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CC:コンコーダンス |
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| 単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質への拡散またはドーブ工程；そのための装置［３，５］ | CC | ||
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| ・固相状態の拡散物質と接触させるもの［３］ | CC | ||
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| ・液相状態の拡散物質と接触させるもの［３］ | CC | ||
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| ・ガス状態の拡散物質と接触させるもの［２００６．０１］ | CC | ||
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| ・・拡散物質が被拡散元素の化合物であるもの［３］ | CC | ||
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| ・・反応室；そのための材料の選択［３］ | CC | ||
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| ・・反応室の加熱［３］ | CC | ||
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| ・・基板保持体またはサセプタ［３］ | CC | ||
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| ・・ガスの供給および排出手段；ガス流の調節［３］ | CC | ||
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| ・・制御または調整［３］ | 定義 | CC | |
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| ・電磁波照射または粒子線放射によるドービング［３］ | CC | ||
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| ・・イオン注入によるもの［３］ | CC |