FIサブクラス選択
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B81B
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マイクロ構造装置またはシステム，例．マイクロマシン装置（圧電素子，電歪素子，または磁歪素子それ自体Ｈ１０Ｎ３０／００，Ｈ１０Ｎ３５／００）［７］
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B81C
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マイクロ構造装置またはシステムの製造または処理に，特に適合した方法または装置（マイクロカプセルまたはマイクロバルーンの製造Ｂ０１Ｊ１３／０２；圧電素子，電歪素子，または磁歪素子自体の製造や処理に特に適した方法または装置Ｈ１０Ｎ３０／０１）［７］
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