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HB:ハンドブック | ||||
CC:コンコーダンス |
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イオンビーム管(H01J25/00,H01J33/00,H01J37/00が優先;粒子加速器H05H) | HB | CC | 5C030 | |
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・イオン源;イオン銃[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・反射放電を利用するもの,例.ペニングイオン源[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・・磁界を加えないもの[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・アーク放電を利用するもの[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・・デュオプラズマトロン[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・・・膨張カップを備えたもの[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・・加えられた磁界を利用する他のアーク放電によるイオン源[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・高周波励起,例.マイクロ波励起,を利用するもの[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・・軸方向に加えられた磁界を有するもの[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・粒子の衝撃を利用するもの,例.電離器[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・・金属イオン源[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・光電離を利用するもの,例.レーザビームを用いるもの[3] | HB | CC | 5C030 | |
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・・表面電離を利用するもの,例.電界効果イオン源,熱イオン源(H01J27/20,H01J27/24が優先)[3] | HB | CC | 5C030 | |