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F16J3/00 ダイヤフラム;ベローズ;ベローズピストン(膨脹可能な弾性体への弁の取付けB60C29/00;器械に用いられるベローズまたは類似のものG12B1/04;電気機械変換器用ダイヤフラムH04R7/00) CC F16J3/02 ・ダイヤフラム[2] CC F16J3/04 ・ベローズ[2] CC F16J3/06 ・ベローズピストン[2] CC