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B81B7/00 マイクロ構造システム［７］ CC B81B7/02 ・その機能に特に適した，別体の電気的または光学的装置を含むもの，例．マイクロ電気機械装置［ＭＥＭＳ］（Ｂ８１Ｂ７／０４が優先）［２００６．０１］ CC B81B7/04 ・同種のマイクロ構造装置のネットワーク，または配列［７］ CC