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F04F9/00 拡散ポンプ CC F04F9/02 ・多段形のもの CC F04F9/04 ・粗（あら）引きポンプと組み合わせるもの，例．遮断弁の使用 CC F04F9/06 ・蒸気トラップの設計 CC F04F9/08 ・制御 CC