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このページは、メイングループH10P72/00内の「IPC」を全て表示しています。 |
CC:コンコーダンス |
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| ウェハ，基板または装置の製造または処理中にこれらを取り扱うまたは保持するもの［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・専用のキャリアを使用するもの，例．前開き一体型格納容器［ＦＯＵＰ］［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・搬送手段，例．異なる装置間での搬送［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・位置決め，方向決め，またはアライメントのためのもの［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・支持または把持のためのもの［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・・静電チャックを用いるもの［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・・機械的手段を用いるもの，例．クランプまたはピンチ［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・・負圧や吸引を用いるもの，例．ベルヌーイチャック［２０２６．０１］ | CC |