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B06B 1/06 ・・圧電効果,電気ひずみを利用するもの(圧電装置または電わい素子一般H10N30/00)[2006.01] ・・圧電効果,電気ひずみを利用するもの(圧電装置または電わい素子一般H01L41/00) 2022年11月
B06B 1/08 ・・磁気ひずみを利用するもの(磁わい素子一般H10N35/00) [2006.01] ・・磁気ひずみを利用するもの(磁わい素子一般H01L41/00) 2022年11月
B06B 1/02 ・電気的エネルギーを利用するもの(B06B1/18,B06B1/20が優先) ・電気的エネルギーを利用するもの(1/18,1/20が優先) 2013年11月
B06B 1/10 ・機械的エネルギーを利用するもの(B06B1/18,B06B1/20が優先) ・機械的エネルギーを利用するもの(1/18,1/20が優先) 2013年11月
B06B 1/18 ・振動体が圧力流体によって作動されるもの(B06B1/20が優先) ・振動体が圧力流体によって作動されるもの(1/20が優先) 2013年11月