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5C135 | 冷陰極 | 応用物理 |
H01J1/30 -1/30@Z |
H01J1/30-1/30@Z | AA | AA00 電界放出型のエミッタ形状 |
AA01 | AA02 | AA03 | AA04 | AA05 | AA06 | AA07 | AA08 | AA09 | AA10 |
・巨視的形状 | ・・錘状 | ・・・円錐状 | ・・・エミッタに沿う絶縁層を有するもの | ・・タワー状、針状(AA10優先) | ・・柱状 | ・・ライン状、尾根状 | ・・横型 | ・・薄膜 | ・・針状等で基板上に形成されないもの | |||
AA11 | AA12 | AA13 | AA14 | AA15 | AA20 | |||||||
・微視的形状 | ・・微粒子 | ・・繊維、ファイバー | ・・ウイスカ | ・・ナノ構造 | ・その他 | |||||||
AB | AB00 電界放出型のエミッタ材料に特徴のあるもの |
AB01 | AB02 | AB03 | AB05 | AB06 | AB07 | AB08 | AB09 | |||
・金属 | ・・金属単体 | ・・合金、金属間化合物 | ・炭素単体 | ・・ダイヤモンド | ・・カーボンナノチューブ | ・・グラファイト | ・・フラーレン | |||||
AB11 | AB12 | AB13 | AB15 | AB16 | AB17 | AB18 | AB19 | AB20 | ||||
・半導体 | ・・単体 | ・・化合物 | ・炭化物 | ・窒化物 | ・硼化物 | ・酸化物 | ・有機物 | ・その他 | ||||
AC | AC00 電界放出型の細部 |
AC01 | AC02 | AC03 | AC04 | AC05 | AC06 | AC07 | AC08 | AC09 | ||
・エミッタ(材料に特徴のあるものAB00) | ・・形状に特徴のあるもの | ・・・断面形状 | ・・・・先端部曲率半径 | ・・・平面形状 | ・・・開口内に複数の放出部を有するもの | ・・表面状態 | ・・・粗面化 | ・・表面被覆 | ||||
AC11 | AC12 | AC13 | AC14 | AC15 | AC16 | AC17 | AC18 | AC19 | ||||
・ゲート電極 | ・・材料に特徴のあるもの | ・・形状に特徴のあるもの | ・・・平面形状 | ・・・・ゲート孔の形状、開口径 | ・・・・ゲート孔の配置 | ・・・断面形状 | ・・多層化 | ・・エミッタとの相対位置 | ||||
AC21 | AC22 | AC23 | AC24 | AC25 | AC26 | AC28 | AC29 | AC30 | ||||
・ゲート絶縁膜 | ・・材料に特徴のあるもの | ・・形状に特徴のあるもの | ・・・平面形状、開口径 | ・・・断面形状 | ・・多層化 | ・カソード電極 | ・・材料に特徴のあるもの | ・その他 | ||||
BB | BB00 表面伝導型の細部 |
BB01 | BB02 | BB03 | BB04 | BB05 | BB06 | BB07 | ||||
・導電性薄膜 | ・・材料に特徴のあるもの | ・・形状に特徴のあるもの | ・・積層膜 | ・・・活性化膜 | ・・表面状態 | ・・電子放出部、その制御に特徴のあるもの | ||||||
BB11 | BB12 | BB13 | BB14 | BB15 | BB16 | BB17 | BB18 | BB20 | ||||
・素子電極 | ・・材料に特徴のあるもの | ・・形状に特徴のあるもの | ・・・断面形状 | ・・・平面形状 | ・・電極配置 | ・・・電極間隔 | ・・・同一平面上にないもの(縦型) | ・その他 | ||||
CC | CC00 MIM型の細部 |
CC01 | CC02 | CC03 | CC05 | CC06 | CC08 | CC09 | CC10 | |||
・上部電極 | ・・材料に特徴のあるもの | ・・多層化 | ・下部電極 | ・・材料に特徴のあるもの | ・絶緑層 | ・・材料に特徴のあるもの | ・その他 | |||||
