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F04D19/00 圧縮性流体に特に適合した軸流ポンプ（Ｆ０４Ｄ２１／００が優先） CC F04D19/02 ・多段ポンプ CC F04D19/04 ・・高真空をつくるために特に適合したもの，例．分子ポンプ CC