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HB:ハンドブック | ||||
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CC:コンコーダンス | |||||
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蒸発または昇華した物質の凝固による単結晶成長［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・エピタキシャル層成長［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・・パターン成膜，例．マスクを用いるもの［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・・成膜室，基板または被蒸発物質の加熱［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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・・イオン化蒸気の凝縮によるもの（反応スパッタリングによるものＣ３０Ｂ２５／０６）［３］ | HB | CC | 4G077 | |
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分子線によるもの | HB | CC | 4G077 | |
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プラズマを利用するもの | HB | CC | 4G077 | |
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その他 | HB | CC | 4G077 | |