B81

マイクロ構造技術［７］

（１）このクラスは，サイズがきわめて小さいことによって特徴付けられる，典型的には１０↑－↑４から１０↑－↑７ｍの範囲の，すなわち，少なくとも一次元において，その重要な特徴が光学顕微鏡を使わなければ完全には見分けられないような，必須の要素または構造を少なくとも一つ含む，マイクロ構造装置またはシステムを包含する。［７］ （２）このクラスでは，下記の表現は以下に示す意味で用いる。［７］ ―“マイクロ構造の装置”に含まれるのは：［７］ （ｉ）可動の，可撓性の，または変形可能な要素からなるマイクロマシン装置；および［７］ （ｉｉ）可動の，可撓性の，または変形可能な要素がなく，また，その構造がマイクロ電子装置と結合しているかどうか，または特定の物質で構成されているかどうかに関わらず，純粋な電子的または化学的機能ではなく，置かれた環境と相互作用するために必須の構造的機能を果たすように設計されたマイクロ構造からなる三次元構造物；［７］ ―“マイクロ構造システム”に含まれるのは：［７］ （ｉ）マイクロ構造装置と協同するシステム；および［７］ （ｉｉ）マイクロ電気機械システムまたはマイクロ光学機械システムであって，マイクロ構造装置の機能を，例えば，制御し，解析し，または信号化するために，電気的または化学的部品とマイクロ構造装置の特定部分とが共通の基層の上で結合しているもの［７］