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５Ｃ１０１に変更（Ｒ２）
5C033 電子顕微鏡（３） 応用物理　　　　　　
H01J37/00 -37/02;37/05;37/09-37/18;37/21-37/21@Z;37/24-37/244;37/252-37/295
H01J37/05 AA AA00
粒子分離装置 		AA01 AA02 AA03 AA05 AA07
・イオンビームを分離するもの ・・ウィーンフィルタ ・・分離用磁石，磁極 ・電子ビームを分離するもの ・その他＊
H01J37/09@A BB BB00
絞り・シャッタ 		BB01 BB02 BB03 BB05 BB06 BB07 BB08 BB09 BB10
・絞り ・・整形絞り ・・ブランキング用，パルスビーム用絞り ・シャッタ ・ビーム電流検出 ・クリーニング ・材料，製法 ・イオンビーム用 ・その他＊
H01J37/12 CC CC00
静電レンズ 		CC01 CC02 CC04 CC06
・アインツェル（ユニポテンシャル）レンズ ・多極子レンズ ・イオンビーム用 ・その他＊
H01J37/141@A;37/141@Z DD DD00
電磁レンズ構造 		DD01 DD02 DD03 DD04 DD05 DD06 DD07 DD09 DD10
・ＴＥＭ用 ・・対物レンズ ・・・コイル、ヨーク ・・・磁極片 ・・・・交換，機械的調整 ・・・磁区構造観察のためのもの ・・投影レンズ ・ＳＥＭ用 ・その他＊
DE DE00
電磁レンズ制御 		DE01 DE02 DE03 DE04 DE06 DE07 DE08 DE10
・ＴＥＭ用励磁電流制御 ・・照射レンズ系 ・・結像レンズ系 ・・・低倍像を得るためのもの ・ＳＥＭ用 ・露光，描画用 ・加工，溶接用 ・その他＊
H01J37/147@A;37/28@C EE EE00
ＴＥＭ用偏向系 		EE01 EE02 EE03 EE04 EE05 EE06 EE08
・偏向装置 ・・偏向コイル ・偏向制御 ・・軸合せ ・・回折像，暗視野像を得るためのもの ・・視野移動 ・その他＊
H01J37/147@B;37/28@B;37/28@C FF FF00
ＳＥＭ用走査偏向系 		FF01 FF02 FF03 FF04 FF05 FF06 FF07 FF08 FF09 FF10
・偏向装置 ・・偏向コイル ・走査偏向制御 ・・立体像を得るためのもの ・・像を回転させるためのもの ・・視野移動（イメージシフト） ・制限視野回折，角度走査 ・偏向収差補正 ・ブランキング，パルスビーム ・その他＊
H01J37/147@C GG GG00
ビーム描画用走査偏向系 		GG01 GG02 GG03 GG04 GG05 GG07
・偏向器 ・・静電偏向 ・走査偏向制御 ・・軸合せ ・・偏向補正 ・その他＊
H01J37/153@A;37/28@C HH HH00
ＴＥＭ用収差補正 		HH01 HH02 HH03 HH05 HH06 HH08
・非点収差補正 ・・検知手段 ・・補正コイルおよびその配置 ・球面収差補正 ・色収差補正 ・その他＊
H01J37/153@B;37/153@Z;37/28@B;37/28@C JJ JJ00
ＳＥＭ用収差補正 		JJ01 JJ02 JJ03 JJ05 JJ07
・非点収差補正 ・・検知手段 ・・・画面観察 ・偏向収差補正 ・その他＊
H01J37/18 KK KK00
排気 		KK01 KK02 KK03 KK04 KK05 KK06 KK07 KK09
・排気システム ・・電子銃室の排気を目的とするもの ・・真空ポンプ ・・・イオンポンプ ・・・分子ポンプ ・・エアーロックバルブ ・・真空シール（Ｏリング） ・その他＊
H01J37/21@A;37/28@C LL LL00
ＴＥＭ用焦点調整 		LL01 LL02 LL03 LL04 LL05 LL07
・像観察による焦点調整 ・・イメージウォブラ ・自動焦点調整 ・倍率に関係して焦点調整するもの ・永久磁石レンズの焦点調整 ・その他＊
H01J37/21@B;37/21@Z;37/28@B;37/28@C MM MM00
ＳＥＭ用焦点調整 		MM01 MM02 MM03 MM04 MM05 MM07
・画像観察による焦点調整 ・・走査に特徴のあるもの ・自動焦点調整 ・・走査に特徴のあるもの ・・信号処理（例，微分） ・その他＊
H01J37/244 NN NN00
検出装置 		NN01 NN02 NN03 NN04 NN05 NN07 NN08 NN10
・２次電子検出器 ・反射電子検出器 ・透過電子検出器 ・Ｘ線検出器 ・２次イオン検出器 ・１次電子ビームの検出器 ・１次イオンビームの検出器 ・その他＊
NP NP00
検出装置の細部 		NP01 NP02 NP03 NP04 NP05 NP06 NP08
・引出電極収集電極 ・ライトガイド ・検出器の移動手段 ・エネルギアナラザ用電極 ・対物レンズ上方への配置 ・複数の検出器の配置 ・その他＊
H01J37/252@A PP PP00
Ｘ線マイクロアナライザ 		PP01 PP02 PP03 PP04 PP05 PP06 PP08
・電子線照射系 ・試料室 ・光学観察 ・検出系 ・信号処理回路 ・表示，撮影 ・その他＊
H01J37/252@B QQ QQ00
イオンマイクロアナライザ 		QQ01 QQ02 QQ03 QQ05 QQ07 QQ08 QQ09 QQ10
・１次イオン照射系 ・・イオン源 ・・レンズ，偏向系 ・試料室 ・２次イオン分析系 ・・引出し電極 ・・質量分析 ・表示，記録
QQ11 QQ13 QQ15
・制御系 ・深さ方向分析 ・その他＊
H01J37/252@Z RR RR00
その他の表面分析 		RR01 RR02 RR03 RR04 RR05 RR06 RR08 RR09 RR10
・１次ビーム照射系 ・・電子ビーム ・試料室 ・エネルギー分析系 ・制御系 ・信号処理回路 ・オージェ電子分光 ・光電子分光 ・その他＊
H01J37/26;37/28@C SS SS00
ＴＥＭ 		SS01 SS02 SS03 SS04 SS06 SS07 SS08 SS09 SS10
・照射系 ・試料室 ・結像系 ・螢光板，カメラ室 ・暗視野像，回折像 ・ＳＴＥＭ ・エネルギアナライザを有するもの ・倍率 ・その他＊
H01J37/28@A TT TT00
ストロボＳＥＭ 		TT01 TT02 TT03 TT04 TT05 TT06 TT08
・照射系 ・・パルスビーム発生 ・試料装置 ・検出系 ・信号処理 ・制御系 ・その他＊
H01J37/28@B;37/28@C;37/28@Z UU UU00
ＳＥＭ 		UU01 UU02 UU03 UU04 UU05 UU06 UU08 UU09 UU10
・走査偏向 ・電子レンズ系 ・試料室 ・検出系 ・信号処理 ・表示装置 ・測定装置 ・ＳＴＭ ・その他＊
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