DD | DD00 他の冷陰極の細部 |
DD01 | DD02 | DD03 | DD04 | DD06 | DD07 | DD08 | DD09 | |||
・強誘電体型 | ・・上部電極 | ・・下部電極 | ・・強誘電体層 | ・弾道電子型 | ・・上部電極 | ・・下部電極 | ・・ドリフト層 | |||||
DD11 | DD12 | DD13 | DD16 | DD17 | DD18 | |||||||
・PN接合逆バイアス半導体型 | ・・P層 | ・・N層 | ・ショットキー接合型 | ・・P層 | ・・ショットキー電極 | |||||||
DD21 | DD22 | DD23 | DD30 | |||||||||
・PN接合順バイアス半導体型 | ・・P層 | ・・N層 | ・その他 | |||||||||
EE | EE00 陰極以外の電極 |
EE01 | EE02 | EE03 | EE06 | EE07 | EE08 | |||||
・変調電極 | ・・素子背面 | ・・素子上部に積層 | ・偏向電極 | ・・放出部、ゲートと同一平面 | ・・素子上部に積層 | |||||||
EE11 | EE12 | EE13 | EE15 | EE17 | EE19 | EE20 | ||||||
・集束電極 | ・・放出部、ゲートと同一平面 | ・・素子上部に積層 | ・遮蔽電極 | ・電圧印加用電極、端子 | ・陽極 | ・その他 | ||||||
FF | FF00 電極以外の細部 |
FF01 | FF02 | FF03 | FF04 | FF05 | FF06 | FF07 | FF08 | FF09 | FF10 | |
・電流制限素子 | ・・抵抗体 | ・・・材料に特徴のあるもの | ・・定電流源 | ・・ダイオード | ・・・PN接合 | ・・トランジスタ | ・・・MOS | ・・・バイポーラ | ・・トレンチ溝 | |||
FF11 | FF12 | FF13 | FF14 | FF16 | FF17 | FF18 | FF19 | FF20 | ||||
・配線(電界放出型のカソード電極はAC28) | ・・材料に特徴のあるもの | ・・配線間絶緑層 | ・・配線と電極との接続 | ・素子配列、素子配置、相互配置 | ・支持基板 | ・・材料に特徴のあるもの | ・・絶緑基板 | ・・導体、半導体基板 | ||||
FF21 | FF22 | FF23 | FF25 | FF26 | FF27 | FF28 | FF30 | |||||
・支持基板と放出素子との間の被膜 | ・・絶緑膜 | ・・導電・半導電膜 | ・駆動方法、駆動回路 | ・・電位の大きさに特徴のあるもの | ・・駆動タイミングに特徴があるもの | ・駆動を安定させるための回路(FF01優先) | ・その他 | |||||
GG | GG00 他の特徴点 |
GG01 | GG02 | GG03 | GG04 | GG05 | GG06 | GG07 | GG08 | GG09 | GG10 | |
・電位分布 | ・電界強度 | ・電子親和力 | ・真空度 | ・抵抗値/率 | ・導電率 | ・電流値 | ・しきい値電圧 | ・バンドギャップ | ・不純物濃度 | |||
GG11 | GG12 | GG13 | GG14 | GG16 | GG20 | |||||||
・結晶構造 | ・・単結晶 | ・・多結晶 | ・・非晶質(アモルファス) | ・界面、接合部 | ・その他 | |||||||
HH | HH00 解決課題 |
HH01 | HH02 | HH03 | HH04 | HH05 | HH06 | HH07 | HH08 | |||
・放出電流 | ・・電流量、密度 | ・・安定 | ・・均一 | ・・集束 | ・・低電圧 | ・・長寿命 | ・・効率 | |||||
HH11 | HH12 | HH13 | HH14 | HH15 | HH16 | HH17 | HH20 | |||||
・エミッタ | ・・短絡・破壊防止 | ・・応答性 | ・・大面積、薄型、軽量 | ・・低コスト、製造容易 | ・・機械的強度 | ・・再現性、信頼性 | ・その他 |