| H10W80/00 | チップ,ウェハまたは基板のダイレクトボンディング[2026.01] |
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注[2026.01] このグループは以下のダイレクトボンディングを包含する: ・チップ同士,例.チップ-トゥ-チップ; ・装置および相互接続を内部または上部に有するウェハ同士,例.ウェハ-トゥ-ウェハ; ・装置および相互接続を内部または上部に有する基板同士; ・これらの組み合わせ,例.チップ-トゥ-ウェハ。 |
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