Fタームリスト

5C035から分割リスト作成(H13)、5C227へ統合(H26)
5C135 冷陰極 応用物理      
H01J1/30 -1/30@Z
H01J1/30-1/30@Z AA AA00
電界放出型のエミッタ形状
AA01 AA02 AA03 AA04 AA05 AA06 AA07 AA08 AA09 AA10
・巨視的形状 ・・錘状 ・・・円錐状 ・・・エミッタに沿う絶縁層を有するもの ・・タワー状、針状(AA10優先) ・・柱状 ・・ライン状、尾根状 ・・横型 ・・薄膜 ・・針状等で基板上に形成されないもの
AA11 AA12 AA13 AA14 AA15 AA20
・微視的形状 ・・微粒子 ・・繊維、ファイバー ・・ウイスカ ・・ナノ構造 ・その他
AB AB00
電界放出型のエミッタ材料に特徴のあるもの
AB01 AB02 AB03 AB05 AB06 AB07 AB08 AB09
・金属 ・・金属単体 ・・合金、金属間化合物 ・炭素単体 ・・ダイヤモンド ・・カーボンナノチューブ ・・グラファイト ・・フラーレン
AB11 AB12 AB13 AB15 AB16 AB17 AB18 AB19 AB20
・半導体 ・・単体 ・・化合物 ・炭化物 ・窒化物 ・硼化物 ・酸化物 ・有機物 ・その他
AC AC00
電界放出型の細部
AC01 AC02 AC03 AC04 AC05 AC06 AC07 AC08 AC09
・エミッタ(材料に特徴のあるものAB00) ・・形状に特徴のあるもの ・・・断面形状 ・・・・先端部曲率半径 ・・・平面形状 ・・・開口内に複数の放出部を有するもの ・・表面状態 ・・・粗面化 ・・表面被覆
AC11 AC12 AC13 AC14 AC15 AC16 AC17 AC18 AC19
・ゲート電極 ・・材料に特徴のあるもの ・・形状に特徴のあるもの ・・・平面形状 ・・・・ゲート孔の形状、開口径 ・・・・ゲート孔の配置 ・・・断面形状 ・・多層化 ・・エミッタとの相対位置
AC21 AC22 AC23 AC24 AC25 AC26 AC28 AC29 AC30
・ゲート絶縁膜 ・・材料に特徴のあるもの ・・形状に特徴のあるもの ・・・平面形状、開口径 ・・・断面形状 ・・多層化 ・カソード電極 ・・材料に特徴のあるもの ・その他
BB BB00
表面伝導型の細部
BB01 BB02 BB03 BB04 BB05 BB06 BB07
・導電性薄膜 ・・材料に特徴のあるもの ・・形状に特徴のあるもの ・・積層膜 ・・・活性化膜 ・・表面状態 ・・電子放出部、その制御に特徴のあるもの
BB11 BB12 BB13 BB14 BB15 BB16 BB17 BB18 BB20
・素子電極 ・・材料に特徴のあるもの ・・形状に特徴のあるもの ・・・断面形状 ・・・平面形状 ・・電極配置 ・・・電極間隔 ・・・同一平面上にないもの(縦型) ・その他
CC CC00
MIM型の細部
CC01 CC02 CC03 CC05 CC06 CC08 CC09 CC10
・上部電極 ・・材料に特徴のあるもの ・・多層化 ・下部電極 ・・材料に特徴のあるもの ・絶緑層 ・・材料に特徴のあるもの ・その他
DD DD00
他の冷陰極の細部
DD01 DD02 DD03 DD04 DD06 DD07 DD08 DD09
・強誘電体型 ・・上部電極 ・・下部電極 ・・強誘電体層 ・弾道電子型 ・・上部電極 ・・下部電極 ・・ドリフト層
DD11 DD12 DD13 DD16 DD17 DD18
・PN接合逆バイアス半導体型 ・・P層 ・・N層 ・ショットキー接合型 ・・P層 ・・ショットキー電極
DD21 DD22 DD23 DD30
・PN接合順バイアス半導体型 ・・P層 ・・N層 ・その他
EE EE00
陰極以外の電極
EE01 EE02 EE03 EE06 EE07 EE08
・変調電極 ・・素子背面 ・・素子上部に積層 ・偏向電極 ・・放出部、ゲートと同一平面 ・・素子上部に積層
EE11 EE12 EE13 EE15 EE17 EE19 EE20
・集束電極 ・・放出部、ゲートと同一平面 ・・素子上部に積層 ・遮蔽電極 ・電圧印加用電極、端子 ・陽極 ・その他
FF FF00
電極以外の細部
FF01 FF02 FF03 FF04 FF05 FF06 FF07 FF08 FF09 FF10
・電流制限素子 ・・抵抗体 ・・・材料に特徴のあるもの ・・定電流源 ・・ダイオード ・・・PN接合 ・・トランジスタ ・・・MOS ・・・バイポーラ ・・トレンチ溝
FF11 FF12 FF13 FF14 FF16 FF17 FF18 FF19 FF20
・配線(電界放出型のカソード電極はAC28) ・・材料に特徴のあるもの ・・配線間絶緑層 ・・配線と電極との接続 ・素子配列、素子配置、相互配置 ・支持基板 ・・材料に特徴のあるもの ・・絶緑基板 ・・導体、半導体基板
FF21 FF22 FF23 FF25 FF26 FF27 FF28 FF30
・支持基板と放出素子との間の被膜 ・・絶緑膜 ・・導電・半導電膜 ・駆動方法、駆動回路 ・・電位の大きさに特徴のあるもの ・・駆動タイミングに特徴があるもの ・駆動を安定させるための回路(FF01優先) ・その他
GG GG00
他の特徴点
GG01 GG02 GG03 GG04 GG05 GG06 GG07 GG08 GG09 GG10
・電位分布 ・電界強度 ・電子親和力 ・真空度 ・抵抗値/率 ・導電率 ・電流値 ・しきい値電圧 ・バンドギャップ ・不純物濃度
GG11 GG12 GG13 GG14 GG16 GG20
・結晶構造 ・・単結晶 ・・多結晶 ・・非晶質(アモルファス) ・界面、接合部 ・その他
HH HH00
解決課題
HH01 HH02 HH03 HH04 HH05 HH06 HH07 HH08
・放出電流 ・・電流量、密度 ・・安定 ・・均一 ・・集束 ・・低電圧 ・・長寿命 ・・効率
HH11 HH12 HH13 HH14 HH15 HH16 HH17 HH20
・エミッタ ・・短絡・破壊防止 ・・応答性 ・・大面積、薄型、軽量 ・・低コスト、製造容易 ・・機械的強度 ・・再現性、信頼性 ・その他
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