IPC(一覧表示)

  • H10P30/00
  • ウェハ,基板または装置の部品へのイオン注入[2026.01] CC
  • H10P30/20
  • ・半導体材料中へのイオン注入,例.ドーピングのためのもの[2026.01] CC
  • H10P30/22
  • ・・マスクを用いるもの[2026.01] CC
  • H10P30/28
  • ・・アニール工程に特徴のあるもの,例.ドーパントを活性化するためのもの[2026.01] CC
  • H10P30/40
  • ・絶縁材料中へのイオン注入[2026.01] CC
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