| C23C20/00 | 固体化合物または懸濁物のいずれかからなる被覆形成化合物の分解による化学的被覆であって，表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの［４］ |
| このグループは非反応性液体と反応性固体粒子とを含有する懸濁物も包含する。［４］ |
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| C23C20/00 | 固体化合物または懸濁物のいずれかからなる被覆形成化合物の分解による化学的被覆であって，表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの［４］ |
| このグループは非反応性液体と反応性固体粒子とを含有する懸濁物も包含する。［４］ |