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HB:ハンドブック | ||||
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CC:コンコーダンス | |||||
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走査または位置決め装置，すなわち，プローブの動きあるいは位置を積極的に制御するための装置［２０１０．０１］ | HB | CC | 2G580 | |
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・粗動走査または粗動位置決め［２０１０．０１］ | HB | CC | 2G580 | |
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・・圧電素子を用いたもの | HB | CC | 2G580 | |
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・・それらのための回路またはアルゴリズム | HB | CC | 2G580 | |
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・微動走査または微動位置決め［２０１０．０１］ | HB | CC | 2G580 | |
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・・圧電素子を用いたもの | HB | CC | 2G580 | |
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・・それらのための回路またはアルゴリズム［２０１０．０１］ | HB | CC | 2G580 | |