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G01Q10/00 走査または位置決め装置，すなわち，プローブの動きあるいは位置を積極的に制御するための装置［２０１０．０１］ 定義 CC G01Q10/02 ・粗動走査または粗動位置決め［２０１０．０１］ 定義 CC G01Q10/04 ・微動走査または微動位置決め［２０１０．０１］ 定義 CC G01Q10/06 ・・それらのための回路またはアルゴリズム［２０１０．０１］ 定義 CC