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B81B 7/02 ・その機能に特に適した,別体の電気的または光学的装置を含むもの,例.マイクロ電気機械装置[MEMS](B81B7/04が優先)[2006.01] ・その機能に特に適した,別体の電気的または光学的装置を含むもの,例.マイクロ電気機械装置(MEMS)(B81B7/04が優先)[7] 2023年10月
B81B 7/02 ・その機能に特に適した,別体の電気的または光学的装置を含むもの,例.マイクロ電気機械装置(MEMS)(B81B7/04が優先)[7] ・その機能に特に適した,別体の電気的または光学的装置を含むもの,例.マイクロ電気機械装置(MEMS)(7/04が優先)[7] 2013年11月