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H10P30/00 ウェハ,基板または装置の部品へのイオン注入[2026.01] CC H10P30/20 ・半導体材料中へのイオン注入,例.ドーピングのためのもの[2026.01] CC H10P30/22 ・・マスクを用いるもの[2026.01] CC H10P30/28 ・・アニール工程に特徴のあるもの,例.ドーパントを活性化するためのもの[2026.01] CC H10P30/40 ・絶縁材料中へのイオン注入[2026.01] CC