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H10P34/00 ウェハ，基板または装置の部品に対する電磁輻射線または粒子輻射線の照射［２０２６．０１］ CC H10P34/20 ・元素を変換する核反応を引き起こすためのもの［２０２６．０１］ CC H10P34/40 ・高エネルギー輻射線によるもの［２０２６．０１］ CC H10P34/42 ・・電磁輻射線によるもの，例．レーザーアニール（レーザー切断Ｈ１０Ｐ５４／２０）［２０２６．０１］ CC