FIメイングループ/ファセット選択

  • G03F1/00
  • フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造に用いる原稿,例.マスク,フォトマスク又はレチクル;そのためのマスクブランク又はペリクル;特にそれに適合した容器;その準備[3,2012.01] HB CC 2H195
  • G03F3/00
  • 色分解;色調の修正(写真的複写装置一般G03B) HB CC 2H117
  • G03F5/00
  • スクリーン法;そのためのスクリーン HB CC 2H117
  • G03F7/00
  • フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置(特別の製造法のためのフォトレジスト構造を用いるもの,関係箇所,例.B44C,H01L,例.H01L21/00,H05K,を参照)[3,5] HB CC 2H196
  • G03F9/00
  • 原稿,マスク,フレーム,写真シート,表面構造または模様が作成された表面,の位置決めまたは位置合わせ,例.自動的なもの(G03F7/22が優先;写真マスクの製造G03F1/00;複製用写真焼付装置用のものG03B27/00)[4] HB CC 2H197
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