Fタームリスト

テーマ分割(H17)旧3H031
3H131 非容積形送風機 流体制御
F04D19/04 -19/04@Z
F04D19/04-19/04@Z AA AA00
真空ポンプの型式
AA01 AA02 AA03 AA04 AA05 AA06 AA07 AA08 AA09
・異種のポンプ構造を併せもつもの ・ターボ分子ポンプ ・クライオポンプ ・遠心ポンプ ・渦流ポンプ ・スパイラル溝ポンプ ・ねじ溝ポンプ ・動翼が円盤状のもの ・ポンプ要素の吸気口又は排気口が同一
BA BA00
真空ポンプの構成の目的
BA01 BA02 BA03 BA04 BA05 BA06 BA07 BA08 BA09
・熱対策 ・・冷却 ・分子の付着,堆積防止 ・凝集物のトラップ ・パージガス供給 ・組立,製造,設置 ・騒音防止,振動防止,バランス ・クリアランス調整 ・安全対策
BA11 BA12 BA13 BA14 BA15 BA16
・制御 ・・フィードバックするもの ・・モーターの制御 ・設定調節 ・センシング装置 ・表示,報知装置
CA CA00
真空ポンプの構成部材
CA01 CA02 CA03 CA04
・ローター,ステーターに特徴 ・・翼の形状 ・・製作方法 ・・軸に特徴
CA11 CA12 CA13 CA14 CA15 CA16
・軸受 ・・ピボット ・・磁気軸受 ・・空気軸受 ・・動圧を生ずるもの ・・軸受の配置に特徴
CA21 CA22 CA23 CA24
・潤滑構造 ・・潤滑油による ・・・循環路 ・・・オイルタンク
CA31 CA32 CA33 CA34 CA35 CA36 CA37 CA38 CA39 CA40
・ケーシングに特徴 ・シールに特徴 ・・軸封 ・部品の材質,コーティング ・加熱装置,冷却装置,断熱構造 ・ポンプ内の流路の特徴 ・配管,他の機器との接続関係 ・弁の位置,構造に特徴 ・ダンパー構造 ・駆動,動力伝達構造に特徴
CA41
・電源,配線
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