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G05B9/00 安全装置(G05B7/00が優先;プログラム制御システム中の安全装置G05B19/406)[2006.01] CC G05B9/02 ・電気式 CC G05B9/03 ・・多重チャンネルループ,すなわち.冗長制御系[2] CC G05B9/05 ・流体式[2] CC