この画面は、H10P54/00の説明文、注記/索引を表示しています。

注[2026.01]
このグループは,半導体装置または固体装置が内部または上部に形成されている,またはこれから形成される,ウェハまたは基板の切断または分離,を包含する。当該切断は局所的であってもよい。例.溝を作るためのもの