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テーマ分割(H17)旧3H031
3H131 | 非容積形送風機 | 流体制御 |
F04D19/04 -19/04@Z |
F04D19/04-19/04@Z | AA | AA00 真空ポンプの型式 |
AA01 | AA02 | AA03 | AA04 | AA05 | AA06 | AA07 | AA08 | AA09 | |
・異種のポンプ構造を併せもつもの | ・ターボ分子ポンプ | ・クライオポンプ | ・遠心ポンプ | ・渦流ポンプ | ・スパイラル溝ポンプ | ・ねじ溝ポンプ | ・動翼が円盤状のもの | ・ポンプ要素の吸気口又は排気口が同一 | ||||
BA | BA00 真空ポンプの構成の目的 |
BA01 | BA02 | BA03 | BA04 | BA05 | BA06 | BA07 | BA08 | BA09 | ||
・熱対策 | ・・冷却 | ・分子の付着,堆積防止 | ・凝集物のトラップ | ・パージガス供給 | ・組立,製造,設置 | ・騒音防止,振動防止,バランス | ・クリアランス調整 | ・安全対策 | ||||
BA11 | BA12 | BA13 | BA14 | BA15 | BA16 | |||||||
・制御 | ・・フィードバックするもの | ・・モーターの制御 | ・設定調節 | ・センシング装置 | ・表示,報知装置 | |||||||
CA | CA00 真空ポンプの構成部材 |
CA01 | CA02 | CA03 | CA04 | |||||||
・ローター,ステーターに特徴 | ・・翼の形状 | ・・製作方法 | ・・軸に特徴 | |||||||||
CA11 | CA12 | CA13 | CA14 | CA15 | CA16 | |||||||
・軸受 | ・・ピボット | ・・磁気軸受 | ・・空気軸受 | ・・動圧を生ずるもの | ・・軸受の配置に特徴 | |||||||
CA21 | CA22 | CA23 | CA24 | |||||||||
・潤滑構造 | ・・潤滑油による | ・・・循環路 | ・・・オイルタンク | |||||||||
CA31 | CA32 | CA33 | CA34 | CA35 | CA36 | CA37 | CA38 | CA39 | CA40 | |||
・ケーシングに特徴 | ・シールに特徴 | ・・軸封 | ・部品の材質,コーティング | ・加熱装置,冷却装置,断熱構造 | ・ポンプ内の流路の特徴 | ・配管,他の機器との接続関係 | ・弁の位置,構造に特徴 | ・ダンパー構造 | ・駆動,動力伝達構造に特徴 | |||
CA41 | ||||||||||||
・電源,配線 |