードに接続するもの | ・ワイヤ・ワイヤレスボンディング併用,共用 | ・放熱 | ||||||
| MM12 | MM14 | MM16 | MM17 | MM18 | MM19 | |||||||
| ・レーザ,赤外線使用 | ・フィルムキャリアのスペーサ | ・容器,封止 | ・・封止材料 | ・・封止構造 | ・・封止方法 | |||||||
| NN | NN00 フェイスダウンボンディング用配線基板 |
NN01 | NN02 | NN03 | NN04 | NN05 | NN06 | NN07 | NN08 | NN09 | NN10 | |
| ・基板 | ・・樹脂基板 | ・・・フレキシブル基板 | ・・セラミック基板 | ・・半導体基板,金属基板 | ・・透明基板 | ・・多層配線基板 | ・・補助基板,チップキャリア | ・配線パターンに特徴があるもの | ・・両面配線 | |||
| NN11 | NN12 | NN13 | NN14 | NN15 | NN16 | NN17 | NN18 | NN19 | ||||
| ・電極部に特徴があるもの | ・・パッドパターン | ・・金属多層 | ・・・ハンダコーティング | ・・ハンダダム | ・・バンプ(KKタームも参照) | ・・・形状,配置 | ・・・材料 | ・・・製造方法 | ||||
| NN21 | NN23 | NN25 | NN27 | |||||||||
| ・位置合わせマーク | ・チップ位置決め構造体 | ・ボンディング孔を設けたもの | ・基板にレジン注入孔を設けたもの | |||||||||
| PP | PP00 フェイスダウンボンディング |
PP01 | PP02 | PP04 | PP05 | PP07 | PP09 | |||||
| ・直接ハンダ付け状態 | ・・基板の貫通孔を介してハンダ付け | ・ハンダ付け方法 | ・・加熱方法 | ・導電性ペースト,導電性接着剤によるもの | ・異方性導電材料によるもの | |||||||
| PP11 | PP12 | PP13 | PP15 | PP17 | PP19 | |||||||
| ・アンダーフィル材料でチップと基板側を密着 | ・・アンダーフィル材料に特徴 | ・介在物を介して接続 | ・接触によるもの | ・基板とチップ間のスペーサ | ・ハンダパッキング | |||||||
| QQ00 フェイスダウンボンディング装置 |
QQ01 | QQ02 | QQ03 | QQ04 | QQ05 | QQ10 | ||||||
| ・フェイスダウンボンディング装置の構成 | ・・ボンディングツール | ・・位置合わせ,位置決め | ・・チップの配位板,トレー | ・・加熱部,冷却部 | ・・その他 | |||||||
| RR | RR00 フィルムキャリア |
RR01 | RR02 | RR03 | RR04 | RR06 | RR07 | RR08 | ||||
| ・種類 | ・・金属層のみのもの | ・・絶縁フィルムに一層の金属箔を設けたもの | ・・金属箔が多層のもの | ・絶縁フィルムテープ | ・・フィルムにスリット,溝を形成したもの | ・・フィルムの補強 | ||||||
| RR11 | RR13 | RR14 | RR15 | RR16 | ||||||||
| ・接着剤 | ・デバイスホール | ・・複数列のもの | ・・複数種類のもの | ・・デバイスホールのないもの | ||||||||
| RR21 | RR22 | RR23 | RR24 | RR25 | RR26 | RR27 | RR28 | |||||
| ・リード | ・・材料 | ・・メッキ,ハンダコーティング | ・・リード変形防止 | ・・インナーリード | ・・アウターリード | ・・素子保持導体 | ・・応力緩和パターン | |||||
| RR31 | RR32 | RR33 | RR34 | RR35 | RR38 | RR39 | RR40 | |||||
| ・バンプ(KKタームも参照) | ・・エッチングによるもの | ・・転写によるもの | ・・プレスによるもの | ・・メッキによるもの | ・テストパッド | ・アウターリードホール | ・スプロケットホール | |||||
| RR41 | RR42 | RR43 | RR44 | RR45 | RR46 | RR47 | RR48 | RR49 | RR50 | |||
| ・識別,特性表示 | ・位置合わせ用孔,マーク | ・静電気防止 | ・短絡防止 | ・ハンダダム | ・フィルム上に電気素子を形成したもの | ・α線遮蔽 | ・フィルムキャリアの形成方法 | ・フィルムキャリアの形成装置 | ・フィルムキャリアを湾曲,折曲したもの | |||
| SS | SS00 フィルムキャリアボンディング |
SS01 | SS02 | SS03 | SS04 | SS05 | SS06 | SS07 | SS08 | SS09 | SS10 | |
| ・インナーリードボンディング | ・・ボンディングされた装置 | ・・ボンディング方法 | ・・・ハンダによるもの | ・・・異方性導電材料によるもの | ・・・導電性ペースト,導電性接着剤によるもの | ・・・圧着によるもの | ・・・合金接合によるもの | ・・・ギャングボンディング | ・・・各電極毎にボンディング | |||
| SS11 | SS12 | SS13 | SS14 | SS15 | SS17 | SS18 | SS19 | SS20 | ||||
| ・アウターリードボンディング | ・・ボンディング対象 | ・・・配線基板へ | ・・・リードフレームへ | ・・・パッケージの導電層またはピンへ | ・・ボンディング方法 | ・・・ハンダによるもの | ・・・異方性導電材料によるもの | ・・・導電性ペースト,導電性接着剤によるもの | ||||
| SS21 | SS22 | SS24 | ||||||||||
| ・・・光硬化性絶縁性樹脂によるもの | ・・・圧着によるもの | ・・フィルムやリードの切断,リードの成形修正 | ||||||||||
| TT | TT00 フィルムキャリアボンディング装置 |
TT01 | TT02 | TT03 | TT04 | TT05 | TT06 | TT07 | TT08 | TT09 | ||
| ・インナーリードボンディング装置 | ・・ボンディングツール | ・・位置合わせ,位置決め | ・・載置台 | ・・チップの配位板,トレー | ・・フィルムキャリアガイド | ・・静電気除去 | ・・不良チップの検出,排除 | ・・加熱部,冷却部 | ||||
| TT11 | TT12 | TT13 | ||||||||||
| ・アウターリードボンディング装置 | ・・ボンディングツール | ・・位置合わせ,位置決め | ||||||||||
| UU | UU00 その他の接続用コネクタ |
UU01 | UU02 | UU03 | UU04 | UU05 | UU06 | UU07 | UU08 | UU09 | ||
| ・ストラップコネクタ | ・・内部接続となるもの | ・・・構造に特徴 | ・・・材料の選択に特徴 | ・・・製造方法に特徴 | ・・外部接続(ビームリード電極)となるもの | ・・・構造に特徴 | ・・・材料の選択に特徴 | ・・・製造方法に特徴 | ||||
| UU17 | UU20 | |||||||||||
| ・高周波用装置用 | ・その他 | |||||||||||
| VV | VV00 ボンディングプロセス関連事項 |
VV01 | VV02 | VV03 | VV04 | |||||||
| ・圧着,圧力の適用 | ・・圧着対象の半導体装置 | ・・圧着方法 | ・・圧着装置 | |||||||||
| VV11 | VV12 | VV13 | VV14 | |||||||||
| ・超音波振動,機械振動の適用 | ・・超音波ボンディング対象の半導体装置 | ・・超音波ボンディング方法 | ・・超音波ボンディング装置 | |||||||||
| VV21 | VV26 | VV27 | ||||||||||
| ・基板間のチップの転写 | ・ボンディング検査,測定 | ・・バンプの検査,測定 |