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このページは、メイングループH10P50/00内の「IPC」を全て表示しています。 |
CC:コンコーダンス |
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| ウェハ，基板または装置の部品のエッチング［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・ドライエッチング；プラズマエッチング；反応性イオンエッチング［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・・半導体材料に対するもの［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・・導電材料または抵抗材料に対するもの［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・・絶縁材料に対するもの［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・ウエットエッチング［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・・電解エッチング［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・・半導体材料に対するもの［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・・導電材料または抵抗材料に対するもの［２０２６．０１］ | CC | ||
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| ・・絶縁材料に対するもの［２０２６．０１］ | CC |